一种硅片清洗夹持机构的制作方法

本实用新型涉及硅片清洗技术领域，尤其涉及一种硅片清洗夹持机构。

背景技术：

目前在米粒大的硅片上，已能集成15.6万个晶体管。微电子技术正在悄悄走进航空航天、工业、农业和国防，也正在悄悄进入每一个家庭，在硅片的生产使用时需要对硅片进行清洗。

经检索，授权公开号为cn207719159u的专利，公开了一种硅片清洗机用硅片清洗装置。现阶段只有静态的喷淋清洗硅片，可是静态的状态并不能完全覆盖所有硅片，因而清洗效果并不是很好，会导致片子洗不干净，同时造成水资源的浪费。本实用新型涉及一种硅片清洗机用硅片清洗装置。上述专利存在以下不足：在清洗的过程中需要对硅片进行夹持，一般的夹持装置不够稳定，对于不同体积的硅片调节性能不强，不能满足人们的要求。

技术实现要素：

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种硅片清洗夹持机构。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种硅片清洗夹持机构，包括底板，底板的底部设有四个支撑腿，且支撑腿的底部通过螺栓固定有车轮，还包括滑轨，所述滑轨焊接在底板的顶部，且滑轨的顶部滑动连接有滑板，所述滑板的一侧焊接有固定板，且固定板的底部通过螺栓固定有第一铰链，第一铰链的底部铰接有连接杆，连接杆的底部焊接有固定块，所述滑板的一侧通过螺栓固定有电动伸缩杆，且电动伸缩杆的底部焊接有锁链，所述滑板的一侧通过螺栓固定有第二铰链，第二铰链的一侧铰接有调节板，调节板的顶部与锁链焊接，所述滑板的一侧通过螺栓固定有多个夹持板，且夹持板的顶部开有多个螺栓孔。

进一步的，所述底板的顶部开有多个通水孔，且底板的底部通过螺栓固定有收集盒，收集盒的一侧焊接有排水管。

进一步的，所述调节板的底部焊接有多个弹簧，且弹簧的底部焊接有压块。

进一步的，所述底板的顶部设有固定装置，且固定装置包括多个固定腿，所述固定腿通过螺栓固定在底板的顶部，且固定腿的顶部通过螺栓固定有支撑板，支撑板为圆柱形结构，支撑板的顶部设有放置板。

进一步的，所述支撑板的顶部和放置板的底部均开有限位环槽，且限位环槽内放置有多个滚珠，放置板的顶部焊接有多个限位杆。

进一步的，所述放置板的顶部通过螺栓固定有多个毛刷，且放置板的顶部开有连通口，放置板的圆周外壁上焊接有多个手推杆。

本实用新型的有益效果为：

1.通过夹持板的设置能够与螺栓配合，把硅片固定在夹持板上，方便后面的清洗工作，通过电动伸缩杆的设置能够与锁链配合，带动调节板围绕第二铰链转动，从而把硅片压在夹持板的顶部，对其固定，方便清洗工作。

2.通过压块和弹簧的设置能够在调节板转动的过程中提前与夹持板上的硅片接触，对其进行挤压，而且弹簧的设置能够缓冲冲击力，在固定的同时，防止挤压力度过大对硅片造成损坏，提高装置夹持固定的安全性。

3.通过收集盒和通水孔的设置能够对废水进行收集，通过限位杆的设置能够方便硅片放在放置板上，对其进行限位，防止其移动，通过毛刷的设置能够方便对硅片进行支撑，方便清洗，通过滚珠的设置能够在手推杆的推动下带动放置板转动，方便对硅片进行更好的清洗。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种硅片清洗夹持机构实施例1的剖视结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种硅片清洗夹持机构实施例2的剖视结构示意图；

图3为本实用新型提出的一种硅片清洗夹持机构实施例2的固定装置结构示意图；

图4为本实用新型提出的一种硅片清洗夹持机构实施例2的放置板、毛刷和限位杆结构示意图。

图中：1底板、2收集盒、3通水孔、4排水管、5滑轨、6固定块、7固定板、8滑板、9电动伸缩杆、10调节板、11弹簧、12压块、13夹持板、14固定装置、15固定腿、16支撑板、17限位环槽、18手推杆、19放置板、20毛刷、21限位杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

实施例1

参照图1，一种硅片清洗夹持机构，包括底板1，底板1的底部设有四个支撑腿，且支撑腿的底部通过螺栓固定有车轮，还包括滑轨5，滑轨5焊接在底板1的顶部，且滑轨5的顶部滑动连接有滑板8，滑板8的一侧焊接有固定板7，且固定板7的底部通过螺栓固定有第一铰链，第一铰链的底部铰接有连接杆，连接杆的底部焊接有固定块6，滑板8的一侧通过螺栓固定有电动伸缩杆9，且电动伸缩杆9的底部焊接有锁链，滑板8的一侧通过螺栓固定有第二铰链，第二铰链的一侧铰接有调节板10，调节板10的顶部与锁链焊接，通过电动伸缩杆9与锁链配合，带动调节板10围绕第二铰链转动，从而把硅片压在夹持板13的顶部，对其固定，方便清洗工作，滑板8的一侧通过螺栓固定有多个夹持板13，且夹持板13的顶部开有多个螺栓孔，通过夹持板13与螺栓配合，把硅片固定在夹持板13上，方便后面的清洗工作。

底板1的顶部开有多个通水孔3，且底板1的底部通过螺栓固定有收集盒2，收集盒2的一侧焊接有排水管4，通过收集盒2和通水孔3对废水进行收集。

调节板10的底部焊接有多个弹簧11，且弹簧11的底部焊接有压块12，通过压块12和弹簧11在调节板10转动的过程中提前与夹持板13上的硅片接触，对其进行挤压，而且弹簧11缓冲冲击力，在固定的同时，防止挤压力度过大对硅片造成损坏。

本实施例的工作原理：把硅片放置在下面夹持板13的顶部，然后通过螺栓固定有把硅片固定在夹持板13上，方便后面的清洗工作，对于不规则的硅片或者体积比较大的硅片可以通过电动伸缩杆9与锁链配合，带动调节板10围绕第二铰链转动，从而把硅片压在夹持板13的顶部，对其固定，方便清洗工作，在调节板10转动的过程中通过压块12提前与夹持板13上的硅片接触，对其进行挤压，而且弹簧11缓冲冲击力，在固定的同时，防止挤压力度过大对硅片造成损坏，通过收集盒2和通水孔3对废水进行收集。

实施例2

参照图2-4，一种硅片清洗夹持机构，本实施例相对于实施例1，主要区别在于本实施例中，底板1的顶部设有固定装置14，且固定装置14包括多个固定腿15，固定腿15通过螺栓固定在底板1的顶部，且固定腿15的顶部通过螺栓固定有支撑板16，支撑板16为圆柱形结构，支撑板16的顶部设有放置板19，支撑板16的顶部和放置板19的底部均开有限位环槽17，且限位环槽17内放置有多个滚珠，放置板19的顶部焊接有多个限位杆21，防止硅片移动。

放置板19的顶部通过螺栓固定有多个毛刷20，且放置板19的顶部开有连通口，放置板19的圆周外壁上焊接有多个手推杆18，方便推动放置板19转动，更好的清洗。

本实施例的工作原理：把硅片放置在放置板19上的毛刷20上，然后通过限位杆21对其进行限位，防止其移动，通过毛刷20方便对硅片进行支撑，方便清洗，通过滚珠在手推杆18的推动下带动放置板19转动，方便对硅片进行更好的清洗，清洗好一面后换另一面清洗。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“同轴”、“底部”、“一端”、“顶部”、“中部”、“另一端”、“上”、“一侧”、“顶部”、“内”、“前部”、“中央”、“两端”、“第一”、“第二”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本专利的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”应做广义理解，例如，可以是固定相连、设置，也可以是可拆卸连接、设置，或一体地连接、设置。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利中的具体含义。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。