一种钢瓶自动洁净装置的制作方法

本实用新型涉及钢瓶洁净技术领域，特别是一种钢瓶自动洁净装置。

背景技术：

半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气，高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延、掺杂和蚀刻工艺；高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合，可分为电子级，lsi(大规模集成电路)级，vlsi(超大规模集成电路)级和ulsi(特大规模集成电路)级。储存电子气体的钢瓶也是影响电子气体纯度的重要因素之一，因此需要对钢瓶内部进行除杂处理后才能对电子气体进行储存；钢瓶内部进行除杂处理为钢瓶去水分，氮气置换，抽真空；现有的钢瓶洁净装置使用不方便，浪费人力物力。

技术实现要素：

针对上述缺陷，本实用新型的目的在于提供一种钢瓶自动洁净装置，通过真空烘箱对钢瓶加热，后通过真空机组对钢瓶进行抽真空，再通过置换气供应组件向钢瓶充入置换气，后打开放空阀放空置换气，即完成对钢瓶的洁净；通过plc控制器控制自动化程度高，进一步提高生产效率。

本实用新型采用的技术方案是：一种钢瓶自动洁净装置，包含真空烘箱、真空机组、置换气供应组件、放空阀、主管、系统控制柜；所述主管一端贯穿真空烘箱顶部，进入真空烘箱的内部，主管另一端与置换气供应组件的输出端连通；所述主管在与置换气供应组件的连通处还设有控制连通状态的充气阀；所述真空机组的输入端通过管道与主管连通，管道设有真空阀与电离规管；所述放空阀设置在主管上；所述系统控制柜上设有控制面板，通过控制面板向其内设有的plc控制器发出工作指令，通过plc控制器控制真空烘箱、真空机组、放空阀、充气阀、真空阀、电离规管工作；所述主管在位于真空烘箱顶部外的部分还设有压力传感器，通过压力传感器接收主管内的充气压力并反馈充气压力给plc控制器。

所述主管位于真空烘箱内的端部连接有不锈钢软管，通过不锈钢软管方便与放置在真空烘箱内的钢瓶集装格上设有的与钢瓶连通的连接管连接，进一步提高主管的使用寿命。

所述主管在位于真空烘箱顶部的部分还设有分管，分管端部贯穿真空烘箱的顶部进入真空烘箱内部，并在端部连接有不锈钢软管，通过分管使得真空烘箱内可以同时放置两个钢瓶集装格，进一步提高工作效率。

所述主管在位于真空烘箱顶部外的部分还设有压力表，通过压力表实时提供主管内的压力值，方便人工检查。

所述置换气供应组件包含气源罐，气源罐上设有出口；所述气源罐内设有至少一个的气瓶，气瓶内设置置换气，所述气瓶上设有出气口，并通过出气口上设置有控制阀控制出气状态；气瓶通过出气口上连通的管道穿过出口与主管连通。

所述置换气为氮气或氩气或其它惰性气体。

所述气源罐内设有三个气瓶，给使用提供方便，避免置换气时，气体不充分，进一步提供工作效率。

所述真空机组底部设置有机座，通过机座防止真空机组上的各组件与地面长期直接接触导致的腐蚀现象出现，进一步提高使用寿命。

所述放空阀、充气阀、真空阀均为带手动功能的电磁阀。

本实用新型，结构简单，操作方便快捷，通过真空烘箱对钢瓶加热，后通过真空机组对钢瓶进行抽真空，再通过置换气供应组件向钢瓶充入置换气，后打开放空阀放空置换气，即完成对钢瓶的洁净；通过plc控制器控制自动化程度高，进一步提高生产效率。

附图说明

图1是本实用新型的正视图。

图中：1为真空烘箱、2为真空机组、3为置换气供应组件、4为放空阀、5为主管、6为系统控制柜、7为充气阀、8为管道、9为压力传感器、10为钢瓶、11为不锈钢软管、12为钢瓶集装格、13为连接管、14为压力表、15为机座。

具体实施方式

由图1知，一种钢瓶自动洁净装置，包含真空烘箱1、真空机组2、置换气供应组件3、放空阀4、主管5、系统控制柜6；所述主管5一端贯穿真空烘箱1顶部，进入真空烘箱1的内部，主管5另一端与置换气供应组件3的输出端连通；所述主管5在与置换气供应组件3的连通处还设有控制连通状态的充气阀7；所述真空机组2的输入端通过管道8与主管5连通，管道8设有真空阀81与电离规管82；所述放空阀4设置在主管5上；所述系统控制柜6上设有控制面板，通过控制面板向其内设有的plc控制器发出工作指令，通过plc控制器控制真空烘箱1、真空机组2、放空阀4、充气阀7、真空阀81、电离规管82工作；所述主管5在位于真空烘箱1顶部外的部分还设有压力传感器9，通过压力传感器9接收主管5内的充气压力并反馈充气压力给plc控制器。

所述主管5位于真空烘箱1内的端部连接有不锈钢软管11，通过不锈钢软管11方便与放置在真空烘箱1内的钢瓶集装格12上设有的与钢瓶10连通的连接管13连接，进一步提高主管5的使用寿命。

所述主管5在位于真空烘箱1顶部的部分还设有分管51，分管51端部贯穿真空烘箱1的顶部进入真空烘箱1内部，并在端部连接有不锈钢软管11，通过分管51使得真空烘箱1内可以同时放置两个钢瓶集装格12，进一步提高工作效率。

所述主管5在位于真空烘箱1顶部外的部分还设有压力表14，通过压力表14实时提供主管5内的压力值，方便人工检查。

所述置换气供应组件3包含气源罐31，气源罐31上设有出口；所述气源罐31内设有至少一个的气瓶311，气瓶311内设置置换气，所述气瓶311上设有出气口，并通过出气口上设置有控制阀3111控制出气状态；气瓶311通过出气口上连通的管道穿过出口与主管5连通。

所述置换气为氮气或氩气或其它惰性气体。

所述气源罐31内设有三个气瓶311，给使用提供方便，避免置换气时，气体不充分，进一步提供工作效率。

所述真空机组2底部设置有机座15，通过机座15防止真空机组2上的各组件与地面长期直接接触导致的腐蚀现象出现，进一步提高使用寿命。

所述放空阀4、充气阀7、真空阀81均为带手动功能的电磁阀。

工作时，将本装置外接电源，后将待洁净的钢瓶10放置在钢瓶集装格12上，后将钢瓶集装格12送入真空烘箱1内，将钢瓶集装格12上与钢瓶10连通的连接管13连接在不锈钢软管11上，手动将钢瓶10上的瓶阀全部打开，关闭真空烘箱1，手动打开一个气瓶311的控制阀3111；通过控制面板向其内设有的plc控制器发出工作指令，plc控制器控制真空烘箱1按设定温度、时间进行加热，后打开真空阀81控制真空机组2进行抽真空，当到达设定压力时由电离规管82测得反馈给plc控制器，plc控制器关闭真空阀81与真空机组2，后打开充气阀7，由置换气供应组件3进行置换气供应，当到达设定的充气压力时，由压力传感器9接收并反馈给plc控制器，plc控制器关闭充气阀7；待置换气在钢瓶10内滞留设定时间后，打开放空阀4排空置换气；即完成钢瓶10的内部洁净，如果担心钢瓶10内部洁净不充分，可进行重复一次或多次充气与排气过程，洁净后打开真空烘箱1待钢瓶10冷却后，关闭钢瓶10上的瓶阀后即可以取出。

本实用新型，结构简单，操作方便快捷，通过真空烘箱1对钢瓶10加热，后通过真空机组2对钢瓶10进行抽真空，再通过置换气供应组件3向钢瓶10充入置换气，后打开放空阀4放空置换气，即完成对钢瓶的洁净；通过plc控制器控制自动化程度高，进一步提高生产效率。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。