立式炉管清洗机废液收集机构的制作方法

本申请属于炉管清洗设备技术领域，尤其是涉及一种立式炉管清洗机废液收集机构。

背景技术：

随着半导体领域技术的发展，半导体制造商对晶圆的洁净度要求越来越高，与晶圆直接接触的炉管的洁净度的要求也随之提高，传统的卧室炉管清洗设备已经无法满足更高的洁净度的要求。

中国专利文献cn208853393u公开了一种立式炉管清洗机构，其中的喷管固定，由旋转机构来驱动炉管旋转，进而使炉管表面能够全面地进行清洗，然而，让称重的炉管旋转，一方面，旋转机构需要设计得复杂，另一方面，对炉管的进行旋转，炉管容易受到损伤。

因此，可以采用不旋转的固定立式炉管清洗机进行清洗，但是对于立式炉管清洗机中炉管的固定就显得尤其重要了。

技术实现要素：

本实用新型要解决的技术问题是：为解决现有技术中的不足，从而提供一种立式炉管清洗机废液收集机构。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种立式炉管清洗机废液收集机构，包括：

废液槽，

支撑板，设置在所述废液槽的顶部；

所述支撑板为方形，具有位于中心的圆形固定板，连接所述支撑板四个顶角与圆形固定板的对角线固定板，连接所述支撑板四边中心与圆形固定板的中线固定板，连接所述支撑板四边中相邻两条边的中心的中心线固定板，每个所述对角线固定板上设置有支撑块。

优选地，本实用新型的立式炉管清洗机废液收集机构，所述固定块设置在沿所述对角线固定板布置的滑轨上。

优选地，本实用新型的立式炉管清洗机废液收集机构，所述废液槽内侧顶部还设置有喷管，所述喷管能够喷出清洗液以在必要时清洗废液槽。

优选地，本实用新型的立式炉管清洗机废液收集机构，所述喷管设置在所述废液槽内侧顶部长度方向两侧。

优选地，本实用新型的立式炉管清洗机废液收集机构，所述喷管通过泵和管道与所述废液槽底部连接。

优选地，本实用新型的立式炉管清洗机废液收集机构，所述喷管上的喷嘴以30°-60°倾斜朝下。

优选地，本实用新型的立式炉管清洗机废液收集机构，所述支撑板的一条边通过铰链与废液槽顶部连接，所述废液槽内部上设置有固定块以对所述支撑板上相对的另一条边进行支撑。

优选地，本实用新型的立式炉管清洗机废液收集机构，所述废液槽内设置有具有过滤孔的过滤板。

优选地，本实用新型的立式炉管清洗机废液收集机构，所述废液槽四侧的槽壁上设置有溢流口。

优选地，本实用新型的立式炉管清洗机废液收集机构，所述溢流口的底边为齿状。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型的立式炉管清洗机废液收集机构，设置在立式炉管清洗机的清洗工位底部，用于固定炉管并承接来自清洗喷管喷出的清洗废液，所述支撑板设置为方形，具有位于中心的圆形固定板，连接所述支撑板四个顶角与圆形固定板的对角线固定板，连接所述支撑板四边中心与圆形固定板的中线固定板，连接所述支撑板四边中相邻两条边的中心的中心线固定板，每个所述对角线固定板上设置有固定块。通过上述设置在能保证支撑板具有较强的结构强度以支撑炉管的同时，尽可能扩大了镂空的区域，防止顶部漏下的清洗液滴落到支撑板而发生溅起的可能，提高了清洗效果。

附图说明

下面结合附图和实施例对本申请的技术方案进一步说明。

图1是本申请实施例的立式炉管清洗机废液收集机构的俯视图；

图2是本申请实施例的支撑板的结构示意图；

图3是本申请实施例的立式炉管清洗机废液收集机构支撑炉管时一个方向的结构示意图；

图4是本申请实施例的立式炉管清洗机废液收集机构支撑炉管时领一个方向的结构示意图；

图5是本申请实施例的立式炉管清洗机废液收集机构的主视图；

图中的附图标记为：

4废液槽；

9炉管；

40溢流口；

41过滤板；

42支撑板；

43喷管；

421铰链；

422圆形固定板；

423对角线固定板；

424中线固定板；

425中心线固定板；

426固定块；

431泵；

432管道。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请保护范围的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型创造的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请的技术方案。

实施例

本实施例提供一种立式炉管清洗机废液收集机构，如图1所示，包括：

废液槽4，

支撑板42，设置在所述废液槽4的顶部；

所述支撑板42为方形，结构如图2所示，具有位于中心的圆形固定板422，连接所述支撑板42四个顶角与圆形固定板422的对角线固定板423，连接所述支撑板42四边中心与圆形固定板422的中线固定板424，连接所述支撑板42四边中相邻两条边的中心的中心线固定板425，每个所述对角线固定板423上设置有固定块426。

本实施例的立式炉管清洗机废液收集机构，设置在立式炉管清洗机的清洗工位底部，用于固定炉管9并承接来自清洗喷管喷出的清洗废液，所述支撑板42设置为方形，具有位于中心的圆形固定板422，连接所述支撑板42四个顶角与圆形固定板422的对角线固定板423，连接所述支撑板42四边中心与圆形固定板422的中线固定板424，连接所述支撑板42四边中相邻两条边的中心的中心线固定板425，每个所述对角线固定板423上设置有固定块426。通过上述设置在能保证支撑板42具有较强的结构强度以支撑炉管9的同时，尽可能扩大了镂空的区域，防止顶部漏下的清洗液滴落到支撑板42而发生溅起的可能，提高了清洗效果。

作为一种改进，本实施例的立式炉管清洗机废液收集机构，所述固定块426设置在沿所述对角线固定板423布置的滑轨上。通过4个可以滑动所述固定块426实现四角定位从而根据不同的炉管9尺寸调节固定块426的位置，进而可以适应不同尺寸的炉管9。

作为一种改进，本实施例的立式炉管清洗机废液收集机构，所述废液槽4内侧顶部还设置有喷管43，所述喷管43能够喷出清洗液以在必要时清洗废液槽4，并促进废液槽4内液体流动。

作为一种改进，本实施例的立式炉管清洗机废液收集机构，如图4所述，所述喷管43设置在所述废液槽4内侧顶部长度方向两侧。

作为一种改进，本实施例的立式炉管清洗机废液收集机构，所述喷管43通过泵431和管道432与所述废液槽4底部连接。

作为一种改进，本实施例的立式炉管清洗机废液收集机构，所述喷管43上的喷嘴以30°-60°倾斜朝下。

作为一种改进，本实施例的立式炉管清洗机废液收集机构，所述支撑板42的一条边通过铰链421与废液槽4顶部连接，所述废液槽4内部上设置有支撑块427以对所述支撑板42上相对的另一条边进行支撑。

作为一种改进，本实施例的立式炉管清洗机废液收集机构，所述废液槽4内设置有具有过滤孔的过滤板41。

作为一种改进，本实施例的立式炉管清洗机废液收集机构，如图5所述，所述废液槽4四侧的槽壁上设置有溢流口40，溢流口40的设置可以使废液槽4内的液体过多时，通过溢流口40使多余的液体流出。

作为一种改进，本实施例的立式炉管清洗机废液收集机构，所述溢流口40的底边为齿状，齿状的溢流口能够过滤掉液体中的一部分大颗粒杂质。

以上述依据本申请的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项申请技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项申请的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。