一种石英炉管清洗辅助装置的制作方法

本实用新型涉及半导体加工生产设备技术领域，具体涉及一种石英炉管清洗辅助装置。

背景技术：

半导体生产领域中，扩散炉在氧化、扩散退火等工艺中是非常重要和常用的装备，通过使硅片在高温和一定的气氛条件下在反应室内发生反应，使硅表面生长氧化膜或使硅片表面的掺杂施主重新排序，达到工艺目的的一种装置。通常包括加热器、温度控制系统、气体供应系统、炉管、舟等部件组成。扩散炉的加热条件在600℃～1250℃之间，要求反应室能耐受高温，不易变形，一般使用石英材质制成的炉管作为反应室。由于在高温加工生产中，氧气、水分子等会与石英材质sio2发生反应，以及掺杂物、金属杂质等会扩散到石英炉管内壁上，影响硅片的质量，因此需要经常性地对石英炉管进行清洗保养，石英炉管清洗设备是扩散炉必不可少的辅助设备。

为达到较好的清洗效果，在清洗炉管时，清洗机会开启炉管旋转装置，通过四个滚轮旋转带动放置在其上的炉管旋转，令炉管在酸液和清水中自转来进行清洗。而有一些特殊的炉管，其外壁附有石英导气管，不能放置在旋转台上进行旋转清洗，只能用浸泡的方式来清洗炉管。清洗完成后，炉管内壁上往往会有酸迹或水迹残留，清洗效果不佳。同时由于炉管内壁残留水汽的存在，需要在n2柜放置很长一段时间后才能使用，间接增加了颗粒污染的风险。

技术实现要素：

本实用新型主要解决现有技术中存在清洗效果不佳的不足，提供了一种石英炉管清洗辅助装置，其具有结构简单和清洗效果好的特点。解决了炉管内壁残留水汽的问题。避免了颗粒污染的风险。

本实用新型的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的：

一种石英炉管清洗辅助装置，包括震动清洗机本体，所述的震动清洗机本体上设有与震动清洗机本体相活动式套接的石英炉管，所述的石英炉管内设有清洗辅助组件，所述的清洗辅助组件与震动清洗机本体间设有辅助清洗支架，所述的石英炉管两侧设有转动轴。所述的清洗辅助组件包括若干鼓泡管，两相邻鼓泡管间设有若干与鼓泡管相连通的连接管，所述的连接管上设有与连接管相连通的石英导气管，所述的鼓泡管上设有若干鼓泡孔。

作为优选，所述的石英炉管上设有与清洗辅助组件呈对称式分布的夹紧组件，所述的夹紧组件下端与震动清洗机本体侧壁间设有升降气缸。

作为优选，所述的夹紧组件包括夹紧气缸，所述的夹紧气缸与石英炉管间设有一对活动式位移夹紧的夹紧环，所述的夹紧环与夹紧气缸间设有位移滑块。

作为优选，所述的石英导气管上设有与石英导气管相嵌套的pp导管。

作为优选，所述的转动轴下端设有与转动轴相卡簧式花键嵌套的转动电机。

作为优选，所述的转动电机与转动轴间设有与震动清洗机本体呈一体化的转动轴安装位移板，所述的转动轴安装位移板与转动轴相腰圆槽滑移式螺栓连接固定。

作为优选，所述的辅助清洗支架与震动清洗机本体间设有与辅助清洗支架相嵌套式螺栓压接的支架固定座。

本实用新型能够达到如下效果：

本实用新型提供了一种石英炉管清洗辅助装置，与现有技术相比较，具有结构简单和清洗效果好的特点。解决了炉管内壁残留水汽的问题。避免了颗粒污染的风险。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是本实用新型的俯视结构示意图。

图3是本实用新型中的清洗辅助组件的结构示意图。

图中：升降气缸1，夹紧组件2，石英炉管3，转动轴4，转动轴安装位移板5，清洗辅助组件6，辅助清洗支架7，pp导管8，转动电机9，支架固定座10，震动清洗机本体11，石英导气管12，连接管13，鼓泡管14，夹紧环15，位移滑块16，夹紧气缸17，鼓泡孔18。

具体实施方式

下面通过实施例，并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步具体的说明。

实施例：如图1、图2和图3所示，一种石英炉管清洗辅助装置，包括震动清洗机本体11，震动清洗机本体11上设有与震动清洗机本体11相活动式套接的石英炉管3，石英炉管3上设有与清洗辅助组件6呈对称式分布的夹紧组件2，夹紧组件2包括夹紧气缸17，夹紧气缸17与石英炉管3间设有一对活动式位移夹紧的夹紧环15，夹紧环15与夹紧气缸17间设有位移滑块16。夹紧组件2下端与震动清洗机本体11侧壁间设有升降气缸1。石英炉管3内设有清洗辅助组件6，清洗辅助组件6与震动清洗机本体11间设有辅助清洗支架7，辅助清洗支架7与震动清洗机本体11间设有与辅助清洗支架7相嵌套式螺栓压接的支架固定座10。石英炉管3两侧设有转动轴4，转动轴4下端设有与转动轴4相卡簧式花键嵌套的转动电机9。转动电机9与转动轴4间设有与震动清洗机本体11呈一体化的转动轴安装位移板5，转动轴安装位移板5与转动轴4相腰圆槽滑移式螺栓连接固定。清洗辅助组件6包括2根鼓泡管14，两鼓泡管14间设有3根与鼓泡管14相连通的连接管13，连接管13上设有与连接管13相连通的石英导气管12，石英导气管12上设有与石英导气管12相嵌套的pp导管8。鼓泡管14上设有7个鼓泡孔18。

先通过夹紧组件2的夹紧气缸17带动位移滑块16将夹紧环15对石英炉管3进行夹紧固定。接着升降气缸1下降，使得石英炉管3进入震动清洗机本体11内进行清洗过程。完成震动清洗机本体11对石英炉管3的清洗后，升降气缸1上升，接着转动轴4固定石英炉管3，夹紧组件2松开。然后气泵对pp导管8进行通气，通过石英导气管12送入连接管13连接的鼓泡管14内，由鼓泡管14上的鼓泡孔18对石英炉管3内壁进行吹扫。

综上所述，该石英炉管清洗辅助装置，具有结构简单和清洗效果好的特点。解决了炉管内壁残留水汽的问题。避免了颗粒污染的风险。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范实施例的细节，而且在不背离实用新型的基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

总之，以上所述仅为本实用新型的具体实施例，但本实用新型的结构特征并不局限于此，任何本领域的技术人员在本实用新型的领域内，所作的变化或修饰皆涵盖在本实用新型的专利范围之中。

技术特征：

1.一种石英炉管清洗辅助装置，包括震动清洗机本体（11），所述的震动清洗机本体（11）上设有与震动清洗机本体（11）相活动式套接的石英炉管（3），其特征在于：所述的石英炉管（3）内设有清洗辅助组件（6），所述的清洗辅助组件（6）与震动清洗机本体（11）间设有辅助清洗支架（7），所述的石英炉管（3）两侧设有转动轴（4）；所述的清洗辅助组件（6）包括若干鼓泡管（14），两相邻鼓泡管（14）间设有若干与鼓泡管（14）相连通的连接管（13），所述的连接管（13）上设有与连接管（13）相连通的石英导气管（12），所述的鼓泡管（14）上设有若干鼓泡孔（18）。

2.根据权利要求1所述的一种石英炉管清洗辅助装置，其特征在于：所述的石英炉管（3）上设有与清洗辅助组件（6）呈对称式分布的夹紧组件（2），所述的夹紧组件（2）下端与震动清洗机本体（11）侧壁间设有升降气缸（1）。

3.根据权利要求2所述的一种石英炉管清洗辅助装置，其特征在于：所述的夹紧组件（2）包括夹紧气缸（17），所述的夹紧气缸（17）与石英炉管（3）间设有一对活动式位移夹紧的夹紧环（15），所述的夹紧环（15）与夹紧气缸（17）间设有位移滑块（16）。

4.根据权利要求1所述的一种石英炉管清洗辅助装置，其特征在于：所述的石英导气管（12）上设有与石英导气管（12）相嵌套的pp导管（8）。

5.根据权利要求1所述的一种石英炉管清洗辅助装置，其特征在于：所述的转动轴（4）下端设有与转动轴（4）相卡簧式花键嵌套的转动电机（9）。

6.根据权利要求5所述的一种石英炉管清洗辅助装置，其特征在于：所述的转动电机（9）与转动轴（4）间设有与震动清洗机本体（11）呈一体化的转动轴安装位移板（5），所述的转动轴安装位移板（5）与转动轴（4）相腰圆槽滑移式螺栓连接固定。

7.根据权利要求1所述的一种石英炉管清洗辅助装置，其特征在于：所述的辅助清洗支架（7）与震动清洗机本体（11）间设有与辅助清洗支架（7）相嵌套式螺栓压接的支架固定座（10）。

技术总结
本实用新型涉及一种石英炉管清洗辅助装置，所属半导体加工生产设备技术领域，包括震动清洗机本体，所述的震动清洗机本体上设有与震动清洗机本体相活动式套接的石英炉管，所述的石英炉管内设有清洗辅助组件，所述的清洗辅助组件与震动清洗机本体间设有辅助清洗支架，所述的石英炉管两侧设有转动轴。所述的清洗辅助组件包括若干鼓泡管，两相邻鼓泡管间设有若干与鼓泡管相连通的连接管，所述的连接管上设有与连接管相连通的石英导气管，所述的鼓泡管上设有若干鼓泡孔。具有结构简单和清洗效果好的特点。解决了炉管内壁残留水汽的问题。避免了颗粒污染的风险。

技术研发人员：王烨华
受保护的技术使用者：杭州中欣晶圆半导体股份有限公司
技术研发日：2019.12.31
技术公布日：2020.10.16