一种硅片酸洗池的制作方法

文档序号:28161165发布日期:2021-12-24 19:58阅读:153来源:国知局
一种硅片酸洗池的制作方法

1.本发明涉及酸洗池技术领域,具体为一种硅片酸洗池。


背景技术:

2.在硅片生产的过程中需要对于硅片进行酸洗,在酸洗的时候能够将硅片上的杂质进行去除,同时能够让硅片的力学性能得到优化,满足不同工况对于硅片的使用要求,利用酸溶液去除钢铁表面上的氧化皮和锈蚀物的方法称为酸洗,是清洁金属表面的一种方法。
3.现有的硅片酸洗池在使用时,其经过酸洗处理后的硅片需要人工捞出,劳动强度大,工作效率低,不方便自动升降取料,且酸洗池内部的强酸液体容易腐蚀物体,造成工作人员的受伤,安全性较低。因此,我们提出了一种硅片酸洗池来解决上述问题。


技术实现要素:

4.针对现有技术的不足,本发明提供了一种硅片酸洗池,具备方便升降取料、工作效率高、安全性高等优点,解决了不方便升降取料、工作效率低、安全性低的问题。
5.本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:一种硅片酸洗池,包括池体和升降机构,所述池体的顶部外壁固定连接有升降机构,所述池体的内壁开设有卡接槽,所述池体的顶部外壁开设有滑轨,所述滑轨的内壁滑动连接有滑动块,所述滑动块的外壁固定连接有盖板,所述盖板的左右外壁固定连接有条形框,所述条形框的内壁滑动连接有圆形滑块,所述圆形滑块底部活动连接有移动组件。
6.所述升降机构包括动力组件,所述动力组件的右侧活动连接有转动盘,所述转动盘的内部开设有圆形槽,所述圆形槽的内壁滑动连接有转动柱,所述转动柱的底部活动连接有升降杆,所述升降杆的外壁套接有滑动套,所述滑动套的左侧外壁固定连接有卡接柱,所述升降杆的底部固定连接有漏液板,所述转动柱的外壁开设有h型槽,所述h型槽的内壁固定连接有弹性球。
7.进一步的,所述卡接槽的内壁与卡接柱的外壁滑动连接,所述移动组件远离圆形滑块的一侧与池体的外壁固定连接。
8.进一步的,所述条形框的内部开设有条形孔,且所述圆形滑块的外壁与条形孔的内壁滑动连接。
9.进一步的,所述动力组件的底部固定连接有基座,且基座的底部外壁与池体的顶部外壁固定连接。
10.进一步的,所述滑动套的内部开设有与升降杆相适配的滑动孔,所述漏液板的内部开设有漏液口,所述弹性球的外壁与圆形槽的内壁滑动连接。
11.进一步的,所述池体的内壁由陶瓷材料制成,所述升降机构均由具有致密氧化膜的金属铝材料制成。
12.本发明的有益效果是:
13.1、该硅片酸洗池,通过升降机构的设置,方便对硅片进行酸洗处理,提高了处理效
率,将硅片均匀放置在漏液板的顶部,启动动力组件,则转动盘转动并带动转动柱在圆形槽的内壁滑动,弹性球随着圆形槽轨迹的变化滑动,转动柱会带动升降杆上下移动,升降杆移动时在滑动套内部来回滑动,对其限位,则漏液板方便升降,能够将漏液板上的硅片全部放入池体进行酸洗,酸洗效率高,减少了工人的工作量,酸洗完成后方便向上移动,方便硅片的取料,提高了装置的使用效果。
14.2、该硅片酸洗池,通过盖板的设置,方便对池体的顶部进行遮挡,防止酸洗过程中,强酸液体四溅伤到工作人员,启动移动组件带动圆形滑块移动,则圆形滑块带动条形框移动,盖板随之移动,滑动块在滑轨内壁滑动,移动的更加稳定,盖板的防护效果好,防止强酸液体造成人员受伤,提高了酸洗池的安全性。
附图说明
15.为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例描述中或现有技术中所需要使用的附图作简单地介绍。
16.图1为本发明结构正视图;
17.图2为本发明升降机构立体图;
18.图3为本发明转动柱结构立体图;
19.图4为本发明结构俯视图。
20.附图标记说明:1、池体;2、升降机构;201、动力组件;202、转动盘;203、圆形槽;204、转动柱;205、升降杆;206、滑动套;207、卡接柱;208、漏液板;209、h型槽;210、弹性球;3、卡接槽;4、滑轨;5、滑动块;6、盖板;7、条形框;8、圆形滑块;9、移动组件。
具体实施方式
21.下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
22.请参阅图1-4,一种硅片酸洗池,包括池体1和升降机构2,其中,池体1的内壁由陶瓷材料制成,是为了存放酸洗液,防止腐蚀,池体1的顶部外壁固定连接有升降机构2,其中,升降机构2均由具有致密氧化膜的金属铝材料制成,是为了防止其腐蚀,池体1的内壁开设有卡接槽3,其中,卡接槽3的内壁与卡接柱207的外壁滑动连接,是为了方便卡接柱207与卡接槽3的卡接,池体1的顶部外壁开设有滑轨4,是为了方便滑动块5的来回滑动,滑轨4的内壁滑动连接有滑动块5,滑动块5的外壁固定连接有盖板6,是为了对池体1进行防护,防止酸洗液四溅,造成工作人员的受伤,盖板6的左右外壁固定连接有条形框7,其中,条形框7的内部开设有条形孔,且圆形滑块8的外壁与条形孔的内壁滑动连接,是为了方便圆形滑块8带动条形框7移动,条形框7的内壁滑动连接有圆形滑块8,圆形滑块8底部活动连接有移动组件9,其中,移动组件9远离圆形滑块8的一侧与池体1的外壁固定连接,是为了固定放置移动组件9。
23.升降机构2包括动力组件201,其中,动力组件201的底部固定连接有基座,且基座的底部外壁与池体1的顶部外壁固定连接,是为了稳定放置动力组件201,方便为升降机构2提高动力,动力组件201的右侧活动连接有转动盘202,转动盘202的内部开设有圆形槽203,圆形槽203的内壁滑动连接有转动柱204,转动柱204的底部活动连接有升降杆205,升降杆
205的外壁套接有滑动套206,其中,滑动套206的内部开设有与升降杆205相适配的滑动孔,是为了方便升降杆205的升降,滑动套206的左侧外壁固定连接有卡接柱207,升降杆205的底部固定连接有漏液板208,其中,漏液板208的内部开设有漏液口,是为了方便酸洗液的漏下,方便工作人员的取料处理,转动柱204的外壁开设有h型槽209,h型槽209的内壁固定连接有弹性球210,其中,弹性球210的外壁与圆形槽203的内壁滑动连接,是为了方便弹性球210的滑动。
24.在使用时,通过升降机构2的设置,方便对硅片进行酸洗处理,提高了处理效率,将硅片均匀放置在漏液板208的顶部,启动动力组件201,则转动盘202转动并带动转动柱204在圆形槽203的内壁滑动,弹性球2101随着圆形槽2033轨迹的变化滑动,转动柱204会带动升降杆205上下移动,升降杆205移动时在滑动套206内部来回滑动,对其限位,则漏液板208方便升降,能够将漏液板208上的硅片全部放入池体1进行酸洗,酸洗效率高,减少了工人的工作量,酸洗完成后方便向上移动,方便硅片的取料,提高了装置的使用效果,通过盖板6的设置,方便对池体1的顶部进行遮挡,防止酸洗过程中,强酸液体四溅伤到工作人员,启动移动组件9带动圆形滑块8移动,则圆形滑块8带动条形框7移动,盖板6随之移动,滑动块5在滑轨4内壁滑动,移动的更加稳定,盖板6的防护效果好,防止强酸液体造成人员受伤,提高了酸洗池的安全性。
25.对所公开的实施例的上述说明,使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的,本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下,在其它实施例中实现。因此,本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例,而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
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