一种硅片用冲洗设备的制作方法

文档序号:24473677发布日期:2021-03-30 20:09阅读:40来源:国知局
一种硅片用冲洗设备的制作方法

本实用新型涉及硅片清洗技术领域,具体为一种硅片用冲洗设备。



背景技术:

在米粒大的硅片上,已能集成十六万个晶体管,这是科学技术进步的又一个里程碑。地壳中含量达百分之二十五点八的硅元素,为单晶硅的生产提供了取之不尽的源泉。由于硅元素是地壳中储量最丰富的元素之一,对太阳能电池这样注定要进入大规模市场的产品而言,储量的优势也是硅成为光伏主要材料的原因之一。半导体硅片的生产流程大致分为切片、激光标识、倒角、磨片、腐蚀、背损伤、边缘镜面抛光、预热清洗、抵抗稳定、背封、粘片、抛光、清洗、擦片、激光检查和包装等流程。目前市场上所使用的硅片用冲洗设备清洗效果差,在硅片原料的清洗过程中,可能因硅片原料的重叠而导致硅片原料清洗不干净,使得工作人员需要对硅片原料进行多次清洗,从而降低了工作人员的工作效率,从而为工作人员的使用带来了不便。



技术实现要素:

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种硅片用冲洗设备,具备清洗效果好等优点,解决了一般硅片用冲洗设备清洗效果差的问题。

(二)技术方案

为实现上述该清洗设备清洗效果好的目的,本实用新型提供如下技术方案:一种硅片用冲洗设备,包括底板,所述底板的顶部固定连接有清洗室,所述清洗室的顶部固定连接有清洗装置本体,所述清洗装置本体的底部固定连接有喷头,所述底板的顶部固定连接有第一支架,所述第一支架的一侧固定连接有第一支撑板,所述第一支撑板的顶部固定连接有第一底座,所述第一底座的顶部固定连接有第一电机,所述第一电机的输出轴通过联轴器固定连接有第一旋转轴,所述第一旋转轴的外壁固定连接有第一皮带轮,所述第一皮带轮的外壁活动连接有第一皮带,所述底板的顶部固定连接有支撑管,所述支撑管的内壁活动连接有支撑杆,所述支撑杆的一端固定连接有支撑块。

所述支撑块的顶部固定连接有挡板,所述支撑块的一侧固定连接有链条,所述清洗室的内壁固定连接有第二支撑板,所述第二支撑板的一侧固定连接有第二电机,所述清洗室的内壁固定连接有第三支撑板,所述第三支撑板的顶部固定连接有第二支架,所述第二支架的一侧固定连接有第二底座,所述第二底座的一侧固定连接有第三电机,所述第三电机的输出轴通过联轴器固定连接有第二旋转轴,所述第二旋转轴的一端固定连接有刷毛,所述第二旋转轴的外壁固定连接有第二皮带轮,所述第二皮带轮的外壁活动连接有第二皮带,所述第二皮带的内壁活动连接有第三皮带轮。

优选的,所述支撑管的内壁活动连接有卡板,且卡板的顶部与支撑杆的一端活动连接,且支撑杆的外壁通过卡板与支撑管的外壁活动连接。

优选的,所述第二电机的输出轴通过联轴器固定连接有齿轮,且齿轮和链条的形状大小均相互匹配。

优选的,所述清洗室的一侧开设有进料口,且清洗室的另一侧开设有出料口。

优选的,所述支撑块的数量为两个,且两个支撑块以挡板的垂直中线为对称轴对称设置。

优选的,所述第一旋转轴的一端贯穿第一支架的一侧并延伸至第一皮带轮的一端,且第一旋转轴为合金钢旋转轴。

优选的,所述第一皮带轮的数量为两个,且两个第一皮带轮以清洗室的垂直中线为对称轴对称设置。

(三)有益效果

与现有技术相比,本实用新型提供了一种硅片用冲洗设备,具备以下有益效果:

1、该硅片用冲洗设备,通过设置的支撑管、卡板、支撑杆、支撑块、链条、第二支撑板、第二电机、齿轮和挡板,能够达到清洗效果好的目的,解决了一般硅片用冲洗设备清洗效果差的问题,使得工作人员能够根据硅片原料的厚度来对挡板的高度进行调节,从而避免了因硅片原料重叠而导致硅片原料清洗不干净的现象,从而提升了工作人员的工作效率。

2、该硅片用冲洗设备,通过设置的第三电机、第二旋转轴、刷毛、第二皮带轮、第二皮带和第三皮带轮,能够达到硅片用冲洗设备干燥效果好的目的,使得刷毛能够对清洗后的硅片原料进行干燥,从而避免了因硅片原料表面有水滴而沾染灰尘的现象发生,从而提升了该清洗设备的实用性。

3、该硅片用冲洗设备,通过设置的第一支架、第一电机、第一旋转轴、第一皮带轮和第一皮带,能够达到硅片用冲洗设备上料效果好的目的,使得硅片原料能够迅速的进入到清洗室内,从而进一步提升了工作人员的工作效率,从而为工作人员的使用提供了便利。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图;

图2为本实用新型支撑板与支撑管连接结构示意图;

图3为本实用新型清洗室与第二支撑板连接结构示意图;

图4为本实用新型侧剖图;

图5为本实用新型图2中a处放大图;

图6为本实用新型图3中b处放大图。

图中:1、底板;2、清洗室;3、清洗装置本体;4、喷头;5、第一支架;6、第一支撑板;7、第一底座;8、第一电机;9、第一旋转轴;10、第一皮带轮;11、第一皮带;12、支撑管;13、卡板;14、支撑杆;15、支撑块;16、链条;17、第二支撑板;18、第二电机;19、齿轮;20、挡板;21、第三支撑板;22、第二支架;23、第二底座;24、第三电机;25、第二旋转轴;26、刷毛;27、第二皮带轮;28、第二皮带;29、第三皮带轮。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-6,一种硅片用冲洗设备,包括底板1,底板1的顶部固定连接有清洗室2,清洗室2的一侧开设有进料口,且清洗室2的另一侧开设有出料口,清洗室2的顶部固定连接有清洗装置本体3,清洗装置本体3的底部固定连接有喷头4,底板1的顶部固定连接有第一支架5,第一支架5的一侧固定连接有第一支撑板6,第一支撑板6的顶部固定连接有第一底座7,第一底座7的顶部固定连接有第一电机8,第一电机8的输出轴通过联轴器固定连接有第一旋转轴9,第一旋转轴9的外壁固定连接有第一皮带轮10,第一皮带轮10的数量为两个,且两个第一皮带轮10以清洗室2的垂直中线为对称轴对称设置,第一旋转轴9的一端贯穿第一支架5的一侧并延伸至第一皮带轮10的一端,且第一旋转轴9为合金钢旋转轴,合金钢旋转轴的耐磨性好,且具有高的强度和韧性,第一皮带轮10的外壁活动连接有第一皮带11,通过设置的第一支架5、第一电机8、第一旋转轴9、第一皮带轮10和第一皮带11,能够达到硅片用冲洗设备上料效果好的目的,使得硅片原料能够迅速的进入到清洗室2内,从而进一步提升了工作人员的工作效率,从而为工作人员的使用提供了便利,底板1的顶部固定连接有支撑管12,支撑管12的内壁活动连接有支撑杆14,支撑管12的内壁活动连接有卡板13,卡板13防止支撑杆14在支撑管12内脱落,且卡板13的顶部与支撑杆14的一端活动连接,且支撑杆14的外壁通过卡板13与支撑管12的外壁活动连接,支撑杆14的一端固定连接有支撑块15。

支撑块15的顶部固定连接有挡板20,支撑块15的数量为两个,且两个支撑块15以挡板20的垂直中线为对称轴对称设置,支撑块15的一侧固定连接有链条16,清洗室2的内壁固定连接有第二支撑板17,第二支撑板17的一侧固定连接有第二电机18,第二支撑板17支撑第二电机18,防止第二电机18掉落,第二电机18的输出轴通过联轴器固定连接有齿轮19,且齿轮19和链条16的形状大小均相互匹配,通过设置的支撑管12、卡板13、支撑杆14、支撑块15、链条16、第二支撑板17、第二电机18、齿轮19和挡板20,能够达到清洗效果好的目的,解决了一般硅片用冲洗设备清洗效果差的问题,使得工作人员能够根据硅片原料的厚度来对挡板20的高度进行调节,从而避免了因硅片原料重叠而导致硅片原料清洗不干净的现象,从而提升了工作人员的工作效率,清洗室2的内壁固定连接有第三支撑板21,第三支撑板21的顶部固定连接有第二支架22,第二支架22的一侧固定连接有第二底座23,第二底座23的一侧固定连接有第三电机24,第三电机24的输出轴通过联轴器固定连接有第二旋转轴25,第二旋转轴25的一端固定连接有刷毛26,第二旋转轴25的外壁固定连接有第二皮带轮27,第二皮带轮27的外壁活动连接有第二皮带28,第二皮带28的内壁活动连接有第三皮带轮29,通过设置的第三电机24、第二旋转轴25、刷毛26、第二皮带轮27、第二皮带28和第三皮带轮29,能够达到硅片用冲洗设备干燥效果好的目的,使得刷毛26能够对清洗后的硅片原料进行干燥,从而避免了因硅片原料表面有水滴而沾染灰尘的现象发生,从而提升了该清洗设备的实用性。

该文中出现的电器元件均与外界的主控器及220v市电电连接,并且主控器可为计算机等起到控制的常规已知设备。

在使用时,第二电机18运转,带动齿轮19旋转,通过齿轮19旋转来带动链条16和支撑块15上下移动,使得支撑杆14通过卡板13在支撑管12的内壁上下移动,防止支撑块15和链条16在移动过程中偏移,从而使得工作人员能够根据硅片原料的厚底来调节挡板20的高度。

综上所述,该硅片用冲洗设备,能够达到清洗效果好的目的,解决了一般硅片用冲洗设备清洗效果差的问题,使得工作人员能够根据硅片原料的厚度来对挡板20的高度进行调节。

需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

当前第1页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1