一种移动式限位机构及清洗机的制作方法

1.本技术涉及显示面板加工技术领域，尤其涉及一种移动式限位机构及清洗机。


背景技术：

2.在当前光电显示领域，显示技术正迅猛发展，尤以oled(有机发光二极管)显示技术发展最为迅速。以oled显示器件工艺流程为例，玻璃基板上料后经过clean(清洗)、aoi(自动光学检测)、tfe(薄膜封装)等制程后，进行barrier film(阻隔膜层贴附)、bonding(绑定)、llo(激光剥离)前清洗和llo(激光剥离)等工艺。当前业界oled显示面板的工艺线中，需要在多个功能制程段之间进行基板清洗，包括基板上料后清洗、llo前清洗等。基板异物、脏污的存在，对各制程段的良率损伤是严重的，清洗设备的清洁能力和基板清洁的干净程度，极大地影响最终oled产品的良率和可靠性。
3.清洗设备已经广泛应用于各种显示器件工艺中，清洗机的型式一般为直线型或者l型。清洗设备一般由很多清洗机构组成，包括冲洗、刷洗和风干等机构，基板在清洗机中的传送主要采用roller(滚轮)输运方式。
4.目前面板业界各产线所配置的清洗机，其限位机构的位置是固定的，只能对应一种尺寸基板的限位和清洁。对于不同尺寸的基板，需要在产线上配置多台清洗设备以实现兼容，这使得清洗机的设备综合能力受到很大局限，并增加了购置多台设备的资金成本，以及人力管理成本。


技术实现要素：

5.有鉴于此，本技术的目的在于提供一种移动式限位机构及清洗机，旨在提高清洗机的综合能力。
6.一方面，本技术提供一种移动式限位机构，包括：
7.驱动装置；
8.与所述驱动装置连接的移动支架，所述驱动装置控制所述移动支架在第一方向移动；
9.沿所述第一方向平行设置的多个固定板，所述固定板的一端与所述移动支架连接；
10.位于所述固定板的另一端的限位滚轮。
11.进一步优选的，还包括：
12.在垂直于所述第一方向的平面设置的固定机架，所述驱动装置位于所述固定机架与所述移动支架之间，所述驱动装置包括：
13.安装在所述固定机架上的气缸；
14.固定在所述气缸上的限位套筒；
15.与所述气缸连接的伸缩杆，所述伸缩杆穿过所述限位套筒与所述移动支架连接，所述气缸控制所述伸缩杆在所述第一方向往复运动。
16.进一步优选的，所述固定板包括：
17.与所述移动支架连接的第一子固定板；
18.与所述第一子固定板连接的第二子固定板，所述第二子固定板的厚度小于所述第一子固定板的厚度，所述限位滚轮位于所述第二子固定板上。
19.进一步优选的，还包括位于所述移动支架下方的导轨，所述导轨在所述第一方向延伸设置。
20.进一步优选的，所述导轨的两个相对的侧面分别具有一个凹型轨道，所述移动支架的底部安装有滑块组，所述滑块组具有两个相对设置的滑块，所述两个滑块分设在所述导轨两侧，所述两个滑块沿所述第一方向与两个所述凹型轨道一一对应地滑动配合。
21.进一步优选的，所述导轨的数量与所述固定板的数量相同。
22.进一步优选的，所述移动式限位机构还包括：
23.底板，所述导轨设置在所述底板上，所述固定板与所述底板相对设置，所述底板远离所述驱动装置的一侧具有用于承载待限位基板的限位区域；
24.其中，在所述待限位基板沿第二方向移动并通过所述限位区域时，所述限位滚轮用于对所述待限位基板进行限位。
25.进一步优选的，所述驱动装置包括：
26.安装在所述底板上的电控马达；
27.与所述电控马达连接的螺纹杆，所述螺纹杆穿过所述移动支架，所述螺纹杆通过转动使所述移动支架在所述第一方向移动。
28.进一步优选的，所述移动式限位机构还包括：
29.设置在所述底板上的限位块，所述限位块用于在所述移动支架向所述驱动装置移动时对所述移动支架限位。
30.本技术还提供一种清洗机，包括：
31.前面描述的两个移动式限位机构，两个所述移动式限位机构各自的所述限位滚轮相对设置，并用于对设置在两个所述移动式限位机构之间的待限位基板进行限位；
32.清洗装置，所述清洗装置用于对位于两个所述移动式限位机构之间的所述待限位基板进行清洗处理。
33.本技术的有益效果是：本技术提供一种移动式限位机构及清洗机，该移动式限位机构包括：驱动装置；与驱动装置连接的移动支架，驱动装置控制所述移动支架在第一方向移动；沿第一方向平行设置的多个固定板，固定板的一端与移动支架连接；位于固定板的另一端的限位滚轮。由此，驱动装置可以控制移动支架在第一方向移动，使得限位滚轮可以在第一方向移动，可以控制限位滚轮在第一方向的位置使其与待限位基板的边缘接触，从而实现对不同尺寸待限位基板的限位。由于清洗机包括移动式限位机构，因此一台清洗机可以适应多种尺寸待限位基板，进而可以提升单台清洗机的设备综合能力，极大地降低现有面板线购置多台清洗设备所需的资金成本和人力管理成本。
附图说明
34.为了更清楚地说明本技术中的技术方案，下面将对实施方式描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施方式，对于本
领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
35.图1是本技术实施例提供的移动式限位机构的结构示意图；
36.图2是本技术实施例提供的限位滚轮和固定板的俯视结构示意图；
37.图3是本技术实施例提供的导轨在yz面的剖面结构示意图；
38.图4是本技术例提供的导轨的俯视结构示意图；
39.图5是本技术实施例提供的移动支架的侧视结构示意图；
40.图6是本技术另一实施例提供的移动式限位机构的结构示意图；
41.图7是本技术实施例提供的清洗区间的结构示意图。
42.附图标号说明：
43.100：移动式限位机构；10：驱动装置；101：气缸；102：限位套筒；103：伸缩杆；104：电控马达；105：螺纹杆；20：移动支架；21：滑块组；211：滑块；30：固定板；31：第一子固定板；32：第二子固定板；33：紧固螺栓；34：紧固螺钉；40：限位滚轮；41：旋转轴；50：固定机架；60：底板；70：待限位基板；80：导轨；81：凹型轨道；82：安装螺孔；90：限位块；200：移动式限位机构；301：入料区间；302：碱液清洗区间；303：缓冲区间；304：清洗区间；305：毛刷区间；306：水枪清洗区间；307：高压水枪冲洗区间；308：紫外清洁区间；309：风刀区间；310：出料区间。
具体实施方式
44.下面将结合本技术实施方式中的附图，对本技术中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施方式仅仅是本技术一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本技术中的实施方式，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本技术保护的范围。
45.在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
46.下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本技术的不同结构。为了简化本技术的公开，下文对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本技术。此外，本技术可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外，本技术提供了各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。
47.请参阅图1，图1是本技术实施例提供的移动式限位机构的结构示意图。该移动式限位机构100包括驱动装置10、与所述驱动装置10连接的移动支架20、沿第一方向(x)平行设置的多个固定板30以及位于固定板30上的限位滚轮40。所述驱动装置10控制所述移动支架20在第一方向(x)移动，所述固定板30的一端a与所述移动支架20连接，所述限位滚轮40位于固定板30的另一端b。由于固定板30是沿第一方向(x)设置的，固定板30的一端a和另一端b是在第一方向(x)的两端。
48.移动支架20为沿垂直于第一方向(x)的第二方向(y)方向设置的条状，以连接多个固定板30。所述多个固定板30的长度沿第一方向(x)设置，以在另一端b连接限位滚轮40，且一个固定板30上安装一个限位滚轮40。
49.固定板30可以包括与移动支架20连接的第一子固定板31和与所述第一子固定板31连接的第二子固定板32。第一子固定板31在端面通过紧固螺栓33与移动支架20连接，第二子固定板32位于第一子固定板31的上表面、且通过紧固螺钉34与第一子固定板31连接。其中，第二子固定板32的厚度小于第一子固定板31的厚度。由于第一子固定板31在端面要安装紧固螺栓33，因此需要一定的厚度才能保证与移动支架20稳固连接，而在固定板30的另一端b安装一个限位滚轮40，板子不需要太厚。因此第二子固定板32的厚度小于第一子固定板31的厚度的设计，相比于固定板30全部采用第一子固定板31的设计更加节省材料。
50.限位滚轮40安装在第二子固定板32端部的上表面，具体的请参阅图2，图2是本技术实施例提供的限位滚轮和固定板的俯视结构示意图。旋转轴41固定安装在第二子固定板32端部的上表面，限位滚轮40安装在旋转轴41上，该限位滚轮40可以相对于所述旋转轴41转动，且限位滚轮40突出于第二子固定板32的端部。该限位滚轮40的材质可以选用特制化学纤维和橡胶，保证限位时与待限位基板70边缘接触时为软对硬的接触，降低限位滚轮40对待限位基板70边缘的磨损程度。同时，该限位滚轮40本身具有一定的硬度，使得其不易发生变形，达到对待限位基板70精准限位的目的。
51.在本实施例中，所述移动式限位机构100还包括在垂直于第一方向(x)的平面(yz)设置的固定机架50和位于底部的底板60，驱动装置10位于固定机架50和移动支架20之间，底板60与固定机架50垂直且位于驱动装置10、移动支架20和固定板30的下方，固定板30与底板60相对设置。所述底板60远离所述驱动装置10的一侧具有用于承载待限位基板70的限位区域。在所述待限位基板70沿第二方向(y)移动并通过所述限位区域时，所述限位滚轮40用于对所述待限位基板70在第一方向(x)上进行限位。
52.其中，限位滚轮40自身的高度大约为1-2cm，限位滚轮40离底板60的高度大约为4-5cm。待限位基板70的厚度大约为0.5cm，待限位基板70离底板60的高度也为4-5cm，因此限位滚轮40和待限位基板70的边缘可以接触。待限位基板70和底板60之间还有用于输运待限位基板70的滚轮。
53.其中，驱动装置10包括安装在固定机架50面向移动支架20一侧的气缸101，固定在气缸101面向移动支架20一侧的限位套筒102，以及与气缸101连接的伸缩杆103。所述伸缩杆103穿过所述限位套筒102与移动支架20连接。气缸101可以控制所述伸缩杆103在第一方向(x)往复运动，从而间接控制移动支架20在第一方向(x)往复运动。由于固定板30在第一方向(x)与移动支架20和限位滚轮40连接，所以气缸101可以间接控制限位滚轮40在第一方向(x)移动，使限位滚轮40可以与待限位基板70的边缘接触，以实现对待限位基板70的限位。即使待限位基板70的尺寸不同，也可以通过控制移动支架20沿第一方向(x)的伸缩量，进而控制限位滚轮40的位置以实现在第一方向(x)上对不同尺寸待限位基板70的限位，因此该移动式限位机构100能够实现对不同尺寸待限位基板70限位的兼容性。
54.需要说明的是，待限位基板70沿第二方向(y)方向流动或输运以经过多个功能制程段和多个功能制程段之间的清洗区间，第一方向(x)垂直于待限位基板70的流动方向(y)。在待限位基板70的一侧有移动式限位机构100，在待限位基板70的另一侧也有移动式
限位机构100(图中未示出)，两个移动式限位机构100的限位滚轮40都与待限位基板70的边缘轻微接触，即两个移动式限位机构100各自的限位滚轮40相对设置，并用于对设置在两个移动式限位机构100之间的待限位基板70在第一方向(x)上进行限位，可以保证待限位基板70在输运时不发生侧向位移，从而降低待限位基板70在清洗机中的破片风险。并且，通过控制两个移动式限位机构100各自的移动支架20沿第一方向(x)的伸缩量，进而控制两个移动式限位机构100各自的限位滚轮40的位置，调整两个移动式限位机构100各自的限位滚轮40之间的距离，以实现在第一方向(x)上对不同尺寸待限位基板70的限位。
55.例如，当待限位基板70的尺寸为31inch fhd时，整个待限位基板70的尺寸为730
×
460mm，可以控制待限位基板70两侧的限位滚轮40之间的距离为460mm，使两侧的限位滚轮40对待限位基板70进行限位，以使待限位基板70在输运过程中不发生侧移(不在x方向偏移)。31inch fhd待限位基板70，其长边切割区尺寸为730
×
27.11mm，短边切割区尺寸为460
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16.34mm，去掉切割区后的待限位基板70尺寸为697.32
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405.78mm，显示区的尺寸为673.92
×
379.08mm。以待限位基板70的整体尺寸730
×
460mm为依据，通过控制软件端修改移动式限位滚轮40的行程，实现对不同尺寸待限位基板70的限位，进而实现对不同尺寸待限位基板70的兼容。
56.气缸101可以采用单作用气缸或双作用气缸。对双作用气缸而言，气缸活塞两侧都有气压力，来实现前进或后退动作。当活塞两侧交替地有压缩空气进入和排出时，活塞向两个方向直线运动，并推动伸缩杆103直线往复运动，两个方向的运动速度均可以通过电气比例阀调整气压而控制，气源压力的大小依靠电气比例阀和电磁阀调节。气缸101通过通讯线路与运动控制器相连，最终实现终端自动控制，通过在终端设置匹配方案，能够将气源压力与伸缩杆103运动行程进行匹配计算和控制，由此实现移送式限位机构100的精准限位。气缸的驱动气源采用压缩洁净空气，起源管路采用直径为10mm左右的聚酯纤维软管，各清洗区间的通气软管引出后通过三通阀接至直径为12mm左右的大软管，大软管最后经过布线与供气管路联通。双作用气缸中的气源压力作用到内部活塞上，推动活塞的往复运动，进而实现伸缩杆103的直线往复运动。伸缩杆103的一端与移动支架20连接，带动右侧限位滚轮40的直线往复运动。
57.限位套筒102设置在气缸101和移动支架20之间，该限位套筒102设计成镂空圆柱体套在伸缩杆103上，伸缩杆103从其内部穿过并保持内外壁接触。在一些实施例中，限位套筒102的内壁与伸缩杆103的外壁可以不接触。此限位套筒102的作用是，当移动支架20向固定机架50的方向运动时，能够在既定位置精准停止运动而不与气缸101发生撞击。
58.伸缩杆103设置在移动支架20远离所述固定板30的一侧，也就是说移动支架20的两侧分别连接至少一根伸缩杆103和多个固定板30。优选的，伸缩杆103的数量小于固定板30的数量，具体的，一个移动支架20可以连接2根伸缩杆103和4个固定板30，即2根伸缩杆103通过一个移动支架20可以平稳移动4个固定板30(或限位滚轮40)。
59.在本实施例中，该移动式限位机构100还包括位于移动支架20下方的多条导轨80，所述导轨设置在所述底板60上，多条导轨80在第一方向(x)延伸且平行设置。优选的，导轨80的数量与固定板30的数量相同为4条，而且导轨80与上方的固定板30的位置对应。由于每个限位滚轮40位于一个固定板30上，所以可以增强限位滚轮40移动的稳定性。
60.请参阅图3，图3是本技术实施例提供的导轨在yz面的剖面结构示意图，该导轨80
在第二方向(y)方向的两个相对的侧面分别具有凹型轨道81，优选的，所述凹型轨道81为弧形槽。该导轨80为一个整体，有利于提高稳定性。在一些实施例中，导轨80也可以由三个部分组合而成。
61.请参阅图4，图4是本技术例提供的导轨的俯视结构示意图，该导轨80具有多个安装螺孔82，用于将导轨80安装在底板60上。
62.请参阅图5，图5是本技术实施例提供的移动支架的侧视结构示意图，该移动支架20的底部安装有具有两个相对设置的滑块211的滑块组21，所述滑块组21的两个滑块211分设在图3中的一个导轨80的两侧，且沿第一方向(x)与两个凹型轨道81一一对应地滑动配合，可以降低直线运动过程中的摩擦阻力。其中，每个移动支架20的底部安装有4个滑块组21，与4条导轨80相配置以使移动支架20运动时保持平稳。
63.请参阅图6，图6是本技术另一实施例提供的移动式限位机构的结构示意图。为了便于理解，在这个实施例中与上述实施例相同的结构使用相同的标号，且两者相同的结构在本实施例中不再详细介绍。本实施例与上述实施例的区别在于，驱动装置10包括安装在底板60上的电控马达104，与所述电控马达104连接的螺纹杆105。所述螺纹杆105穿过电控马达104和移动支架20，螺纹杆105的转动使所述移动支架20在所述第一方向(x)移动。
64.为实现移动支架20的直线运动，一根螺纹杆105与电控马达104相连并穿过移动支架20。当电控马达104带动螺纹杆105转动时，依靠螺纹的步进使得移动支架20能够在第一方向(x)做往复直线运动。对于电控马达104驱动的装置，则不需要通压缩结净空气等气源，电控马达104通过通讯线路与运动控制器连接，最终实现终端自动控制。其通讯线路与运动控制器连接，通过在终端设置匹配方案，能够将马达转速和螺纹杆105运动行程进行匹配计算和控制，由此实现移动式限位机构200的精准限位。
65.在本实施例中，该移动式限位机构200还包括设置在所述底板60上的限位块90，使所述移动支架20在向所述电控马达104移动时对移动支架20限位。其中，限位块90在第一方向(x)向右突出于电控马达104大概1cm，这样可以在移动支架20在朝向电控马达104移动时实现限位，同时可以防止移动支架20与电控马达104发生撞击。
66.在一些实施例中，固定机架50与底板60的边缘接触、且与所述底板60垂直设置，导轨80、限位块90和电控马达104都安装在底板60上且与固定机架50接触，限位块90在第一方向(x)的长度大于电控马达104在第一方向(x)的长度。
67.本技术提供了两种不同驱动方式的移动式限位机构100和200，包括驱动装置10，与驱动装置10连接的移动支架20，沿第一方向(x)平行设置的多个固定板30，以及位于固定板30上的限位滚轮40。驱动装置10驱动伸缩杆103、移动支架20和固定板30移动，使限位滚轮40可以在垂直于待限位基板70的流动方向移动并限位，能够实现移动式限位机构兼容不同尺寸待限位基板70的目的。
68.本技术实施例还提供一种包括上述任一种移动式限位机构的清洗机，该清洗机还包括清洗装置。根据本发明的具体实施例，该清洗机包括：清洗装置以及前面描述的两个移动式限位机构，两个移动式限位机构各自的限位滚轮相对设置，并用于对设置在两个移动式限位机构之间的待限位基板进行限位；清洗装置用于对位于两个移动式限位机构之间的待限位基板进行清洗处理。该清洗机能够应用于显示面板等基板的清洗，该清洗装置具有多个清洗区间。请参阅图7，图7是本技术实施例提供的清洗区间的结构示意图，该清洗区间
具体包括：入料区间301，基板从所述入料区间301进入；碱液清洗区间302，在此区间用碱液清洗基板；缓冲区间303，在此区间用纯水清洗基板；清洗区间304，在此区间继续用纯水清洗；毛刷区间305，在此区间用毛刷擦拭基板表面，去除异常；水枪清洗区间306，在此区间用高压纯水冲洗基板；高压水枪冲洗区间307，在此区间采用0.8mpa高压用纯水冲洗；紫外清洁区间308，在此区间采用170nm紫外光束清除有机物；风刀区间309，在此区间对基板正反面进行吹起干燥；出料区间310，用于基板下料。入料区间301、碱液清洗区间302、缓冲区间303、清洗区间304、毛刷区间305、水枪清洗区间306、高压水枪冲洗区间307、紫外清洁区间308、风刀区间309和出料区间310依次沿着基板的流动方向设置。
69.当基板在清洗机的各清洗区间沿着图中的箭头方向输运时，为保证基板位移偏差尽量较小，在各区间的两侧安装有移动式限位机构。所述移动式限位机构包括可移动的限位滚轮，此限位滚轮沿基板流动方向呈线性排列，其边缘与基板边缘保持轻微接触，保证基板在输运时不发生侧向位移，降低基板在清洗机中的破片风险。通过控制两个移动式限位机构各自的移动支架沿第一方向(x)的伸缩量，进而控制两个移动式限位机构各自的限位滚轮的位置，调整两个移动式限位机构各自的限位滚轮之间的距离，以实现在第一方向(x)上对不同尺寸待限位基板的限位。
70.本技术实施例提供的清洗机包括移动式限位机构和清洗装置，由于移动式限位机构能够兼容不同尺寸的基板，则一台清洗机就能够清洗不同尺寸的基板，因此可以提升单台清洗机的设备综合能力，提升显示面板产线的产能，极大地降低显示面板产线购置多条清洗设备所需要地资金成本和人力管理成本。
71.以上对本技术实施方式提供了详细介绍，本文中应用了具体个例对本技术的原理及实施方式进行了阐述，以上实施方式的说明只是用于帮助理解本技术。同时，对于本领域的技术人员，依据本技术的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本技术的限制。