晶圆清洗设备的制作方法

1.本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种晶圆清洗设备。


背景技术：

2.清洗技术是半导体制造过程中的重要一环。其中，湿法清洗技术是一种主要清洗技术，槽式清洗设备为目前普遍采用的一种湿法清洗设备。而槽式清洗设备在运行过程中易出现一些危险情况，如机械部件的碰撞、加热器从支架上跌落、设备起火等，这严重威胁了作业人员和产品的安全，因此在设计槽式清洗设备时考虑安全控制策略显得尤为重要。而现有的槽式清洗设备中的安全控制策略的安全等级较低，难以应对清洗液需要加热到超高温、以及涉及加热高危险化学药液时，出现的危险情况，导致无法确保作业人员、产品和槽式清洗设备的安全。


技术实现要素：

3.本发明一个或多个实施例的目的是提供一种晶圆清洗设备，用以解决现有的晶圆清洗设备的安全性较低的问题。
4.为解决上述技术问题，本发明一个或多个实施例是这样实现的：
5.一方面，本发明一个或多个实施例提供一种晶圆清洗设备，包括工艺槽组件、自保护装置和第一安全控制组件；
6.所述工艺槽组件包括槽体、设置于所述槽体内的加热器、加热控制器件以及控制系统；所述加热控制器件在接收到所述控制系统发送的加热控制信号时导通，并控制所述加热器工作；所述加热控制器件在未接收到所述加热控制信号时断开，并控制所述加热器停止工作；
7.所述自保护装置包括第一保护回路和安全保护组件；所述自保护装置用于控制所述加热控制器件导通或断开；
8.所述第一安全控制组件串联于所述加热控制器件和所述控制系统之间，且与所述自保护装置连接；所述第一安全控制组件用于在所述加热器满足预设断电条件时控制所述加热控制器件断开。
9.采用本发明实施例的晶圆清洗设备，通过在工艺槽组件上连接自保护装置和第一安全控制组件，自保护装置包括第一保护回路和安全保护组件，通过自保护装置控制与加热器连接的加热控制器件导通或断开，从而控制加热器工作或者停止工作。并且，通过串联于加热控制器件和控制系统之间、且与自保护装置连接的第一安全控制组件，在加热器满足预设断电条件和/或未接收到控制系统发送的加热控制信号时，控制加热控制器件断开，从而控制加热器停止工作。可见，该晶圆清洗设备通过设置自保护装置和第一安全控制组件，能够在加热器需断电时(如满足预设断电条件时)分别控制加热器停止工作，从而实现了对加热器是否工作的双重控制，避免仅设置自保护装置时容易出现控制失效、进而导致加热器无法正常断电的情况，大大降低了加热器内的多重风险，从而确保了清洗液加热过
程中晶圆清洗设备的安全性。
附图说明
10.为了更清楚地说明本发明一个或多个实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明一个或多个实施例中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
11.图1是根据本发明一实施例的一种晶圆清洗设备的示意性框图；
12.图2是根据本发明一实施例的一种工艺槽组件的示意性框图；
13.图3是根据本发明另一实施例的一种晶圆清洗设备的示意性框图；
14.图4是根据本发明另一实施例的一种晶圆清洗设备的示意性框图。
具体实施方式
15.本发明一个或多个实施例提供一种晶圆清洗设备，用以解决现有的晶圆清洗设备的安全性较低的问题。
16.为了使本技术领域的人员更好地理解本发明一个或多个实施例中的技术方案，下面将结合本发明一个或多个实施例中的附图，对本发明一个或多个实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明一个或多个实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本发明一个或多个实施例保护的范围。
17.本发明一个或多个实施例提供的晶圆清洗设备可以应用于半导体工艺中的晶圆清洗工序，可对清洗液进行加热，适用于高要求(如超高温)、高精度的工艺清洗。
18.图1是根据本发明一实施例的一种晶圆清洗设备的示意性框图，如图1所示，晶圆清洗设备包括工艺槽组件、自保护装置120和第一安全控制组件130。其中：
19.工艺槽组件包括槽体110、设置于槽体110内的加热器111、加热控制器件112以及控制系统113。加热控制器件112在接收到控制系统113发送的加热控制信号时导通，并控制加热器111工作。加热控制器件112在未接收到加热控制信号时断开，并控制加热器111停止工作。
20.自保护装置120包括第一保护回路121和安全保护组件122，自保护装置120用于控制加热控制器件112导通或断开。
21.第一安全控制组件130串联于加热控制器件112和控制系统113之间，且与自保护装置120连接。第一安全控制组件130用于在加热器111满足预设断电条件时控制加热控制器件112断开。
22.采用本发明实施例的晶圆清洗设备，通过在工艺槽组件上连接自保护装置和第一安全控制组件，自保护装置包括第一保护回路和安全保护组件，通过自保护装置控制与加热器连接的加热控制器件导通或断开，从而控制加热器工作或者停止工作。并且，通过串联于加热控制器件和控制系统之间、且与自保护装置连接的第一安全控制组件，在加热器满足预设断电条件和/或未接收到控制系统发送的加热控制信号时，控制加热控制器件断开，从而控制加热器停止工作。可见，该晶圆清洗设备通过设置自保护装置和第一安全控制组
件，能够在加热器需断电时(如满足预设断电条件时)分别控制加热器停止工作，从而实现了对加热器是否工作的双重控制，避免仅设置自保护装置时容易出现控制失效、进而导致加热器无法正常断电的情况，大大降低了加热器内的多重风险，从而确保了清洗液加热过程中晶圆清洗设备的安全性。
23.在一个实施例中，第一保护回路121可检测晶圆清洗过程中的漏液情况，还可检测其它参数，如加热器温度、清洗液温度等等。各项参数的检测可通过在工艺槽组件内设置相应组件来实现，以下详细说明。
24.图2是根据本发明一实施例的一种工艺槽组件的示意性框图，如图2所示，工艺槽组件包括槽体110，以及设置于槽体110内的工艺循环泵211、加热器111(未标注在图2上)、管路流量测量装置212、第一过滤装置213、工艺内槽214、第二过滤装置215和防漏装置216。在晶圆清洗过程中，清洗液依次经过工艺循环泵211、加热器111、管路流量测量装置212和第二过滤装置215，流入工艺内槽214，以对放置在工艺内槽214中的晶圆进行清洗，工艺内槽214中的清洗液经过第一过滤装置213循环流入工艺循环泵211，图中箭头方向即为晶圆清洗过程中清洗液的流向。其中：
25.工艺循环泵211上连接有第一压力检测装置psw1，用于检测工艺循环泵211的第一压力。工艺循环泵211依靠气体驱动，第一压力检测装置psw1用于检测工艺循环泵211内的气体压力。如果检测到的第一压力小于第一预设压力阈值，则第一压力检测装置psw1断开；如果第一压力大于或等于第一预设压力阈值，则第一压力检测装置psw1处于闭合状态。第一压力检测装置psw1可为压力表。
26.加热器111包括加热器外壳1111，加热器外壳1111上设置有管路入口和管路出口，工艺循环泵211与管路入口连接，管路流量测量装置212与管路出口连接，加热器111上连接有第二压力检测装置psw2，用于检测加热器111内部的第二压力。加热器111使用期间，内部需吹扫定量的干燥空气，以防止酸雾腐蚀加热器111，第二压力检测装置psw2用于检测加热器111内部的干燥空气的压力。如果检测到的第二压力小于第二预设压力阈值，则第二压力检测装置psw2断开；如果第二压力大于或等于第二预设压力阈值，则第二压力检测装置psw2处于闭合状态。
27.管路流量测量装置212上连接有流量检测装置fm1，用于检测管路中清洗液的流量是否小于第一设定值。如果检测到的管路中清洗液的流量小于第一设定值，则流量检测装置fm1断开；如果管路中清洗液的流量大于或等于第一设定值，则流量检测装置fm1处于闭合状态。
28.第一过滤装置213设置在工艺循环泵211和工艺内槽214之间，用于过滤清洗液。第一过滤装置213可为过滤器flt1。第二过滤装置215设置在管路流量测量装置212和工艺内槽214之间，用于过滤清洗液。第二过滤装置215可为过滤器flt2。其中，第二过滤装置215的过滤精度大于第一过滤装置213的过滤精度。
29.工艺内槽214中设置有第一热电阻rtd1，第一热电阻rtd1与设置在工艺内槽214之外的第一温控装置2141连接，用于检测工艺内槽214中的清洗液的温度是否大于第二设定值。如果检测到的工艺内槽214中的清洗液的温度大于第二设定值，则第一温控装置2141断开；如果工艺内槽214中的清洗液的温度小于或等于第二设定值，则第一温控装置2141处于闭合状态。工艺内槽214中还设置有液位检测装置lls1，用于检测工艺内槽214中清洗液的
液位。如果检测到的工艺内槽214中清洗液的液位低于预设液位阈值，则液位检测装置lls1断开；如果工艺内槽214中清洗液的液位高于或等于预设液位阈值，则液位检测装置lls1处于闭合状态。
30.槽体110内壁底部设置有第一漏液检测装置ls1，用于检测工艺槽组件中是否有漏液。防漏装置216与第一漏液检测装置ls1连接，用于接收工艺槽组件的漏液，并向第一漏液检测装置ls1反馈漏液情况，漏液情况包括是否漏液、漏液位置、漏液量等。如果检测到工艺槽组件中有漏液，则第一漏液检测装置ls1断开；如果工艺槽组件中没有漏液，则第一漏液检测装置ls1处于闭合状态。
31.本实施例中，加热器111可为ht在线加热器。如图2所示加热器111还包括设置于加热器外壳1111内的加热丝1112，加热丝1112外设置有保护壳1113，保护壳1113的内壁上设置有第二漏液检测装置ls2，用于检测加热器111内部是否有漏液。如果检测到加热器111内部有漏液，则第二漏液检测装置ls2断开；如果加热器111内部没有漏液，则第二漏液检测装置ls2处于闭合状态。
32.加热器外壳1111的内壁上设置有温度检测装置ot1，用于检测加热器111的温度。如果检测到加热器111的温度大于预设温度阈值，则温度检测装置ot1断开；如果加热器111的温度小于或等于预设温度阈值，则温度检测装置ot1处于闭合状态。
33.加热丝1112上设置有第二热电阻rtd2，第二热电阻rtd2与设置在加热器111之外的第二温控装置1114连接，用于检测加热丝1112的温度是否大于第三设定值。如果检测到的加热丝1112的温度大于第三设定值，则第二温控装置1114断开；如果加热丝1112的温度小于或等于第三设定值，则第二温控装置1114处于闭合状态。
34.管路出口上设置有第三热电阻rtd3，第三热电阻rtd3与第三温控装置1115连接，用于检测管路出口内清洗液的温度是否大于第四设定值。如果检测到的管路出口内清洗液的温度大于第四设定值，则第三温控装置1115断开；如果管路出口内清洗液的温度小于或等于第四设定值，则第三温控装置1115处于闭合状态。
35.在本实施例中，通过在工艺槽组件中设置多个组件(如第一压力检测装置psw1、第二压力检测装置psw2、第一温控装置2141等等)来检测晶圆清洗过程中的各项参数，能够较全面的检测出晶圆清洗设备出现的异常情况，从而能够在晶圆清洗设备出现异常情况时，通过自保护装置和第一安全控制组件双重控制加热器停止工作，以确保清洗液加热过程中晶圆清洗设备的安全性。
36.在一个实施例中，图1所示的晶圆清洗设备中可包括图2所示的工艺槽组件，第一保护回路121中可包括第一压力检测装置psw1、第二压力检测装置psw2、流量检测装置fm1、第一温控装置2141、液位检测装置lls1、第一漏液检测装置ls1、第二漏液检测装置ls2、温度检测装置ot1、第二温控装置1114和第三温控装置1115。
37.为了在晶圆清洗设备出现异常情况时，更加准确的控制加热控制器件112断开，可进一步对上述装置进行划分，将第一漏液检测装置ls1、第二漏液检测装置ls2、第二温控装置1114、第三温控装置1115和温度检测装置ot1划分为加热器保护回路1211，将第一压力检测装置psw1、第二压力检测装置psw2、流量检测装置fm1、第一温控装置2141、液位检测装置lls1和第一漏液检测装置ls1划分为工艺槽保护回路1212。
38.其中，可在第一保护回路121的上述装置上分别连接一个继电器k1，以加热器保护
回路1211中的第一漏液检测装置ls1和第二漏液检测装置ls2为例，可分别将第一漏液检测装置ls1、第二漏液检测装置ls2与各继电器k1的控制部(即继电器的线圈)的一端连接，各继电器k1的控制部的另一端接地，然后将两个继电器k1的开关部(即继电器的触点)连接。加热器保护回路1211中各装置与继电器k1之间的连接、以及工艺槽保护回路1212中各装置与继电器k1之间的连接均可参见上述举例，并可参见图3(图3中继电器k1包括控制部、一个常闭开关部和一个常开开关部)和图4(图4中继电器k1包括控制部和一个常闭开关部)，此处不再赘述。
39.本实施例中，图3及图4中继电器k1内的长方形表征控制部，靠近控制部的z字形为常闭开关部，远离控制部的相互平行的短线为常开开关部。需要说明的是，后续实施例中涉及的控制部和开关部均可参见继电器k1的控制部和开关部的表征方式，且各控制部的两端均接有24伏直流电压。
40.以下，详细介绍包含上述实施例中介绍的第一保护回路121和工艺槽组件的晶圆清洗设备。需要说明的是，为使各组件之间的连接关系更加清晰，图3和图4中以在连接线悬空处标号的方式表征相隔较远的连接，即标号相同的两个端点之间是相连的。此外，如图3或图4所示，本发明实施例提供的晶圆清洗设备工作在交流电压下，即本发明实施例所采用的断路器qf1、电流互感器ct、安全保护组件(未标注在图3和图4中)、加热控制器件112和加热器111，与供电电源(未在图3和图4中示出)之间通过火线(ac-l)和零线(ac-n)连接。加热控制器件112在工作时，还需控制系统113提供0-24伏的直流电压。
41.图3是根据本发明另一实施例的一种晶圆清洗设备的示意性框图。在一个实施例中，安全保护组件122(未在图3中示出)包括第一保护器件，第一保护器件包括控制部、第一开关部和第二开关部。第一保护器件的控制部的一端与第一保护回路121(图3中仅示出了加热器保护回路1211和工艺槽保护回路1212)连接，第一保护器件的控制部的另一端与控制系统113连接，第一保护器件的第一开关部与加热控制器件112连接，第一保护回路121用于控制第一保护器件导通或断开。第一安全控制组件130(未在图3中示出)包括第一控制器件。第一控制器件的开关部串联于加热控制器件112和控制系统113之间，第一控制器件的控制部和第一保护器件的第二开关部连接。
42.其中，加热控制器件112可为固态继电器ssr。如图3所示，第一保护器件可为接触器km1，第一控制器件可为安全继电器kas1。相应的，第一保护器件的第一开关部为km1-1、第二开关部为km1-2，第一控制器件的开关部为kas1-1。应理解的是，在第一保护回路121划分为加热器保护回路1211和工艺槽保护回路1212的情况下，与第一保护回路121连接的第一保护器件分别包括接触器km1和接触器km2，相应的接触器km2包括控制部、开关部km2-1和开关部km2-2。接触器km2与第一保护回路121的连接方式、与控制系统113的连接方式、以及接触器km2的各开关部的设置均与接触器km1一致，可参考图3，此处不再赘述。
43.如图3所示，供电电源通过火线和零线分别与接触器km1的第一开关部km1-1的一端连接，接触器km1的第一开关部km1-1的另一端通过火线和零线分别与接触器km2的第一开关部km2-1的一端连接，接触器km2的第一开关部km2-1的另一端通过火线和零线分别与加热控制器件112的一端连接，加热控制器件112的另一端通过火线和零线分别与加热器111连接。
44.可选的，第一保护器件的第二开关部为常闭触点。在加热器111满足预设断电条件
时，第一保护器件的第一开关部、第一控制器件的开关部和加热控制器件112断开，第一保护器件的第二开关部闭合。
45.其中，加热器111满足预设断电条件即为晶圆清洗设备出现异常情况(第一保护回路121中的任一个或多个装置断开)，此时，通过闭合第一保护器件的第二开关部，以及断开第一保护器件的第一开关部、第一控制器件的开关部和加热控制器件112，能够控制加热器111停止工作，从而确保了清洗液加热过程中晶圆清洗设备的安全性。
46.其中，第一保护器件的控制部与控制系统113之间串联有继电器k2，继电器k2的控制部与控制系统113连接，继电器k2的开关部与第一保护器件的控制部连接。继电器k2的开关部在接收到控制系统113发送的加热控制信号时闭合，在接收到控制系统113发送的停止加热控制信号时断开。应理解的是，在第一保护回路121划分为加热器保护回路1211和工艺槽保护回路1212的情况下，第一保护器件的控制部与控制系统113之间分别串联有继电器k2、继电器k3，继电器k3与第一保护器件的控制部和控制系统113之间的连接方式、以及继电器k3的开关部和控制部的设置均与继电器k2一致，可参考图3，此处不再赘述。
47.图4是根据本发明另一实施例的一种晶圆清洗设备的示意性框图。在一个实施例中，安全保护组件122(未在图4中示出)还包括串联于第一保护回路121(图4中示出了加热器保护回路1211和工艺槽保护回路1212)和第一保护器件之间的第二保护器件。第二保护器件包括控制部、第三开关部和第四开关部。第二保护器件的控制部与第一保护回路121连接，第二保护器件的第三开关部和第一保护器件的控制部连接。第一保护回路121用于控制第二保护器件导通或断开，第二保护器件用于控制加热控制器件112导通或断开。第一安全控制组件130(未在图4中示出)包括第二保护器件。第二保护器件的第四开关部串联于加热控制器件112和控制系统113之间。
48.如图4所示，第二保护器件可为安全继电器kas2。相应的，第二保护器件的第三开关部为kas2-1、第四开关部为kas2-2。应理解的是，在第一保护回路121划分为加热器保护回路1211和工艺槽保护回路1212的情况下，与第一保护回路121连接的第二保护器件分别包括安全继电器kas2和安全继电器kas3，相应的安全继电器kas3包括控制部、开关部kas3-1和开关部kas3-2。安全继电器kas3与第一保护回路121的连接方式、与第一保护器件的连接方式、以及安全继电器kas3的各开关部的设置均与安全继电器kas2一致，可参考图4，此处不再赘述。
49.可选的，第二保护器件的第四开关部为常开触点。在加热器111满足预设断电条件时，第二保护器件的第三开关部、第二保护器件的第四开关部、第一保护器件的第一开关部和加热控制器件112断开。从而加热器111停止工作，有效确保了清洗液加热过程中晶圆清洗设备的安全性。
50.需要说明的是，图4是在图3的基础上，将第二保护器件改型为包括控制部、第三开关部和第四开关部的安全继电器，并对应设置了第一安全控制组件。在图3所示的晶圆清洗设备中，第二保护器件(即安全继电器kas2和安全继电器kas3)仅分别包括控制部和一个开关部，第二保护器件的控制部与第一保护回路连接，第二保护器件的开关部和第一保护器件的控制部连接。
51.如图3或图4所示(仅示意性地体现在图3中，图4中未示出，应理解的是，本实施例中的各组件同样适用于图4所示的晶圆清洗设备)，晶圆清洗设备还包括第二安全控制组
件，第二安全控制组件包括第二控制器件，第一保护器件还包括第五开关部。
52.其中，第一保护器件的第五开关部和第一保护回路121(图3或图4中示出了加热器保护回路1211和工艺槽保护回路1212)连接，第一保护回路121和第二控制器件的控制部连接，第一保护器件的第一开关部分别与第二控制器件的控制部和第二控制器件的开关部连接。第二控制器件用于在加热器111满足预设断电条件、且第一保护器件异常时，控制加热控制器件112导通或断开。需要说明的是，本实施例所列举的连接关系未在图3和图4中示出。
53.根据上述实施例，可由第一保护回路121中各继电器k1的常开开关部与第二控制器件的控制部连接，第一保护器件的第五开关部为km1-3和km2-3。其中，第二控制器件可为分励脱扣器141。
54.可选的，第一保护器件的第五开关部km1-3为常开触点。在加热器111满足预设断电条件、且第一保护器件异常时，第一保护回路121导通，第一保护器件的第五开关部闭合，第二控制器件的开关部和加热控制器件112断开。从而导致加热器111停止工作，实现了在第一保护器件异常的情况下，有效控制加热器111停止工作的效果，有效确保了清洗液加热过程中晶圆清洗设备的安全性。
55.在一个实施例中，如图3或图4所示(仅示意性地体现在图3中，图4中未示出，应理解的是，本实施例中的各组件同样适用于图4所示的晶圆清洗设备)，第二安全控制组件还包括第三控制器件，第三控制器件的控制部与第一保护回路121连接，第三控制器件的开关部分别与第一保护器件的第一开关部和第二控制器件的控制部连接。
56.在加热器满足预设断电条件、且第一保护器件异常时，第三控制器件的开关部闭合，第三控制器件开始计时。在第三控制器件的计时时长达到预设时长时，若第三控制器件的开关部仍闭合，则第三控制器件控制第二控制器件断开。
57.例如，预设时长为10秒，在第三控制器件的开关部闭合时，第三控制器件开始计时，若计时时长达到10秒时，第三控制器件的开关部仍闭合，则第三控制器件控制第二控制器件断开；若计时时长达到10秒时，第三控制器件的开关部已断开，则第三控制器件不对其他器件进行控制。
58.根据上述实施例，可由第一保护回路121中各继电器k1的常开开关部与第三控制器件的控制部连接。第三控制器件可为时间继电器tr0，相应的，第三控制器件的开关部为tr0-1。具体的，参考上述第二控制器件与第一保护回路121和第一保护器件之间的连接，可将第一保护器件的第五开关部km1-3与km2-3并联连接，然后与各继电器k1的常开开关部的一端连接(各继电器k1的常开开关部之间是并联连接的)，各继电器k1的常开开关部的另一端与时间继电器tr0的控制部连接，时间继电器tr0的开关部tr0-1的一端与分励脱扣器141的控制部连接，时间继电器tr0的开关部tr0-1的另一端与接触器km1的第一开关部km1-1上的火线连接，分励脱扣器141的控制部与接触器km1的第一开关部km1-1上的零线连接，分励脱扣器141的开关部的一端通过火线和零线分别与供电电源连接，分励脱扣器141的开关部的另一端通过火线和零线分别与接触器km1的第一开关部km1-1连接。
59.如图3或图4所示(仅示意性地体现在图3中，图4中未示出，应理解的是，本实施例中的各组件同样适用于图4所示的晶圆清洗设备)，第一保护器件还包括第六开关部。第六开关部为常开触点，第一保护器件的第六开关部和控制系统113连接，控制系统113用于检
测第一保护器件的第六开关部的开合状态。根据上述实施例，第一保护器件的第六开关部为km1-4和km2-4。
60.第一保护器件在接收到控制系统113发送的加热控制信号、且加热器111不满足预设断电条件时导通，第一保护器件在接收到控制系统113发送的停止加热控制信号和/或加热器111满足预设断电条件时断开。在第一保护器件导通时，控制系统113检测到第一保护器件的第六开关部闭合。在控制系统113发送停止加热控制信号后、且控制系统113检测到第一保护器件的第六开关部闭合时，控制系统113发出用于指示第一保护器件异常的提示信息。以便于作业人员及时发现晶圆清洗设备出现的异常情况。
61.其中，第一保护器件异常可为第一保护器件的第一开关部出现粘连，导致第一保护器件的第一开关部无法断开，进一步会影响第一保护器件的第二开关部、第五开关部和第六开关部的开合状态。
62.如图3或图4所示，自保护装置还包括电流互感器ct，电流互感器串联于加热控制器件112和安全保护组件122(即接触器km2)之间，且与控制系统113连接。电流互感器用于检测是否有电流通过并反馈至控制系统113，在控制系统113发送停止加热控制信号后但电流互感器检测到有电流通过时、或者在控制系统113发送加热控制信号后但电流互感器未检测到有电流通过时，控制系统113发出用于指示晶圆清洗设备异常的提示信息。
63.其中，电流互感器ct的一端通过火线与加热控制器件112连接，电流互感器ct的另一端通过火线与接触器km2的开关部km2-1的一端连接。
64.如图3或图4所示，自保护装置还包括断路器qf1，断路器qf1的一端通过火线和零线分别与接触器km1的第一开关部km1-1的一端连接，断路器qf1的另一端通过火线和零线分别与分励脱扣器141的开关部的一端连接。断路器qf1在自保护装置正常工作时导通，在自保护装置出现电路异常时断开。断路器qf1提供如交流电压的工作电压，同时也用于自保护装置发生异常情况时的安全保护，如发生漏电、触电、过载、短路等导致电压过高的情况。当自保护装置中的电压达到预设电压阈值时，断路器qf1处于断开状态；当自保护装置中的电压未达到预设电压阈值时，断路器qf1处于闭合状态。可见，通过在自保护装置中连接断路器qf1，能够起到对晶圆清洗设备的保护功能。
65.以下说明图3所示的晶圆清洗设备的工作原理。
66.在图3中，以加热器保护回路1211为例，控制系统113发送加热控制信号后，继电器k2的控制部处于得电状态，继电器k2的开关部处于闭合状态，接触器km1的控制部处于得电状态，接触器km1的第一开关部km1-1闭合，接触器km1的第二开关部km1-2断开，安全继电器kas1的控制部失电，安全继电器kas1的开关部kas1-1闭合，控制系统113控制加热控制器件112导通，加热器111开始工作。此时，加热器111不满足预设断电条件，即晶圆清洗设备未出现异常情况(加热器保护回路1211中的任一个或多个继电器k1的常闭开关部闭合)，安全继电器kas2的控制部得电，安全继电器kas2的开关部闭合。
67.在接触器km1导通时，控制系统113检测到接触器km1的第六开关部km1-4闭合。在控制系统113发送停止加热控制信号后、且控制系统113检测到接触器km1的第六开关部km1-4闭合时，控制系统113发出用于指示接触器km1的提示信息。以便于作业人员及时发现晶圆清洗设备出现的异常情况。
68.若晶圆清洗过程中，加热器111满足预设断电条件(即晶圆清洗设备出现异常情
况，加热器保护回路1211中的任一个或多个继电器k1的常闭开关部断开、常开开关部闭合)和/或接触器km1接收到控制系统113发送的停止加热控制信号，则安全继电器kas2的控制部失电，安全继电器kas2的开关部断开，接触器km1的控制部失电，接触器km1的第一开关部km1-1断开，加热控制器件112断开，加热器111停止工作。同时，接触器km1的第二开关部km1-2闭合，安全继电器kas1的控制部得电，安全继电器kas1的开关部kas1-1断开，控制系统113与加热控制器件112之间断开连接，加热器111停止工作。通过设置自保护装置(即加热器保护回路1211、安全继电器kas2和接触器km1)和第一安全控制组件(即接触器km1的第二开关部km1-2)，能够在加热器需断电时分别控制加热器停止工作，从而实现了对加热器是否工作的双重控制。
69.若晶圆清洗过程中，加热器111满足预设断电条件时，接触器km1的第一开关部km1-1仍闭合，则继电器k1的常开开关部闭合，接触器km1的第五开关部km1-3闭合，时间继电器tr0的控制部得电，时间继电器tr0开始计时，计时时长到达预设时长后，若时间继电器tr0的控制部失电，则控制加热器111停止工作时各组件的开合情况与上述的加热器111满足预设断电条件和/或接触器km1接收到控制系统113发送的停止加热控制信号情况下各组件的开合情况一致，此处不再赘述。
70.若时间继电器tr0的控制部仍得电，则时间继电器tr0的开关部tr0-1闭合，分励脱扣器141的控制部得电，分励脱扣器141的开关部断开，加热控制器件112断开，加热器111停止工作。实现了在接触器km1异常的情况下，有效控制加热器111停止工作的效果，且分励脱扣器141断开后，需作业人员检修后手动闭合，因此实现了对加热器开关状态的有效控制，确保了清洗液加热过程中晶圆清洗设备的安全性。
71.应理解的是，工艺槽保护回路1212所连接的各组件之间的控制关系可参考上述对于加热器保护回路1211的描述，二者一致，因此不再赘述。
72.以下说明图4所示的晶圆清洗设备的工作原理。
73.在图4中，以加热器保护回路1211为例，控制系统113发送加热控制信号后，继电器k2的控制部处于得电状态，继电器k2的开关部处于闭合状态，接触器km1的控制部处于得电状态，接触器km1的第一开关部km1-1闭合。此时，加热器111不满足预设断电条件，即晶圆清洗设备未出现异常情况(加热器保护回路1211中的任一个或多个继电器k1的常闭开关部闭合)，安全继电器kas2的控制部得电，安全继电器kas2的第三开关部kas2-1闭合，安全继电器kas2的第四开关部kas2-2闭合，控制系统113控制加热控制器件112导通，加热器111开始工作。
74.若晶圆清洗过程中，加热器111满足预设断电条件(即晶圆清洗设备出现异常情况，加热器保护回路1211中的任一个或多个继电器k1的常闭开关部断开)和/或接触器km1接收到控制系统113发送的停止加热控制信号，则安全继电器kas2的控制部失电，安全继电器kas2的第三开关部kas2-1断开，接触器km1的控制部失电，接触器km1的第一开关部km1-1断开，加热控制器件112断开，加热器111停止工作。同时，安全继电器kas2的第四开关部kas2-2断开，控制系统113与加热控制器件112之间断开连接，加热器111停止工作。通过设置自保护装置(即加热器保护回路1211、安全继电器kas2和接触器km1)和第一安全控制组件(即安全继电器kas2的第四开关部kas2-2)，能够在加热器需断电时分别控制加热器停止工作，从而实现了对加热器是否工作的双重控制。
75.若晶圆清洗过程中，加热器111满足预设断电条件时，接触器km1的第一开关部km1-1仍闭合，则通过安全继电器kas2的第四开关部kas2-2断开，控制系统113与加热控制器件112之间断开连接，可使加热器111停止工作，实现了在接触器km1异常的情况下，有效控制加热器111停止工作的效果。
76.应理解的是，工艺槽保护回路1212所连接的各组件之间的控制关系可参考上述对于加热器保护回路1211的描述，二者一致，因此不再赘述。
77.综上，已经对本主题的特定实施例进行了描述。其它实施例在所附权利要求书的范围内。在一些情况下，在权利要求书中记载的动作可以按照不同的顺序来执行并且仍然可以实现期望的结果。另外，在附图中描绘的过程不一定要求示出的特定顺序或者连续顺序，以实现期望的结果。在某些实施方式中，多任务处理和并行处理可以是有利的。
78.还需要说明的是，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、商品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、商品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、商品或者设备中还存在另外的相同要素。
79.以上所述仅为本发明一个或多个实施例而已，并不用于限制本发明。对于本领域技术人员来说，本发明一个或多个实施例可以有各种更改和变化。凡在本发明一个或多个实施例的精神和原理之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明一个或多个实施例的权利要求范围之内。