一种全自动槽式清洗机供液系统的制作方法

1.本发明涉及半导体加工技术领域，具体为一种全自动槽式清洗机供液系统。


背景技术：

2.在半导体制程工艺中，晶圆清洗是其重要组成部分，通常采用湿法清洗工艺的全自动槽式清洗机是现有的常规清洗手段，然而全自动槽式清洗机的使用离不开供液系统，但是现有的供液系统在使用时存在以下问题：供液系统在针对全自动槽式清洗机使用时，需要将清洗液进行喷洒清洗，然而现有的供液系统，不方便清洗液的混匀和均匀喷洒，清洗液容易沉淀或分层，同时喷洒角度固定，难以清洗干净，影响清洗效率，同时现有的供液系统，不方便对清洗液进行过滤回收，清洗后的废液直接排出，浪费资源，同时容易污染环境。针对上述问题，急需在原有供液系统的基础上进行创新设计。


技术实现要素：

3.本发明的目的在于提供一种全自动槽式清洗机供液系统，以解决上述背景技术提出现有的供液系统，不方便清洗液的混匀和均匀喷洒，同时不方便对清洗液进行过滤回收的问题。
4.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种全自动槽式清洗机供液系统，包括供液箱，固定于清洗槽座的两侧，所述供液箱的顶部螺栓安装有电机，且电机的输出端贯穿供液箱连接有主杆，并且主杆的外侧焊接有搅拌杆；循环水泵，嵌入式安装于供液箱内部，所述循环水泵的输出端连接有中转管，且中转管的一侧软管连接有输水管，所述输水管转轴连接于供液箱外靠近清洗槽座的一侧，且输水管的一端螺纹连接有喷头，并且喷头的一端贯穿清洗槽座，而且喷头的一端位于清洗槽座的内部；还包括：活动槽，开设于供液箱内侧的顶部，所述活动槽内通过弹簧连接有活动板，且活动板的一侧位于供液箱和清洗槽座之间，所述活动板的底部固定有调节板，且活动板的顶部边侧设置有推轴，并且推轴固定于电机输出端的外侧，而且推轴位于供液箱的上方；导流槽，开设于供液箱的底部边缘处，所述导流槽一端供液箱的内壁上安装有封控组件，且供液箱底部边缘处的内部嵌入式开设有调节槽，并且调节槽内通过电动推杆连接有调节环，而且调节环的外侧固定有定位杆；安装环，固定于导流槽的内壁上，所述安装环的外侧设置有过滤筒，且过滤筒的一端贯穿清洗槽座位于其底部边缘处，并且过滤筒靠近安装环的一端内部安装有过滤网，所述过滤筒的端部固定有限位杆，且限位杆贯穿于限位槽内，并且限位槽开设于安装环上。
5.优选的，所述主杆的底部通过锥齿传动组件连接有横轴，且横轴轴承安装于供液箱的侧壁上，并且横轴上固定有搅拌杆，而且横轴的一端贯穿于导流槽内呈螺旋推进结构
设计，电机在带动主杆转动时，可以通过锥齿传动组件带动横轴转动，可以通过主杆和横轴上的搅拌杆对内部清洗液进行搅拌，同时横轴一端的螺旋推进结构可以将清洗槽座底部的液体输送进供液箱内，进行液体回收。
6.优选的，所述活动板的一端呈“t”字形结构通过弹簧在活动槽内弹性滑动，且活动板的顶部呈圆柱形结构设计，并且活动板的顶部位于推轴的运行轨迹上，电机在带动推轴转动时，推动活动板活动，直至推轴与活动板顶部分离，配合弹簧的使用，实现活动板的往复活动。
7.优选的，所述调节板等间距分布在活动板的底部，且调节板的底部呈凹陷状结构套设在输水管上，并且输水管一端的喷头向下倾斜设置，活动板在往复活动时，带动调节板活动，调节板带动输水管在供液箱外部转动，进而带动喷头往复活动，实现多角度喷洒。
8.优选的，所述封控组件包括封环、内槽、封板和定位槽，所述封环固定于供液箱的内壁上，且封环的内侧开设有内槽，并且内槽内放置有封板，而且封板上开设有定位槽，所述定位槽内连接有定位杆，且定位杆贯穿调节槽和封环，封板可以在内槽内滑动，通过调整封板的位置，实现封环的封闭和开启。
9.优选的，所述封板设计为端部呈弧形凹陷的扇形结构，且封板端部的弧形凹陷处与横轴的外侧相贴，并且封板在封环内等角度分布有四个，而且四个封板对封环内部进行密封，封板在滑动时，端部与横轴外侧相贴，配合封环可以实现导流槽的封闭，反之，方便导流槽的开启，使得清洗槽座内的清洗液可以通过导流槽回流至供液箱内。
10.优选的，所述定位杆在调节环上向内倾斜设计，且定位杆与定位槽之间相贴，并且调节环与封环共中心轴线，电动推杆带动调节环活动时，调节环上的定位杆跟随在定位槽内滑动，通过倾斜的定位杆，可以带动封板的活动。
11.优选的，所述过滤筒靠近过滤网一端的内侧呈凸出结构设计，且过滤筒的内径大于安装环的内径，使得过滤网可以通过过滤筒内的凸出端和安装环进行固定。
12.优选的，所述限位杆在过滤筒上等角度分布，且限位杆的正截面呈“l”字形结构设计，并且限位杆上限位槽的侧截面呈“l”字形结构设计，将限位杆插入限位槽内，并转动过滤筒和限位杆，使得限位杆的端部与安装环外侧相贴，可以方便过滤筒与安装环之间的固定。
13.与现有技术相比，本发明的有益效果是：该全自动槽式清洗机供液系统，在实现水的循环使用时可以对水进行过滤，同时在对清洗液进行搅拌时，可以实现喷头的多角度喷洒清洗；1.通过设置在供液箱内的主杆，其由电机驱动在供液箱内转动，并通过锥齿传动组件带动横轴的转动，横轴端部呈螺旋推进结构，可以将清洗槽座内的液体引导至供液箱内进行循环利用，同时配合主杆和横轴上的搅拌杆对清洗液进行搅拌，避免沉淀；2.通过设置在导流槽和清洗槽座之间的过滤筒，通过其内的过滤网对清洗槽座内的液体进行过滤，避免杂质进入供液箱内，同时过滤筒上“l”字形结构的限位杆插入“l”字形结构的限位槽内并转动，方便过滤筒的拆卸安装，可以对过滤网进行清洗；3.通过设置在导流槽一侧的封控组件，电动推杆在驱动调节环活动时，倾斜设置的定位杆在定位槽内贴合滑动，可以带动封板在侧槽内滑动，四个封板的同步活动，通过与横轴的相贴和分离，方便导流槽的封闭和开启，有效避免供液箱内的清洗液渗漏，同时方便
清洗槽座内的液体回流；4.通过设置在供液箱外侧的活动板，其端部呈“t”字形结构在活动槽内弹性滑动，电机在带动推轴转动时，推轴可以带动活动板的移动，直至推轴与活动板分离，可以实现活动板的往复移动，进而带动调节板的往复活动，底部呈凹陷结构设计的调节板可以带动输水管往复活动，进而带动喷头往复活动，由倾斜向下的喷头对工件进行均匀喷洒清洗。
附图说明
14.图1为本发明正剖结构示意图；图2为本发明图1中a 处放大结构示意图；图3为本发明封控组件侧剖结构示意图；图4为本发明调节环侧面结构示意图；图5为本发明图1中b处放大结构示意图；图6为本发明安装环侧面结构示意图；图7为本发明活动板侧剖安装结构示意图；图8为本发明活动板和调节板立体结构示意图。
15.图中：1、供液箱；2、清洗槽座；3、电机；4、主杆；41、锥齿传动组件；42、横轴；5、搅拌杆；6、循环水泵；7、中转管；8、输水管；9、喷头；10、活动槽；11、弹簧；12、活动板；13、调节板；14、推轴；15、导流槽；16、封控组件；161、封环；162、内槽；163、封板；164、定位槽；17、调节槽；18、电动推杆；19、调节环；20、定位杆；21、安装环；22、过滤筒；23、过滤网；24、限位杆；25、限位槽。
具体实施方式
16.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
17.请参阅图1
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8，本发明提供一种技术方案：一种全自动槽式清洗机供液系统，包括供液箱1、清洗槽座2、电机3、主杆4、锥齿传动组件41、横轴42、搅拌杆5、循环水泵6、中转管7、输水管8、喷头9、活动槽10、弹簧11、活动板12、调节板13、推轴14、导流槽15、封控组件16、封环161、内槽162、封板163、定位槽164、调节槽17、电动推杆18、调节环19、定位杆20、安装环21、过滤筒22、过滤网23、限位杆24和限位槽25；供液箱1，固定于清洗槽座2的两侧，供液箱1的顶部螺栓安装有电机3，且电机3的输出端贯穿供液箱1连接有主杆4，并且主杆4的外侧焊接有搅拌杆5；循环水泵6，嵌入式安装于供液箱1内部，循环水泵6的输出端连接有中转管7，且中转管7的一侧软管连接有输水管8，输水管8转轴连接于供液箱1外靠近清洗槽座2的一侧，且输水管8的一端螺纹连接有喷头9，并且喷头9的一端贯穿清洗槽座2，而且喷头9的一端位于清洗槽座2的内部；还包括：活动槽10，开设于供液箱1内侧的顶部，活动槽10内通过弹簧11连接有活动板12，
且活动板12的一侧位于供液箱1和清洗槽座2之间，活动板12的底部固定有调节板13，且活动板12的顶部边侧设置有推轴14，并且推轴14固定于电机3输出端的外侧，而且推轴14位于供液箱1的上方；导流槽15，开设于供液箱1的底部边缘处，导流槽15一端供液箱1的内壁上安装有封控组件16，且供液箱1底部边缘处的内部嵌入式开设有调节槽17，并且调节槽17内通过电动推杆18连接有调节环19，而且调节环19的外侧固定有定位杆20；安装环21，固定于导流槽15的内壁上，安装环21的外侧设置有过滤筒22，且过滤筒22的一端贯穿清洗槽座2位于其底部边缘处，并且过滤筒22靠近安装环21的一端内部安装有过滤网23，过滤筒22的端部固定有限位杆24，且限位杆24贯穿于限位槽25内，并且限位槽25开设于安装环21上。
18.主杆4的底部通过锥齿传动组件41连接有横轴42，且横轴42轴承安装于供液箱1的侧壁上，并且横轴42上固定有搅拌杆5，而且横轴42的一端贯穿于导流槽15内呈螺旋推进结构设计；如图1
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2中，将清洗液灌入供液箱1内，启动电机3，电机3带动主杆4转动，主杆4可以通过锥齿传动组件41带动横轴42转动，使得横轴42在导流槽15内转动，由横轴42一端的螺旋推进结构，将清洗槽座2内的液体传输至供液箱1内进行液体回收，同时主杆4和横轴42转动时，带动搅拌杆5转动，对供液箱1内的液体进行搅拌，避免沉淀或分层；活动板12的一端呈“t”字形结构通过弹簧11在活动槽10内弹性滑动，且活动板12的顶部呈圆柱形结构设计，并且活动板12的顶部位于推轴14的运行轨迹上，调节板13等间距分布在活动板12的底部，且调节板13的底部呈凹陷状结构套设在输水管8上，并且输水管8一端的喷头9向下倾斜设置；如图1和图7
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8中，电机3在转动时，带动推轴14转动，推轴14与活动板12顶部圆柱接触，带动活动板12活动，使得活动板12在活动槽10内滑动，直至推轴14与活动板12分离，此时在弹簧11的作用下，活动板12往回滑动，随着电机3的持续转动，可以带动活动板12的往复活动，由活动板12带动调节板13在输水管8上往复活动，进而带动输水管8的活动，由输水管8带动喷头9往复活动，通过循环水泵6和中转管7将清洗液由输水管8和喷头9喷出，实现对工件的均匀清洗；封控组件16包括封环161、内槽162、封板163和定位槽164，封环161固定于供液箱1的内壁上，且封环161的内侧开设有内槽162，并且内槽162内放置有封板163，而且封板163上开设有定位槽164，定位槽164内连接有定位杆20，且定位杆20贯穿调节槽17和封环161，封板163设计为端部呈弧形凹陷的扇形结构，且封板163端部的弧形凹陷处与横轴42的外侧相贴，并且封板163在封环161内等角度分布有四个，而且四个封板163对封环161内部进行密封，定位杆20在调节环19上向内倾斜设计，且定位杆20与定位槽164之间相贴，并且调节环19与封环161共中心轴线；如图1
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4中，启动调节槽17内的电动推杆18，电动推杆18带动调节环19在调节槽17内活动，调节环19带动定位杆20在定位槽164内滑动，倾斜的定位杆20可以带动封板163在内槽162内滑动，通过封板163与横轴42的接触和分离，实现导流槽15的封闭和开启，避免供液箱1内的液体渗漏，也方便清洗槽座2内的液体回流；过滤筒22靠近过滤网23一端的内侧呈凸出结构设计，且过滤筒22的内径大于安装
环21的内径，限位杆24在过滤筒22上等角度分布，且限位杆24的正截面呈“l”字形结构设计，并且限位杆24上限位槽25的侧截面呈“l”字形结构设计；如图1和图5
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6中，在安装供液箱1时，将供液箱1固定在清洗槽座2两侧，然后将过滤筒22贯穿清洗槽座2和导流槽15，使得过滤筒22上的限位杆24进入安装环21上的限位槽25内，然后转动过滤筒22，通过限位杆24端部与限位槽25交错，对过滤筒22进行固定，同时通过安装环21配合过滤筒22内部的凸出结构对过滤网23进行固定，清洗槽座2内的液体进行回流时，可以通过过滤网23对液体中的杂质进行过滤，同时可以将过滤筒22拆卸下来，对过滤网23进行清洗。
19.工作原理：在使用该全自动槽式清洗机供液系统时，如图1
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8中，首先将供液箱1固定在清洗槽座2的两侧，将喷头9贯穿清洗槽座2转动固定进输水管8的一端，然后将过滤筒22贯穿清洗槽座2抵在安装环21上，使得限位杆24进入限位槽25，然后转动过滤筒22，对其进行固定，完成整体的安装；在对清洗槽座2内的工件进行清洗时，启动循环水泵6，将供液箱1内的清洗液通过中转管7和输水管8由喷头9喷出，并启动电机3，电机3带动主杆4和横轴42配合搅拌杆5对清洗液进行搅拌，同时电机3带动推轴14转动，推轴14带动活动板12往复移动，活动板12带动调节板13往复移动，可以通过调节板13带动输水管8和喷头9往复摆动，实现多角度喷洒清洗；接着，清洗后的水掉落至清洗槽座2底部，启动电动推杆18，带动调节环19活动，通过定位杆20带动封板163在内槽162内活动，使其与横轴42脱离，此时导流槽15处于开启的状态，反之，封板163与横轴42接触，实现导流槽15的封闭，横轴42转动时，其端部的螺旋推进结构将清洗槽座2的液体引导至供液箱1内进行回收，同时通过过滤筒22内的过滤网23进行过滤，过滤筒22可以通过转动，使得限位杆24和限位槽25脱离，对过滤筒22进行拆卸，方便对过滤网23进行清洗。
20.尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。