一种零废水双动力半导体专用钢网清洗设备及其使用的清洗液的制作方法

文档序号:28692602发布日期:2022-01-29 11:44阅读:85来源:国知局
一种零废水双动力半导体专用钢网清洗设备及其使用的清洗液的制作方法

1.本发明涉及一种半导体专用钢网清洗设备,尤其涉及一种零废水双动力半导体专用钢网清洗设备。


背景技术:

2.半导体钢网主要使用在植球前的助焊剂印刷和植球中。在清洗时,植球前的“助焊剂印刷钢网”主要清洗的是助焊剂残留物,“植球的钢网”主要清洗残留网孔中的锡球。现有的半导体钢网清洗设备只能喷淋清洗或只有超声波清洗,清洗方式单一;现有的半导体钢网清洗设备清洗和漂洗使用不同的液,漂洗一般使用水,这样会产生大量的费水;现有的半导体清洗设备在清洗后,会在钢网表面留下瘢痕,清洗效果差,且影响钢网使用;另外,现有的清洗设备清洗钢网后,在工艺参数中不可追溯。因此,应该提供一种新的技术方案解决上述问题。


技术实现要素:

3.本发明的目的在于,针对现有技术中的不足,提供一种清洗效果好、工作效率高、能够节省成本、优化环境的零废水双动力半导体专用钢网清洗设备。
4.本发明还提供了上述零废水双动力半导体专用钢网清洗设备所使用的清洗液。
5.为实现上述目的,本发明提供了以下技术方案:
6.一种零废水双动力半导体专用钢网清洗设备,包括机壳、箱体、设置在机壳内部的喷淋清洗机构、超声波清洗机构、钢网固定支架、升降机构、干燥机构、回液机构以及漂洗机构,
7.所述喷淋清洗机构包括设置在箱体内部上方的喷淋清洗腔、水平固定在喷淋清洗腔下部两侧的喷淋管道、设置在机壳内部的用于放置清洗液的清洗液槽、清洗液过滤器以及清洗泵,所述清洗泵的进液管与清洗液槽相连接,清洗泵的出液管与清洗液过滤器的进液管相连接,清洗液过滤器的出液管与喷淋管道相连接,在所述喷淋管道上间隔设置多个角度可调的喷淋头;
8.所述超声波清洗机构包括设置在箱体内部下方且与喷淋清洗腔相连通的超声波清洗腔、超声波发生器,若干个超声波换能器等间距安装在换能器振板上,换能器振板和超声波发生器固定安装在超声波清洗腔的相对应的腔壁上,
9.所述升降机构为丝杠滑块式升降机构,其垂直安装在箱体的内侧板面,钢网固定支架安装固定在升降机构的滑块上,升降机构可带动钢网固定支架在喷淋清洗腔和超声波清洗腔内上下运动;钢网固定支架包括垂直固定柱,在垂直固定柱上从上置下依次设有第一固定块、第二固定块和第三固定块,所述第一固定块和第三固定块分别设置在垂直固定柱的上端和下端,且第一固定块和第三固定块与垂直固定柱固定连接,所述第二固定块设置在第一固定块和第三固定块之间的垂直固定柱上,第二固定块与垂直固定柱活动连接,
在所述第二固定块和第三固定块的侧边分别设有导向支撑架,所述导向支撑架包括两根水平导向支撑架和两根倾斜导向支撑架,两根所述水平导向支撑架平行且间隔设置在两根倾斜导向支撑架的外侧,且两根倾斜导向支撑架的末端分别与对应位置的水平导向支撑架的末端固定连接;
10.所述干燥机构包括设置在机壳内部的热风机以及水平固定在喷淋清洗腔下部两侧壁上的两个条形风刀,所述热风机的出风管与条形风刀的进风口连接;
11.所述回液机构包括回液泵,所述回液泵的进液管与超声波清洗腔相连通,回液泵的出液管与清洗液槽相连通;
12.所述漂洗机构包括设置在机壳内部的用于放置漂洗液的漂洗液槽、漂洗液过滤器以及漂洗泵,所述漂洗泵的进液管与漂洗液槽相连接,漂洗泵的出液管与漂洗液过滤器的进液管相连接,漂洗液过滤器的出液管与喷淋管道相连接。
13.一种零废水双动力半导体专用钢网清洗设备使用的清洗液,所述清洗液由下述原料制得,所述的原料包括下列质量分数的组分:70-90%的去离子水、10-30%的醇醚有机溶剂,所述醇醚有机溶剂为乙二醇甲醚、乙二醇乙醚、乙二醇单丁醚、乙二醇丙醚、二乙二醇单甲醚、二乙二醇乙醚、二乙二醇正丙醚、二乙二醇单丁醚、二乙二醇二乙醚、丙二醇甲醚、丙二醇乙醚、丙二醇正丙醚、丙二醇丁醚、二丙二醇甲醚、二丙二醇二甲醚、二丙二醇乙醚、二丙二醇丙醚、二丙二醇单丁醚、三丙二醇单丁醚中的一种或多种的组合。
14.进一步的技术方案:
15.本发明的零废水双动力半导体专用钢网清洗设备,还包括控制系统和追溯系统,所述控制系统包括操作界面、电力控制模块、气动控制模块、数据处理模块以及扩展模块;所述追溯系统包括信息采集模块、数据处理模块、编码模块、钢网编号登录模块、信息查询模块、追溯存储/提取模块。
16.优选的,
17.在两根所述水平导向支撑架上间隔设有若干个水平导向轮,所述水平导向轮通过固定柱固定在每根水平导向支撑架上。
18.在两根所述水平导向支撑架之间设有垂直导向轮,所述垂直导向轮通过固定柱固定在两根水平导向支撑架之间。
19.本发明提供一种零废水双动力半导体专用钢网清洗设备,与现有技术相比具有以下优点:
20.1、本发明提供的一种零废水双动力半导体专用钢网清洗设备,组合了喷淋清洗和超声波清洗双动力,当需要喷淋清洗时,打开喷淋机构再配合升降机构就可以完成喷淋清洗的操作,当需要超声波清洗时,升降机构将钢网搬送到底部再配合超声波清洗机构就可以完成超声波清洗的工作。可以快速、有效地完成喷淋清洗和超声清洗间的切换,同时很好的解决了喷淋清洗和超声清洗双动力的兼容问题。
21.2、本发明提供的一种零废水双动力半导体专用钢网清洗设备所使用的清洗液采用专用的中性液体,不会对钢网和边缘胶产生腐蚀破坏,且清洗液干燥后没有残留物,在钢网清洗和漂洗中都可以使用,配合干燥机构后也不会留下斑痕。清洗和漂洗使用相同的液体,不会产生大量的废水。
22.3、本发明提供的一种零废水双动力半导体专用钢网清洗设备,设有追溯系统,工
作人员可以轻松查找每一个产品清洗参数,方便工艺和数据分析,为产品研发提供便利。
23.4、本发明提供的一种零废水双动力半导体专用钢网清洗设备的钢网固定支架,由于在水平导向支撑架上分别设有水平导向轮和垂直导向轮,放置钢网时因安装有导向轮,由导向轮对钢网进出的方向进行导向及控制,不会让钢网网面接触到支架的任何地方,从而避免对钢网的损伤,有利于降低企业的资源消耗,提高企业的经济效益。
附图说明
24.为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
25.图1为本发明外部结构示意图。
26.图2为图1中去除机壳的后视结构示意图。
27.图3为图1中去除机壳的侧视结构示意图。
28.图4为图1中去除机壳的前视结构示意图。
29.图5为喷淋清洗腔的正面结构示意图。
30.图6为钢网固定支架与升降机构的安装结构示意图。
31.图7为钢网固定支架结构示意图。
32.图8为图5的a处结构放大图。
33.以上附图中:1、机壳,2、箱体,3、喷淋清洗机构,3-1、喷淋清洗腔,3-2、清洗液槽,3-3、清洗液过滤器,3-4、清洗泵,3-5、喷淋头,3-6、喷淋管道,4、超声波清洗机构,4-1、超声波清洗腔,4-2、超声波发生器,4-3、超声波换能器,4-4、换能器振板,5、钢网固定支架,5-1、垂直固定柱,5-2、第一固定块,5-3、第二固定块,5-4、第三固定块,5-5、导向支撑架,5-51、水平导向支撑架,5-52、倾斜导向支撑架,5-6、水平导向轮,5-7、垂直导向轮,5-8、固定柱,6、升降机构,7、干燥机构,7-1、热风机,7-2、条形风刀,8、回液机构,8-1、回液泵,9、漂洗机构,9-1、漂洗液槽,9-2、漂洗液过滤器,9-3、漂洗泵。
具体实施方式
34.为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将对本发明的技术方案进行详细的描述。显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所得到的所有其它实施方式,都属于本发明所保护的范围。
35.作为本发明的第一个实施例,本发明一种零废水双动力半导体专用钢网清洗设备,包括机壳1、箱体2、设置在机壳1内部的喷淋清洗机构3、超声波清洗机构4、钢网固定支架5、升降机构6、干燥机构7、回液机构8以及漂洗机构9,在机壳1的前侧的上方设有活动观察窗,在壳体的侧面及下部均设有活动检修门,在本实施例中,喷淋清洗机构3包括设置在箱体2内部上方的喷淋清洗腔3-1、水平固定在喷淋清洗腔下部两侧的喷淋管道3-6、设置在机壳1内部的用于放置清洗液的清洗液槽3-2、清洗液过滤器3-3以及清洗泵3-4,所述清洗泵3-4的进液管与清洗液槽3-2相连接,清洗泵3-4的出液管与清洗液过滤器3-3的进液管相
连接,清洗液过滤器的出液管与喷淋管道3-6相连接,在所述喷淋管道上间隔设置多个角度可调的喷淋头3-5;漂洗机构9包括设置在机壳1内部的用于放置漂洗液的漂洗液槽9-1、漂洗液过滤器9-2以及漂洗泵9-3,所述漂洗泵9-3的进液管与漂洗液槽9-1相连接,漂洗泵9-3的出液管与漂洗液过滤器9-2的进液管相连接,漂洗液过滤器9-2的出液管与喷淋管道3-6相连接。如图2所示,清洗液槽3-2和漂洗液槽9-1并列设置在壳体内底部,其上设有自动补液桶用于对清洗液和漂洗液进行补液,清洗液槽3-2内部的清洗液经过清洗泵3-4泵入到清洗液过滤器3-3过滤后进入到喷淋清洗腔下部两侧的喷淋管道3-6内部,用于对钢网进行清洗;漂洗液槽9-1内部的漂洗液经过漂洗泵9-3泵入到漂洗液过滤器9-2过滤后进入到喷淋清洗腔下部两侧的喷淋管道3-6内部,用于对钢网进行漂洗。
36.所述超声波清洗机构4包括设置在箱体1内部下方且与喷淋清洗腔3-1相连通的超声波清洗腔4-1、超声波发生器4-2,若干个超声波换能器4-3等间距安装在换能器振板4-4上,换能器振板4-4和超声波发生器4-2固定安装在超声波清洗腔4-1的相对应的腔壁上,在进行超声波清洗时,清洗液槽3-2内部的清洗液经由回液泵8-1泵入到超声波清洗腔4-1内部,超声波换能器带动换能器振动板高频振动,继而带动清洗液高频振动,与钢网表面的锡膏或者其他污染物相接触,从而完成对钢网的清洗。
37.由以上可知,本专用钢网清洗设备包括喷淋清洗和超声波清洗双动力系统,当需要使用喷淋清洗时,打开喷淋装置,再配合升降机构的控制就可以完成喷淋清洗的操作,当需要超声波清洗时,升降机构6将钢网搬送到底部再配合超声波清洗系统就可以完成超声波清洗的工作。可以快速、有效的完成喷淋清洗和超声清洗间的切换,同时很好的解决了喷淋清洗和超声清洗双动力的兼容问题。
38.所述升降机构6为丝杠滑块式升降机构,其垂直安装在箱体2的内侧板面,钢网固定支架5安装固定在升降机构6的滑块上,升降机构6可带动钢网固定支架5在喷淋清洗腔3-1和超声波清洗腔4-1内上下运动,在本实施例中,升降机构其主要包括驱动电机、丝杠、滑块、传动齿轮等,由于其是现有机构,且其具体结构不是本发明要求专利保护的范围,因此,不做详细说明。只需知道升降机构6能够带动安装在其上的钢网固定支架5在箱体内部上下移动即可。在本实施例中,钢网固定支架5包括垂直固定柱5-1,在垂直固定柱5-1上从上置下依次设有第一固定块5-2、第二固定块5-3和第三固定块5-4,所述第一固定块5-2和第三固定块5-4分别设置在垂直固定柱5-1的上端和下端,且第一固定块5-2和第三固定块5-4与垂直固定柱5-1固定连接,所述第二固定块5-3设置在第一固定块5-2和第三固定块5-4之间的垂直固定柱5-1上,第二固定块5-3与垂直固定柱5-1活动连接,在所述第二固定块5-2和第三固定块5-4的侧边分别设有导向支撑架5-5,所述导向支撑架5-5包括两根水平导向支撑架5-51和两根倾斜导向支撑架5-52,两根所述水平导向支撑架5-51平行且间隔设置在两根倾斜导向支撑架5-52的外侧,且两根倾斜导向支撑架5-52的末端分别与对应位置的水平导向支撑架5-51的末端固定连接;钢网固定支架5主要用于固定钢网,并使钢网在清洁的过程中,免收损伤。
39.所述干燥机构7包括设置在机壳内部的热风机7-1以及水平固定在喷淋清洗腔下部两侧壁上的两个条形风刀7-2,所述热风机7-1的出风管与条形风刀7-2的进风口连接,在本实施例中,干燥机构7和升降机构6相配合,用于对钢网进行清洗液吹干;
40.所述回液机构8包括回液泵8-1,所述回液泵8-1的进液管与超声波清洗腔3-1相连
通,回液泵8-1的出液管与清洗液槽3-2相连通,在本实施例中,回液泵8-1一方面用于将清洗液槽3-2内部的清洗液泵入到超声清洗腔4-1内部,另一方面用于将超声波清洗腔4-1内使用后的清洗液过滤后泵入到清洗液槽3-2内。
41.优选的,作为本发明的第二个实施例,本实施例是对实施例一的进一步改进,本发明的一种零废水双动力半导体专用钢网清洗设备还包括控制系统和追溯系统,所述控制系统包括操作界面、电力控制模块、气动控制模块、数据处理模块以及扩展模块;所述追溯系统包括信息采集模块、数据处理模块、编码模块、钢网编号登录模块、信息查询模块、追溯存储/提取模块。在本实施例中,由于增加了追溯系统,工作人员可以轻松查找每一个产品清洗参数,方便工艺和数据分析,为产品研发提供便利。
42.优选的,作为本发明的第三个实施例,本实施例是对实施例一的进一步改进,在两根所述水平导向支撑架5-51上间隔设有若干个水平导向轮5-6,所述水平导向轮5-6通过固定柱5-8固定在每根水平导向支撑架5-51上。在两根所述水平导向支撑架5-51之间设有垂直导向轮5-7,所述垂直导向轮5-7通过固定柱5-8固定在两根水平导向支撑架5-51之间。在本实施例中,当在钢网固定支架放置钢网时,因为水平导向轮5-6和垂直导向轮5-7的设置,其可以对钢网进出的方向进行导向及控制,不会让钢网网面接触到支架的任何地方,从而避免对钢网的损伤,有利于降低企业的资源消耗,提高企业的经济效益。
43.本发明一种零废水双动力半导体专用钢网清洗设备使用的清洗液,所述清洗液由下述原料制得,所述的原料包括下列质量分数的组分:70-90%的去离子水、10-30%的醇醚有机溶剂,所述醇醚有机溶剂为乙二醇甲醚、乙二醇乙醚、乙二醇单丁醚、乙二醇丙醚、二乙二醇单甲醚、二乙二醇乙醚、二乙二醇正丙醚、二乙二醇单丁醚、二乙二醇二乙醚、丙二醇甲醚、丙二醇乙醚、丙二醇正丙醚、丙二醇丁醚、二丙二醇甲醚、二丙二醇二甲醚、二丙二醇乙醚、二丙二醇丙醚、二丙二醇单丁醚、三丙二醇单丁醚中的一种或多种的组合。
44.下面以表格的方式并结合对比例(1、2),对采用不同原料及不同质量分数组分制备的上述清洗液的清洗效果作说明,其中测试例1-5是本发明要求专利保护的内容。
45.材料名称测试例1测试例2测试例3测试例4测试例5对比例1对比例2二丙二醇丙醚5.00%10.00%20.00%10.00%10.00%0.00%0.00%二乙二醇单甲醚2.00%2.00%5.00%0.00%5.00%5.00%0.00%丙二醇乙醚3.00%3.00%5.00%5.00%0.00%5.00%0.00%去离子水90.00%85.00%70.00%85.00%85.00%90.00%100%清洗效果无残留无残留无残留少量残留少量残留大量残留大量残留
46.由上表可知,本发明一种零废水双动力半导体专用钢网清洗设备使用的清洗液是本公司研发的专用清洗液,其为中性液体,不会对钢网和边缘胶产生腐蚀破坏,且清洗液干燥后没有残留物,在钢网清洗和漂洗中都可以使用,配合干燥机构后也不会留下斑痕。清洗和漂洗都可以使用,不会产生大量的废水
47.本发明的一种零废水双动力半导体专用钢网清洗设备,在对钢网进行清洗时,清洗流程如下:
48.以下为一般流程,可调整(增加步骤或调整顺序)
49.1)、预清洗:系统控制清洗液槽中的清洗液通过喷淋清洗机构和升降机构对钢网进行喷淋清洗。
50.2)、超声波清洗:系统控制升降机构,清洗液槽中的清洗液供液到超声波清洗腔中对钢网进行超声波清洗。
51.3)、喷淋清洗:系统控制清洗液槽中清洗液通过喷淋清洗机构和升降机构对钢网进行喷淋清洗。
52.4)、沥液:系统控制干燥机构和升降机构对喷淋清洗后的钢网进行清洗液吹干。
53.5)、喷淋漂洗:系统控制漂洗液槽中的漂洗液通过喷淋清洗机构和升降机构对钢网进行喷淋漂洗。
54.6)、干燥:系统控制干燥机构和升降机构对喷淋漂洗后的钢网进行清洗液吹干。
55.以上所述,仅为本发明的具体实施方式,但本发明的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内,可轻易想到变化或替换,都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此,本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
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