一种磁控溅射离子镀膜预清理装置的制作方法

文档序号:29005502发布日期:2022-02-23 19:33阅读:151来源:国知局
一种磁控溅射离子镀膜预清理装置的制作方法

1.本实用新型涉及磁控溅射离子镀膜技术领域,具体为一种磁控溅射离子镀膜预清理装置。


背景技术:

2.磁控溅射镀膜是指将涂层材料做为靶阴极,利用氩离子轰击靶材,产生阴极溅射,把靶材原子溅射到工件上形成沉积层的一种镀膜技术,现有的磁控溅射离子镀膜装置不能够对加工工件表面进行预清理,加工工件的表面可能会落有杂物和灰尘,杂物和灰尘附着在加工工件表面会妨碍镀层附着在工件表面,不便于镀膜进行。


技术实现要素:

3.本实用新型的目的在于提供一种磁控溅射离子镀膜预清理装置,具备预清理的优点,解决了现有的磁控溅射离子镀膜装置不能够对加工工件表面进行预清理,加工工件的表面可能会落有杂物和灰尘,杂物和灰尘会妨碍镀层附着在工件表面,不便于镀膜进行的问题。
4.为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种磁控溅射离子镀膜预清理装置,包括安装框,所述安装框的内腔活动连接有转动辊,所述转动辊的表面传动连接有传送带,所述安装框正表面的右侧固定连接有电机,所述电机的传动轴贯穿至安装框的内腔并与转动辊固定连接,所述安装框顶部的左侧固定连接有磁控溅射离子镀膜机,所述安装框顶部的右侧固定连接有框体,所述框体顶部的右侧贯穿设置有第一电动伸缩杆,所述第一电动伸缩杆的底部固定连接有活动块,所述活动块顶部的前侧和后侧均固定连接有连接管,所述连接管的两侧均连通有连通管,所述连通管的底部连通有喷头,所述活动块底部的右侧通过支架活动连接有刷板,所述活动块底部的左侧固定连接有弹簧,所述弹簧的底部与刷板固定连接,所述刷板的顶部固定连接有震动电机,所述框体的顶部固定连接有水箱,所述水箱右侧的底部固定连接有水泵,所述水泵的抽水管与水箱连通,所述水泵的出水管通过管道与连通管连通,所述框体内腔的顶部固定连接有第二电动伸缩杆,所述第二电动伸缩杆的底部固定连接有导气板,所述导气板的底部连通有喷气管,所述框体顶部的左侧固定连接有加热箱,所述加热箱的内腔固定连接有加热丝,所述加热丝顶部的左侧固定连接有风机,所述风机的出气管与加热箱连通,所述安装框正表面的左侧固定连接有控制器。
5.优选的,所述安装框底部的四角均固定连接有支撑腿,支撑腿相对的一侧固定连接有支杆。
6.优选的,所述磁控溅射离子镀膜机的正表面设置有通气孔,所述风机的抽气管套设有滤罩。
7.优选的,所述水箱顶部的左侧连通有加水管,加水管的顶部螺纹套设有管盖。
8.优选的,所述加热箱的内壁固定连接有防火网,所述水箱的正表面镶嵌有第一观察窗,所述框体的正表面镶嵌有第二观察窗。
9.优选的,所述活动块的两侧均固定连接有限位块,限位块远离活动块的一侧与喷头固定连接,所述控制器分别与电机、磁控溅射离子镀膜机、第一电动伸缩杆、水泵、第二电动伸缩杆、加热丝、风机和震动电机电性连接。
10.与现有技术相比,本实用新型的有益效果如下:
11.1.本实用新型通过设置第一电动伸缩杆、活动块、连接管、连通管、喷头、刷板、弹簧、水泵、第二电动伸缩杆、导气板、喷气管、加热丝、风机控制器和震动电机的配合使用,具备预清理的优点,解决了现有的磁控溅射离子镀膜装置不能够对加工工件表面进行预清理,加工工件的表面可能会落有杂物和灰尘,杂物和灰尘会妨碍镀层附着在工件表面,不便于镀膜进行的问题。
12.2.本实用新型通过设置支撑腿和支杆,能够对装置起到支撑的作用,能够便于装置的稳定,通过设置通气孔,能够便于磁控溅射离子镀膜机的散热,通过设置滤罩,能够有效防止杂物被吸入风机中,通过设置管盖,能有效防止水箱中的水从加水管中洒出,通过设置第一观察窗,能够便于对水箱中水量进行观察,通过设置第二观察窗,能够便于对框体中的工作情况进行观察,通过设置限位块,能够便于对喷头进行固定。
附图说明
13.图1为本实用新型结构主视剖图;
14.图2为本实用新型结构图1中a的放大图;
15.图3为本实用新型活动块和连接管连接俯视图;
16.图4为本实用新型结构主视图。
17.图中:1安装框、2转动辊、3传送带、4电机、5磁控溅射离子镀膜机、6框体、7第一电动伸缩杆、8活动块、9连接管、10连通管、11喷头、12刷板、13弹簧、14水箱、15水泵、16第二电动伸缩杆、17导气板、18喷气管、19加热箱、20加热丝、21风机、22控制器、23震动电机。
具体实施方式
18.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
19.在实用新型的描述中,需要说明的是,术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
20.在实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“设置有”、“连接”等,应做广义理解,例如“连接”,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
21.本实用新型的安装框1、转动辊2、传送带3、电机4、磁控溅射离子镀膜机5、框体6、第一电动伸缩杆7、活动块8、连接管9、连通管10、喷头11、刷板12、弹簧13、水箱14、水泵15、第二电动伸缩杆16、导气板17、喷气管18、加热箱19、加热丝20、风机21、控制器22和震动电机23部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件,其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。
22.请参阅图1-4,一种磁控溅射离子镀膜预清理装置,包括安装框1,安装框1底部的四角均固定连接有支撑腿,支撑腿相对的一侧固定连接有支杆,通过设置支撑腿和支杆,能够对装置起到支撑的作用,能够便于装置的稳定,安装框1的内腔活动连接有转动辊2,转动辊2的表面传动连接有传送带3,安装框1正表面的右侧固定连接有电机4,电机4的传动轴贯穿至安装框1的内腔并与转动辊2固定连接,安装框1顶部的左侧固定连接有磁控溅射离子镀膜机5,安装框1顶部的右侧固定连接有框体6,框体6顶部的右侧贯穿设置有第一电动伸缩杆7,第一电动伸缩杆7的底部固定连接有活动块8,活动块8顶部的前侧和后侧均固定连接有连接管9,连接管9的两侧均连通有连通管10,连通管10的底部连通有喷头11,活动块8底部的右侧通过支架活动连接有刷板12,活动块8底部的左侧固定连接有弹簧13,弹簧13的底部与刷板12固定连接,刷板12的顶部固定连接有震动电机23,框体6的顶部固定连接有水箱14,水箱14顶部的左侧连通有加水管,加水管的顶部螺纹套设有管盖,通过设置管盖,能有效防止水箱14中的水从加水管中洒出,水箱14右侧的底部固定连接有水泵15,水泵15的抽水管与水箱14连通,水泵15的出水管通过管道与连通管10连通,框体6内腔的顶部固定连接有第二电动伸缩杆16,第二电动伸缩杆16的底部固定连接有导气板17,导气板17的底部连通有喷气管18,框体6顶部的左侧固定连接有加热箱19,加热箱19的内壁固定连接有防火网,水箱14的正表面镶嵌有第一观察窗,框体6的正表面镶嵌有第二观察窗,通过设置第一观察窗,能够便于对水箱14中水量进行观察,通过设置第二观察窗,能够便于对框体6中的工作情况进行观察,加热箱19的内腔固定连接有加热丝20,加热丝20顶部的左侧固定连接有风机21,磁控溅射离子镀膜机5的正表面设置有通气孔,通过设置通气孔,能够便于磁控溅射离子镀膜机5的散热,风机21的抽气管套设有滤罩,通过设置滤罩,能够有效防止杂物被吸入风机21中,风机21的出气管与加热箱19连通,安装框1正表面的左侧固定连接有控制器22,活动块8的两侧均固定连接有限位块,限位块远离活动块8的一侧与喷头11固定连接,通过设置限位块,能够便于对喷头11进行固定,控制器22分别与电机4、磁控溅射离子镀膜机5、第一电动伸缩杆7、水泵15、第二电动伸缩杆16、加热丝20、风机21和震动电机23电性连接,通过设置第一电动伸缩杆7、活动块8、连接管9、连通管10、喷头11、刷板12、弹簧13、水泵15、第二电动伸缩杆16、导气板17、喷气管18、加热丝20、风机21控制器22和震动电机23的配合使用,具备预清理的优点,解决了现有的磁控溅射离子镀膜装置不能够对加工工件表面进行预清理,加工工件的表面可能会落有杂物和灰尘,杂物和灰尘会妨碍镀层附着在工件表面,不便于镀膜进行的问题。
23.使用时,将需要加工的工件放置在传送带3的表面,通过控制器22启动电机4,电机4的传动轴带动转动辊2和传送带3转动,通过传送带3对工件进行输送,通过控制器22启动第一电动伸缩杆7做伸缩运动,第一电动伸缩杆7带动活动块8、连接管9、连通管10、喷头11和刷板12,做上下运动,使刷板12的底部与工件表面接触,通过控制器22启动震动电机23,震动电机23带动刷板12震动对工件表面进行清理,通过控制器22启动水泵15,水泵15将水
箱14中水抽出从喷头11喷出对工件进行清理,通过控制器22启动第二电动伸缩杆16做伸缩运动,第二电动伸缩杆16带动导气板17和喷气管18做上下运动,通过控制器22启动加热丝20和风机21,加热丝20将加热箱19内空气加热,风机21将加热箱19中热空气吹出通过喷气管18喷至工件表面加速工件干燥,对工件进行预清理。
24.综上所述:该磁控溅射离子镀膜预清理装置,通过设置第一电动伸缩杆7、活动块8、连接管9、连通管10、喷头11、刷板12、弹簧13、水泵15、第二电动伸缩杆16、导气板17、喷气管18、加热丝20、风机21控制器22和震动电机23,解决了现有的磁控溅射离子镀膜装置不能够对加工工件表面进行预清理,加工工件的表面可能会落有杂物和灰尘,杂物和灰尘会妨碍镀层附着在工件表面,不便于镀膜进行的问题。
25.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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