一种溅射靶材的清洗装置的制作方法

1.本实用新型涉及靶材清洗技术领域，尤其涉及一种溅射靶材的清洗装置。


背景技术：

2.在半导体芯片的生产过程中，靶材溅射中无论是钛靶、钽靶、铝靶、铜靶等合金靶材都包含有300mm溅射靶材。300mm靶材在生产制作过程中一道工序就是表面清洗，影响到300mm靶材在溅射中会异常放电导致晶元报废。
3.在溅射靶材应用领域中，半导体芯片对溅射靶材的金属材料纯度、内部微观结构等方面都设定了极其苛刻的标准，需要掌握生产过程中的关键技术并经过长期实践才能制成符合工艺要求的产品，因此300mm靶表面的洁净程度对靶材溅射起到很大的影响。现有技术中具有对靶材清洗效果差，外表面洁净度差的问题。
4.cn208991371u公开了一种高效的靶材加工用清洗装置，包括壳体、清洗腔室和烘干腔室，清洗腔室的内壁侧壁固定连接有浸没清洗器，浸没清洗器包括超声防水探头和连接板，超声防水探头的右侧固定连接有强化空心球，浸没清洗器的一侧设置有放置装置，放置装置包括固定板，固定板的上表面固定连接有档条，档条的两侧均对称加工有卡槽，卡槽的底部与固定板的上表面相互焊接，清洗腔室的右侧固定连接有隔板，烘干腔室的内侧壁固定连接有烘干板，但该装置结构复杂。
5.cn211247508u公开了一种柱形靶材加工用高效清洗装置，包括箱体和支撑脚，所述箱体的下方前后两端左右两侧均固接有支撑脚，所述箱体的内部安装有清扫组件，所述清扫组件的外侧安装有清洗组件，所述第三弹簧的内侧上方均设有垫块，所述垫块与第二横板固定相连，但该装置结构复杂。
6.cn211303967u公开了一种靶材加工清洗装置，该清洗装置包括清洗箱、固设于该清洗箱内用于放置靶材的置物架、设置于该置物架下方的蓄水腔、设置于该清洗箱顶壁并位于该置物架上方的喷淋设备、固设于该清洗箱第一侧壁外并与该清洗箱连通的第一送风筒、固设于该清洗箱第二侧壁外并与该清洗箱连通的第二送风筒、固设于该第一送风筒内并向该清洗箱内吹风的第一烘干风扇、固设于该第二送风筒内并向该清洗箱内吹风的第二烘干风扇、设置于该清洗箱正面的窗口、以及盖设于该窗口外并可转动开启的透明盖板，该置物架上设有贯穿该置物架的复数个漏水孔，该第一送风筒倾斜设置于该清洗箱第一侧壁外，该第一送风筒第二端与该清洗箱连通，但该装置结构复杂。
7.因此，有必要开发一种结构简单，能够避免在清洗的过程中人员的碰触造成手指印和脏污的残留的对靶材的清洗装置。


技术实现要素：

8.鉴于现有技术中存在的问题，本实用新型提供一种溅射靶材的清洗装置，所述清洗装置设置于操作台上，通过旋转部与操作台连接，清洗装置包括靠近旋转部的固定杆和远离旋转部的活动杆，固定杆包括两个第一杆，两个第一杆平行对称设置，且两个所述第一
杆之间存在第一空隙，第一空隙中对称设置有至少两个固定夹块，活动杆包括第二固定杆和第二活动杆，第二固定杆和第二活动杆平行对称设置，且所述第二固定杆和第二活动杆之间存在第二空隙，第二固定杆上设置有第二卡槽，第二活动杆与第一卡槽相同位置处设置有第二卡槽，在第二空隙之间，位于第一卡槽和第二卡槽处设置有活动夹块，所述清洗装置避免在清洗的过程中人员碰触造成手指印和脏污的残留，提升清洗效果，同时节省人力，提高清洗效率。
9.为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：
10.本实用新型提供一种溅射靶材的清洗装置，所述清洗装置设置于操作台上；所述清洗装置通过旋转部与操作台连接；所述清洗装置包括靠近旋转部的固定杆和远离旋转部的活动杆；所述固定杆包括两个第一杆；两个所述第一杆平行对称设置，且两个所述第一杆之间存在第一空隙；所述第一空隙中对称设置有至少两个固定夹块；所述活动杆包括第二固定杆和第二活动杆；所述第二固定杆和第二活动杆平行对称设置，且所述第二固定杆和第二活动杆之间存在第二空隙；所述第二固定杆上设置有第一卡槽，所述第二活动杆在与第一卡槽相同位置处设置有第二卡槽；在所述第二空隙之间，位于第一卡槽和第二卡槽处设置有活动夹块；所述第二活动杆的一端与第二固定杆的一端活动连接；所述第二活动杆的另一端设置有与第二固定杆的另一端连接的可拆卸连接部。
11.清洗装置通过旋转部与操作台连接，使得清洗装置由水平状态转换为垂直状态，水平状态便于靶材的安装与卸载，垂直状态便于靶材的清洗，清洗装置中固定杆和活动杆用于固定靶材，其中固定杆中的两个第一杆平行对称，之间存在第一空隙，在第一空隙中对称设置至少两个固定夹块，可使用螺栓和螺母稳定固定夹块，用于固定靶材时的定位；活动夹块可在活动杆中的第一卡槽和第二卡槽中活动，可对靶材进行紧固，可螺栓和螺母稳定活动夹块，从而固定靶材，活动杆中第二活动杆一端与第二固定杆的一端活动连接，另一端设置有与第二固定杆的另一端连接的可拆卸连接部，有利于靶材的安装与卸载。
12.优选地，所述活动杆距固定杆的距离为200～250mm，例如可以是200mm、 210mm、220mm、230mm、240mm或250mm等。
13.优选地，在活动杆远离固定杆的一侧设置有操作杆。
14.优选地，所述操作杆距活动杆之间的距离与活动杆距固定杆的距离之比为2～3，例如可以是2、2.1、2.2、2.3、2.4、2.5、2.6、2.7、2.8、2.9或3等。
15.优选地，所述清洗装置还包括连接所述活动杆和固定杆的两端的两个第三连接杆。
16.优选地，所述清洗装置还包括连接所述活动杆和操作杆的两端的两个第四连接杆。
17.本实用新型对所述可拆卸连接部没有特殊限制，可采用本领域技术人员熟知的可拆卸连接的部件即可。
18.优选地，所述固定夹块设置有通孔。
19.优选地，所述固定夹块的材质包括pps塑料。
20.优选地，所述活动夹块设置有通孔。
21.优选地，所述活动夹块的材质包括pps塑料。
22.优选地，所述固定夹块和活动夹块的形状和大小相同。
23.本实用新型对所述固定夹块和活动夹块的形状没有特殊限制，可采用本领域技术人员熟知的可用于固定靶材的夹块即可。
24.优选地，所述清洗装置中除固定夹块和活动夹块，其他部件的材质包括304 不锈钢。
25.优选地，所述固定夹块中部设置有圆周凹槽。
26.优选地，所述活动夹块中部设置有圆周凹槽。
27.优选地，所述固定夹块的通孔的直径为14～18mm，例如可以是14mm、14.5mm、15mm、15.5mm、16mm、16.5mm、17mm、17.5mm或18mm等。
28.优选地，所述活动夹块的通孔的直径为14～18mm，例如可以是14mm、 14.5mm、15mm、15.5mm、16mm、16.5mm、17mm、17.5mm或18mm等。
29.优选地，所述固定夹块之间的距离与固定杆的长度之比为0.3～0.4，例如可以是0.3、0.31、0.32、0.33、0.34、0.35、0.36、0.37、0.38、0.39或0.4等。
30.优选地，所述第一卡槽的长度与活动杆的长度之比≥1:3，例如可以是1:3、 1:29、1:28、1:27、1:26、1:25、1:24、1:23、1:22、1:21或1:2等。
31.所述第二卡槽的长度与活动杆的长度之比≥1:3，例如可以是1:3、1:29、1:28、 1:27、1:26、1:25、1:24、1:23、1:22、1:21或1:2等。
32.优选地，所述第一卡槽的个数为1～2个，例如可以是1个或2个。
33.优选地，所述第二卡槽的个数为1～2个，例如可以是1个或2个。
34.本实用新型提供一种靶材的清洗方法，所述方法采用所述的溅射靶材的清洗装置，包括以下步骤：
35.(1)将溅射靶材的清洗装置水平放置于操作台上，打开第二活动杆，活动夹块沿着第一卡槽和第二卡槽移动至活动杆的两端；
36.(2)将300mm靶材水平放置于固定夹块的圆周凹槽内，闭合第二活动杆，将活动夹块沿着第一卡槽和第二卡槽向中部移动，使得300mm靶材固定在移动加快的圆周凹槽内，使用螺母和螺栓固定活动夹块；
37.(3)将溅射靶材的清洗装置垂直放置于操作台，放置于清洗设备上料轨道进行清洗。
38.与现有技术相比，本实用新型至少具有以下有益效果：
39.(1)本实用新型提供的溅射靶材的清洗装置，所述清洗装置采用至少两个固定夹块和两个活动夹块固定靶材，其中固定夹块与活动夹块相同，结合固定杆与活动杆方便靶材的安装与卸载，结构简单，操作简便；
40.(2)本实用新型提供的溅射靶材的清洗装置，方便将靶材放置于清洗设备的轨道，能够避免在清洗的过程中人员的碰触造成手指印和脏污的残留，提升了清洗效果，使清洗更加干净，同时节省人力，提高清洗效率。
附图说明
41.图1是本实用新型实施例1中溅射靶材的清洗装置的正视图。
42.图2是本实用新型实施例1中溅射靶材的清洗装置的左视图。
43.图中：1-固定杆；2-活动杆；3-固定夹块；4-活动夹块；5-第一卡槽；6-操作杆；7-第
三连接杆；8-第四连接杆。
具体实施方式
44.下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。
45.下面对本实用新型进一步详细说明。但下述的实例仅仅是本实用新型的简易例子，并不代表或限制本实用新型的权利保护范围，本实用新型的保护范围以权利要求书为准。
46.一、实施例
47.实施例1
48.本实施例提供一种溅射靶材的清洗装置，如图1和图2所示，所述清洗装置设置于操作台上，通过旋转部与操作台连接；所述清洗装置包括靠近旋转部的固定杆1和远离旋转部的活动杆2，活动杆2与固定杆1之间的距离为225mm，在活动杆2远离固定杆1的一侧设置有操作杆6，操作杆6距活动杆2之间的距离与活动杆2距固定杆1的距离之比为2.5，固定杆1包括两个第一杆，所述第一杆平行对称设置，且两个所述第一杆之间存在第一空隙，第一空隙中对称设置有两个材质为pps塑料的固定夹块3，固定夹块3中设置有直径为16mm的通孔，中部设置有圆周凹槽，固定夹块3之间的距离与固定杆1的长度之比为 0.35，活动杆2包括第二固定杆1和第二活动杆，第二固定杆1和第二活动杆平行对称设置，且所述第二固定杆1和第二活动杆之间存在第二空隙，第二固定杆1上设置有两个第一卡槽5，第二活动杆在与第一卡槽5相同位置处设置有两个第二卡槽，第一卡槽5的长度与活动杆2的长度之比为1:3，第二卡槽的长度与活动杆2的长度之比为1:3，在第二空隙之间，位于第一卡槽5和第二卡槽处设置有两个材质为pps塑料的活动夹块4，活动夹块4中设置有直径为16mm 的通孔，中部设置有圆周凹槽，第二活动杆的一端与第二固定杆1的一端活动连接，第二活动杆的另一端设置有与第二固定杆1的另一端连接的可拆卸连接部，清洗装置还包括连接所述活动杆2和固定杆1的两端的两个第三连接杆7，清洗装置还包括连接所述活动杆2和操作杆6的两端的两个第四连接杆8。
49.实施例2
50.本实施例提供一种溅射靶材的清洗装置，所述清洗装置设置于操作台上，通过旋转部与操作台连接；所述清洗装置包括靠近旋转部的固定杆和远离旋转部的活动杆，活动杆与固定杆之间的距离为200mm，在活动杆远离固定杆的一侧设置有操作杆，操作杆距活动杆之间的距离与活动杆距固定杆的距离之比为 2，固定杆包括两个第一杆，所述第一杆平行对称设置，且两个所述第一杆之间存在第一空隙，第一空隙中对称设置有两个材质为pps塑料的固定夹块，固定夹块中设置有直径为14mm的通孔，中部设置有圆周凹槽，固定夹块之间的距离与固定杆的长度之比为0.3，活动杆包括第二固定杆和第二活动杆，第二固定杆和第二活动杆平行对称设置，且所述第二固定杆和第二活动杆之间存在第二空隙，第二固定杆上设置有两个第一卡槽，第二活动杆在与第一卡槽相同位置处设置有两个第二卡槽，第一卡槽的长度与活动杆的长度之比为1:25，第二卡槽的长度与活动杆的长度之比为1:25，在第二空隙之间，位于第一卡槽和第二卡槽处设置有两个材质为pps塑料的活动夹块，活动夹块中设置有直径为14mm 的通孔，中部设置有圆周凹槽，第二活动杆的一端与第二固定杆的一端活动连接，第二活动杆的另一端设置有与第二固定杆的另一端连接的可拆卸连接
部，清洗装置还包括连接所述活动杆和固定杆的两端的两个第三连接杆，清洗装置还包括连接所述活动杆和操作杆的两端的两个第四连接杆。
51.实施例3
52.本实施例提供一种溅射靶材的清洗装置，所述清洗装置设置于操作台上，通过旋转部与操作台连接；所述清洗装置包括靠近旋转部的固定杆和远离旋转部的活动杆，活动杆与固定杆之间的距离为250mm，在活动杆远离固定杆的一侧设置有操作杆，操作杆距活动杆之间的距离与活动杆距固定杆的距离之比为 3，固定杆包括两个第一杆，所述第一杆平行对称设置，且两个所述第一杆之间存在第一空隙，第一空隙中对称设置有两个材质为pps塑料的固定夹块，固定夹块中设置有直径为18mm的通孔，中部设置有圆周凹槽，固定夹块之间的距离与固定杆的长度之比为0.4，活动杆包括第二固定杆和第二活动杆，第二固定杆和第二活动杆平行对称设置，且所述第二固定杆和第二活动杆之间存在第二空隙，第二固定杆上设置有一个第一卡槽，第二活动杆在与第一卡槽相同位置处设置有一个第二卡槽，第一卡槽的长度与活动杆的长度之比为1:2，第二卡槽的长度与活动杆的长度之比为1:2，在第二空隙之间，位于第一卡槽和第二卡槽处设置有两个材质为pps塑料的活动夹块，活动夹块中设置有直径为18mm的通孔，中部设置有圆周凹槽，第二活动杆的一端与第二固定杆的一端活动连接，第二活动杆的另一端设置有与第二固定杆的另一端连接的可拆卸连接部，清洗装置还包括连接所述活动杆和固定杆的两端的两个第三连接杆，清洗装置还包括连接所述活动杆和操作杆的两端的两个第四连接杆。
53.二、应用例
54.应用例1
55.本应用例提供一种靶材的清洗方法，所述方法采用实施例1中的溅射靶材的清洗装置，包括以下步骤：
56.(1)将溅射靶材的清洗装置水平放置于操作台上，打开第二活动杆，活动夹块沿着第一卡槽和第二卡槽移动至活动杆的两端；
57.(2)将300mm靶材水平放置于固定夹块的圆周凹槽内，闭合第二活动杆，将活动夹块沿着第一卡槽和第二卡槽向中部移动，使得300mm靶材固定在移动加快的圆周凹槽内，使用螺母和螺栓固定活动夹块；
58.(3)将溅射靶材的清洗装置垂直放置于操作台，放置于清洗设备上料轨道进行清洗。
59.应用例2～3
60.应用例2～3提供一种靶材的清洗方法，所述方法与应用例1的区别仅在于使用实施例2～3中的溅射靶材的清洗装置，其余均与应用例1相同。
61.本实用新型将实施例1～3中的溅射靶材的清洗装置，应用于300mm靶材的清洗过程中，操作简便，清洗效果好，后续应用于靶材溅射过程中未出现异常情况。
62.本实用新型中提供的清洗装置采用至少两个固定夹块和两个活动夹块固定靶材，其中固定夹块与活动夹块相同，结合固定杆、活动杆中的第二固定杆和第二活动杆，方便靶材的安装与卸载，所述清洗装置方便将靶材放置于清洗设备的轨道，能够避免在清洗的过程中人员的碰触造成手指印和脏污的残留，提升了清洗效果，使清洗更加干净，同时节省人力，提高清洗效率。
63.申请人声明，本实用新型通过上述实施例来说明本实用新型的详细结构特征，但本实用新型并不局限于上述详细结构特征，即不意味着本实用新型必须依赖上述详细结构特征才能实施。所属技术领域的技术人员应该明了，对本实用新型的任何改进，对本实用新型所选用部件的等效替换以及辅助部件的增加、具体方式的选择等，均落在本实用新型的保护范围和公开范围之内。