风刀装置及蚀刻装置的制作方法

1.本实用新型涉及风刀清洁设备的技术领域，具体而言，涉及一种风刀装置及蚀刻装置。


背景技术：

2.玻璃蚀刻加工时会有剩余物质进行清理，现有技术中，通常采用人工清理的办法进行清理。清洁人员手持刮刀对污染的部位进行清洁，这样的清洁方式费时费力效率较低。


技术实现要素：

3.本实用新型提供了一种风刀装置及蚀刻装置，解决了现有技术中玻璃蚀刻产生的废物进行清洁的时候费时费力的问题。
4.根据本技术提供了一种风刀装置，包括：安装架组件，安装架组件包括容纳盒体和盒盖，容纳盒体包括盒体底壁和盒体侧壁，盒体侧壁围设在盒体底壁的四周，盒盖包括盒盖顶壁和盒盖侧壁，盒盖侧壁围设在盒盖顶壁的四周，盒盖盖设在容纳盒体上，且盒体侧壁与盒盖侧壁相重叠，安装架组件具有与容纳盒体相连通的进风结构；传动组件，传动组件包括驱动部和传动带，驱动部安装在安装架组件上，传动带位于容纳盒体内且与驱动部相连；刮刀，刮刀至少部分地位于容纳盒体的外部，刮刀与传动带相连，以随传动带移动刮除污物。
5.进一步地，刮刀包括刀体和连接部，连接部的第一端与传动带相连，连接部的第二端与刀体相连。
6.进一步地，连接部包括第一板段、第二板段和第三板段，第一板段与传动带相连，第二板段连接在第一板段和第三板段之间，第二板段和第一板段垂直相连，第二板段与第三板段相连，以使连接部为z字形，第三板段与刀体相连。
7.进一步地，第一板段的宽度大于容纳盒体的宽度，第一板段的宽度小于盒盖顶壁的宽度，第一板段的两端搭设在盒体底壁的两侧的盒体侧壁，第二板段在盒盖侧壁和盒体侧壁之间。
8.进一步地，第三板段上设置有螺栓孔，刀体包括刀体本体板段和刀刃板段，刀刃板段与刀体本体板段的侧边相连，刀体本体板段和刀刃板段成预定角度设置，刀体本体板段上设置有长孔。
9.进一步地，刀刃板段为梯形，刀刃板段的第一侧边至刀刃板段的第二侧边的宽度逐渐增大，刀刃板段的第二侧边与刀体本体板段相连。
10.进一步地，驱动部包括驱动电机和驱动电机盒体，驱动电机设置在驱动电机盒体内，驱动电机盒体与容纳盒体相连通。
11.进一步地，风刀装置还包括控制结构，控制结构与驱动电机相连，以控制驱动电机的转动。
12.进一步地，安装架组件还包括调节架，调节架包括多个立杆，各立杆的第一端与容纳盒体相连，各立杆的第二端具有多个固定孔，各立杆上的多个固定孔沿立杆的第二端至
立杆的第一端方向相间隔地布置；或者安装架组件还包括两个安装支架，两个安装支架分别安装在容纳盒体的两侧。
13.本技术还提供了一种蚀刻装置，包括蚀刻装置本体和设置在蚀刻装置本体上的风刀装置，风刀装置为上述的风刀装置。
14.应用本实用新型的技术方案，通过驱动部带动传动带移动，传动带带动刮刀对污物进行刮除，安装架组件具有与容纳盒体相连通的进风结构。这样可以保证容纳盒体内部的压力大于容纳盒体外部的压力，这样可以有效地保证风刀装置在腐蚀的环境下，腐蚀物质不容易进入容纳盒体内，另外，容纳盒体内部的气体会通过刮刀与容纳盒体配合的间隙出逸出，带有压力的气体形成吹扫气流，吹扫气流流经刮刀，对刮刀刮除的污物形成了吹扫清洁，这样刮刀可以通过气流进行自清洁。本实用新型的技术方案有效地解决了现有技术中的玻璃蚀刻产生的废物进行清洁的时候费时费力的问题。
附图说明
15.通过参考附图阅读下文的详细描述，本公开示例性实施方式的上述以及其他目的、特征和优点将变得易于理解。在附图中，以示例性而非限制性的方式示出了本公开的若干实施方式，并且相同或对应的标号表示相同或对应的部分，其中：
16.图1是示出了实施例一的风刀装置的主视示意图；
17.图2示出了图1的风刀装置的侧视示意图；
18.图3示出了图1的风刀装置的刮刀的结构示意图。
19.其中，上述附图包括以下附图标记：
20.10、安装架组件；20、传动组件；30、刮刀；40、调节架。
具体实施方式
21.需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。
22.应该指出，以下详细说明都是例示性的，旨在对本技术提供进一步的说明。除非另有指明，本文使用的所有技术和科学术语具有与本技术所属技术领域的普通技术人员通常理解的相同含义。
23.为了便于描述，在这里可以使用空间相对术语，如“在
……
之上”、“在
……
上方”、“在
……
上表面”、“上面的”等，用来描述如在图中所示的一个器件或特征与其他器件或特征的空间位置关系。应当理解的是，空间相对术语旨在包含除了器件在图中所描述的方位之外的在使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的器件被倒置，则描述为“在其他器件或构造上方”或“在其他器件或构造之上”的器件之后将被定位为“在其他器件或构造下方”或“在其他器件或构造之下”。因而，示例性术语“在
……
上方”可以包括“在
……
上方”和“在
……
下方”两种方位。该器件也可以其他不同方式定位旋转90度或处于其他方位，并且对这里所使用的空间相对描述作出相应解释。
24.现在，将参照附图更详细地描述根据本公开的示例性实施方式。然而，这些示例性实施方式可以由多种不同的形式来实施，并且不应当被解释为只限于这里所阐述的实施方式。应当理解的是，提供这些实施方式是为了使得本技术的公开彻底且完整，并且将这些示
例性实施方式的构思充分传达给本领域普通技术人员，在附图中，为了清楚起见，扩大了层和区域的厚度，并且使用相同的附图标记表示相同的器件，因而将省略对它们的描述。
25.如图1至图3所示，实施例一的风刀装置，包括：安装架组件10、传动组件20和刮刀30。安装架组件10包括容纳盒体和盒盖，容纳盒体包括盒体底壁和盒体侧壁，盒体侧壁围设在盒体底壁的四周，盒盖包括盒盖顶壁和盒盖侧壁，盒盖侧壁围设在盒盖顶壁的四周，盒盖盖设在容纳盒体上，且盒体侧壁与盒盖侧壁相重叠，安装架组件10具有与容纳盒体相连通的进风结构。传动组件20包括驱动部和传动带，驱动部安装在安装架组件10上，传动带位于容纳盒体内且与驱动部相连。刮刀30至少部分地位于容纳盒体的外部，刮刀30与传动带相连，以随传动带移动刮除污物。
26.应用本实施例的技术方案，通过驱动部带动传动带移动，传动带带动刮刀30对污物进行刮除，安装架组件10具有与容纳盒体相连通的进风结构。这样可以保证容纳盒体内部的压力大于容纳盒体外部的压力，这样可以有效地保证风刀装置在腐蚀的环境下，腐蚀物质不容易进入容纳盒体内，另外，容纳盒体内部的气体会通过刮刀30与容纳盒体配合的间隙出逸出，带有压力的气体形成吹扫气流，吹扫气流流经刮刀，对刮刀刮除的污物形成了吹扫清洁，这样刮刀可以通过气流进行自清洁。本实施例的技术方案有效地解决了现有技术中的玻璃蚀刻产生的废物进行清洁的时候费时费力的问题。
27.传动带可以为链条、可以为传输带等。在本实施例的技术方案中，传动带为两条并行的传输带，这样使得传输更加平稳。在容纳盒体内部充入的气体为压缩空气即可，例如，压缩机将空气进行压缩到合适的压力后通过除油、除水、除尘等工序再进入至容纳盒体的内部。本实施例的技术方案的压缩气体不适合使用氮气或者惰性气体等，因为压缩气体起到吹扫的作用，压缩气体会源源不断的排出至工作区域，如果采用氮气或者惰性气体等压缩气体会对工作人员造成一定的危险，或者进入工作区域时需要进行气体检测仪进行检测。
28.在本实施例的技术方案中，刮刀30包括刀体和连接部，连接部的第一端与传动带相连，连接部的第二端与刀体相连。上述结构方便刀体的更换和刀体的位置、角度的调整。例如，当需要刮除的污物较大的时候，可以更换型号较大的刮刀30。安装时，刀体沿着连接部向远离安装架组件10的方向延伸，即刀体与安装架组件10为90度，实际使用时，刀体与安装架组件10成一定的角度会更容易刮除污物，但是如果刮刀30反向移动的时候，刮除效果会明显不如刀体与安装架组件0成90度的时候的刮除效果好，因此，当需要刮刀30需要正反方向都能够刮除污物的时候，可以将刀体与安装架组件10成90度安装。当然，可以根据需要连接部和刀体为一体成型结构也是可以的。
29.在本实施例的技术方案中，连接部包括第一板段、第二板段和第三板段，第一板段与传动带相连，第二板段连接在第一板段和第三板段之间，第二板段和第一板段垂直相连，第二板段与第三板段相连，以使连接部为z字形，第三板段与刀体相连。上述结构的连接部安装比较灵活，可以在较多的弯折的缝隙实现安装。
30.在本实施例的技术方案中，第一板段的宽度大于容纳盒体的宽度，第一板段的宽度小于盒盖顶壁的宽度，第一板段的两端搭设在盒体底壁的两侧的盒体侧壁，第二板段在盒盖侧壁和盒体侧壁之间。第一板段的宽度大于容纳盒体的宽度，第一板段的宽度小于盒盖顶壁的宽度，第一板段的两端搭设在盒体底壁的两侧的盒体侧壁，这样的结构可以实现
对刮刀30的精确定位，因为本技术的方案用于对半导体、玻璃等比较精确的蚀刻设备的污物的刮除，这对风刀装置的精度要求也比较高。需要说明的是，由于容纳盒体为长方体结构，其长度较大，难免会有挠曲变形，容纳盒体还可以安装有加固结构，防止容纳盒体变形，进而影响风刀装置的精度。
31.在本实施例的技术方案中，第三板段上设置有螺栓孔，刀体包括刀体本体板段和刀刃板段，刀刃板段与刀体本体板段的侧边相连，刀体本体板段和刀刃板段成预定角度设置，刀体本体板段上设置有长孔。上述结构进一步提高了刀体的灵活性，例如当刮刀30需要距离刮除的污物较远的时候，可以通过螺栓孔与刀体本体板段上的长孔位置的配合使得刀刃板段远离安装架组件10，当需要刮除的污物距离较近的时候，可以通过调节螺栓孔与刀体本体板段上的长孔的位置，使得刮刀30向靠近安装架组件10的方向移动。需要说明的是，螺栓孔只有一个即可，刀体和连接部通过螺栓连接在一起，只有一个螺栓孔的结构使得刀体和连接部可以相对转动，这样可以调整刀体和刮除污物的角度，刀体和需要刮除的污物设置在合适的角度的时候更容易将污物刮除。
32.在本实施例的技术方案中，刀刃板段为梯形，刀刃板段的第一侧边至刀刃板段的第二侧边的宽度逐渐增大，刀刃板段的第二侧边与刀体本体板段相连。上述结构使得刮除污物的时候更加容易，刮除的污物更容易在重力的作用下掉落，使得污物不容易积聚。具体地，本实施例的刮刀采用30mm*50mm*0.35mm钛镁合金制作。刀刃板段的两头做圆角设计，避免结晶堵塞刀头。刀体后方采用长条设计，用于调整位置及角度。
33.在本实施例的技术方案中，驱动部包括驱动电机和驱动电机盒体，驱动电机设置在驱动电机盒体内，驱动电机盒体与容纳盒体相连通。这样有效地包括了驱动电机在酸性环境下不容易损坏，因为本实施例的风刀装置安装在蚀刻装置的机台上，蚀刻装置为酸性环境，驱动电机盒体内充有气体，且内部气体压力大于外部压力，这样酸性物质不容易进入驱动电机盒体，进而更好的保护驱动电机不容易受到腐蚀。
34.在本实施例的技术方案中，风刀装置还包括控制结构，控制结构与驱动电机相连，以控制驱动电机的转动。控制结构的设置使得风刀装置的自动化程度更高，减少了操作人员的手动操作。风刀装置还包括限位块，限位块安装在安装架组件10上，并与刮刀30相配合以限制刮刀30的移动，例如当刮刀30移动到极限位置时，限位块阻挡刮刀30进一步移动以免出现安全事故。
35.在本实施例的技术方案中，安装架组件10还包括调节架40，调节架40包括多个立杆，各立杆的第一端与容纳盒体相连，各立杆的第二端具有多个固定孔，各立杆上的多个固定孔沿立杆的第二端至立杆的第一端方向相间隔地布置。和/或安装架组件10还包括两个安装支架，两个安装支架分别安装在容纳盒体的两侧。调节架40的设置使得风刀装置可以实现上下方向的调节。通过上述可知本实施例的风刀装置可以实现上下，前后多方向的调节，进一步扩大了风刀装置的通用性。本实施例的调解架为四个，采用铝型材。
36.实施例二的技术方案与实施例一不同之处在于，安装架组件10还包括支撑结构，支撑结构包括支撑轴，支撑轴的轴向延伸方向与传动带的运动方向相同，即支撑轴的轴向延伸方向为容纳盒体的长度方向，支撑轴的设置可以减少容纳盒体的变形，这样大大地提高了风刀装置的精度。
37.实施例三的技术方案与实施例一的区别在于，传动带为一条传输带，这样的结构
节省成本。需要说明的是，传动带为封闭的圆环形，两个转动轴分别位于传动带的两端，两个转动轴一个为主动轴，一个为从动轴，驱动电机带动主动轴转动，主动轴与传动带通过摩擦力带动传动带转动。传动带的内壁为光滑面或者齿轮面均是可以的。
38.本技术还提供了一种蚀刻装置，包括蚀刻装置本体和设置在蚀刻装置本体上的风刀装置，风刀装置为上述的风刀装置。
39.需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本技术的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。
40.需要说明的是，本技术的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本技术的实施方式例如能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
41.以上仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。