波纹管毛刷微动结构的制作方法

1.本实用新型涉及半导体技术领域，具体为波纹管毛刷微动结构。


背景技术：

2.半导体领域中，芯片制作过程需要用到多种清洗方式，而毛刷清洗在清洗方式中占有一席之地，毛刷清洗一直以配置简单，清洗力强，效果立竿见影等特点广受用户的青睐，而大颗粒和大片粘黏物清洗目前的最好方式就是毛刷清洗。
3.但是在使用过程毛刷清洗方式存在两个问题无法解决，首先毛刷接触晶圆时必须是有一定的进给量，也就是说毛刷头与晶圆接触尺寸必须是一个负数，其次毛刷在使用过程中必须旋转，那么，在解决这两个问题时毛刷主轴就必须有一定的膨胀量，不然在毛刷接触晶圆时，容易把晶圆撞偏，撞掉。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供波纹管毛刷微动结构，使毛刷主轴有一定的膨胀量，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：波纹管毛刷微动结构，包括波纹管本体、上链接杆和下链接杆，所述上链接杆的右侧和下链接杆的左侧均延边缘螺纹连接有螺栓，所述上链接杆和下链接杆的法兰均通过螺栓与波纹管本体的法兰螺纹连接，所述上链接杆法兰的左侧和下链接杆法兰的右侧均安装有o型密封圈，所述波纹管本体右侧法兰的内腔焊接有方轴，且方轴的左侧栓接有伸缩阻挡机构。
6.优选的，所述上链接杆和下链接杆的法兰均栓接有固定环，所述固定环的底部栓接有箱体，所述箱体内腔底部的外侧通过轴承转动连接有丝杆，所述丝杆的顶部贯穿箱体并栓接有把手，所述箱体的顶部通过转套与丝杆的表面转动连接，所述丝杆的表面螺纹连接有螺纹套，所述螺纹套的内侧栓接有移动板，且移动板的底部栓接有支撑座，所述支撑座的底部贯穿箱体并向下延伸。
7.优选的，所述波纹管本体顶部和底部的两端部均栓接有固定箱，所述固定箱内腔靠近波纹管本体的一侧栓接有弹簧，且弹簧远离波纹管本体的一侧栓接有移动杆，所述移动杆远离弹簧的一侧贯穿固定箱并栓接有挡板。
8.优选的，所述波纹管本体的正面和背面均粘接有减震块，且减震块的材质为橡胶。
9.优选的，所述波纹管本体的表面均喷涂有防腐蚀层，所述防腐蚀层的材质为环氧煤沥青重防腐涂料。
10.优选的，所述防腐蚀层的外侧喷涂有耐磨层，所述耐磨层的材质为聚氨酯涂料。
11.优选的，所述耐磨层的厚度范围介于10um-20um之间。
12.优选的，所述箱体内腔的底部粘接有密封圈，且密封圈的内圈与支撑座的表面活动连接。
13.优选的，所述箱体内腔的内侧开设有滑槽，所述滑槽的内腔滑动连接有滑块，所述
滑块的外侧与移动板的内侧栓接。
14.优选的，所述支撑座的底部粘接有防滑垫。
15.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
16.1、本实用新型提供波纹管毛刷微动结构，通过上链接杆、下链接杆、波纹管本体、螺栓、o型密封圈和伸缩阻挡机构的配合，将毛刷主轴替换成本结构，通过压缩空气从上链接杆对密闭波纹管本体内充气，实现波纹管本体轴向膨胀，轴向加长4mm左右，该长度通过增加或减少伸缩阻挡机构垫片实现调节，从而使毛刷主轴有一定的膨胀量，防止把晶圆撞偏，撞掉，晶圆的位置是固定的，在进行使用前，使用者将波纹管本体的膨胀量调节好，即可实现不把晶圆撞偏、撞掉的效果。
17.2、本实用新型提供波纹管毛刷微动结构，通过固定环、箱体、丝杆、螺纹套、移动板和支撑座的配合，能够将整体的高度进行调节，便于在存放过程中对结构进行支撑，通过固定箱、弹簧、移动杆和挡板的配合，使波纹管本体具有防护性能，对波纹管本体进行保护，通过减震块的配合，提高了波纹管本体的防护性能，通过防腐蚀层的配合，提高了波纹管本体的防腐蚀性能，通过耐磨层的配合，提高了波纹管本体的耐磨性能，通过耐磨层的厚度范围介于10um-20um，减小了耐磨层的厚度，通过密封圈的配合，提高了箱体的密封性能，通过滑槽和滑块的配合，便于使用者对移动板进行限位，通过防滑垫的配合，增加了支撑座与接触面的摩擦力。
附图说明
18.图1为本实用新型的整体结构示意图；
19.图2为本实用新型的上链接杆、下链接杆和波纹管本体结构剖视图；
20.图3为本实用新型的箱体结构剖视图；
21.图4为本实用新型的箱体结构剖视图；
22.图5为本实用新型的波纹管本体结构示意图；
23.图6为本实用新型的图1所示a处结构放大图。
24.图中标号：1、波纹管本体；2、上链接杆；3、下链接杆；4、螺栓；5、o型密封圈；6、伸缩阻挡机构；7、固定环；8、箱体；9、丝杆；10、螺纹套；11、支撑座；12、固定箱；13、移动杆；14、防腐蚀层；15、耐磨层；16、滑槽；17、滑块。
具体实施方式
25.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
26.本实用新型提供了如图1～6所示的波纹管毛刷微动结构，包括波纹管本体1、上链接杆2和下链接杆3，上链接杆2的右侧和下链接杆3的左侧均延边缘螺纹连接有螺栓4，上链接杆2和下链接杆3的法兰均通过螺栓4与波纹管本体1的法兰螺纹连接，上链接杆2法兰的左侧和下链接杆3法兰的右侧均安装有o型密封圈5，波纹管本体1右侧法兰的内腔焊接有方轴，且方轴的左侧栓接有伸缩阻挡机构6。
27.上链接杆2和下链接杆3的法兰均栓接有固定环7，固定环7的底部栓接有箱体8，箱体8内腔底部的外侧通过轴承转动连接有丝杆9，丝杆9的顶部贯穿箱体8并栓接有把手，箱体8的顶部通过转套与丝杆9的表面转动连接，丝杆9的表面螺纹连接有螺纹套10，螺纹套10的内侧栓接有移动板，且移动板的底部栓接有支撑座11，支撑座11的底部贯穿箱体8并向下延伸，调节整体的高度。
28.波纹管本体1顶部和底部的两端部均栓接有固定箱12，固定箱12内腔靠近波纹管本体1的一侧栓接有弹簧，且弹簧远离波纹管本体1的一侧栓接有移动杆13，移动杆13远离弹簧的一侧贯穿固定箱12并栓接有挡板，波纹管本体1的正面和背面均粘接有减震块，且减震块的材质为橡胶，提高了波纹管本体1的防护性能，防止其他物体与波纹管本体1撞击时，造成波纹管本体1损坏。
29.波纹管本体1的表面均喷涂有防腐蚀层14，防腐蚀层14的材质为环氧煤沥青重防腐涂料，防腐蚀层14的外侧喷涂有耐磨层15，耐磨层15的材质为聚氨酯涂料，耐磨层15的厚度范围介于10um-20um之间，提高了波纹管本体1的耐磨和防腐蚀性能，延长了波纹管本体1的使用寿命。
30.箱体8内腔的底部粘接有密封圈，且密封圈的内圈与支撑座11的表面活动连接，提高了箱体8的密封性能，防止灰尘进入箱体8。
31.箱体8内腔的内侧开设有滑槽16，滑槽16的内腔滑动连接有滑块17，滑块17的外侧与移动板的内侧栓接，辅助移动板进行移动，提高了移动板的稳定性。
32.支撑座11的底部粘接有防滑垫。
33.具体使用时，通过上链接杆2对密闭波纹管本体1内充气，实现波纹管本体1轴向膨胀，此时由于上链接杆2是固定的，波纹管本体1向左进行膨胀，此时波纹管本体1左侧的法兰会与伸缩阻挡机构6垫片接触，伸缩阻挡机构6对波纹管本体1限位，从而控制波纹管本体1缩短量，该长度通过增加或减少伸缩阻挡机构6垫片实现调节，本机构保障密闭由上下两个o型密封圈5实现，回弹方式为波纹管自动回弹；同步方式由中间方轴实现，当物体与顶部的挡板接触时，带动挡板向下移动，此时挡板带动移动杆13向下移动并对弹簧进行挤压，对波纹管本体1进行保护，当整体进行存放时，使用者转动把手，把手带动丝杆9转动，从而丝杆9带动螺纹套10向下移动，进而螺纹套10带动移动板向下移动，随后移动板带动支撑座11向下移动，从而调节整体的高度，对整体进行支撑。
34.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。