一种槽式全自动清洗机用循环清洗装置的制作方法

1.本发明涉及半导体加工技术领域，尤其是涉及一种槽式全自动清洗机用循环清洗装置。


背景技术：

2.在半导体的制程工艺中，晶圆清洗是其重要的一个组成部分，现有的常规清洗手段是通过采用湿法清洗工艺的全自动槽式清洗机进行清洗。目前的全自动槽式清洗机大都存在有循环喷淋系统，其可对清洗液进行过滤回收，实现清洗液的循环喷淋，提高晶圆的清洗效果，并利用滤芯将清洗液中的碎屑过滤而出，从而降低了水资源的消耗。
3.但是现有的槽式全自动清洗机用循环清洗装置在长期使用后，会在滤芯处积攒着大量的碎屑，其需要工作人员停机定期进行拆装清理，其操作较为麻烦，降低了工作效率，不利于生产使用。针对上述问题，急需在原有的基础上进行创新设计。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于克服现有技术中的不足，提供一种槽式全自动清洗机用循环清洗装置，可以在每次循环清洗过后，都可对滤芯进行反向冲洗，使得积攒的碎屑清除，并将携带有碎屑的少量清洗液分离排出，从而达到了无需操作人员频繁拆装更换滤芯的效果。
5.为解决上述技术问题，本发明是采用下述技术方案实现的：本发明提供了一种槽式全自动清洗机用循环清洗装置，包括清洗槽、三通管和缸体，所述清洗槽内设有喷淋机构和承载机构；所述承载机构包括可相对于清洗槽上下移动的承载台和复位组件，所述承载台上设有推拉杆，所述推拉杆的一端贯穿清洗槽底部后设有活塞，所述活塞滑动连接于所述缸体内；所述清洗槽底部设有排水口，所述排水口与三通管的进水口相连通，所述三通管的第一出水口通过循环输送机构与所述喷淋机构相连通，所述三通管的第二出水口与缸体远离推拉杆的一端相连通，所述循环输送机构包括用于过滤碎屑并通过快速换装组件安装的滤芯和驱动水循环的水泵；所述缸体远离推拉杆的一端还设有排污管，所述排污管上设有第一阀，所述第二出水口上设有第二阀，所述清洗槽上设有用于开关所述排水口的封闭机构；承载台承重时，第一阀导通，第二阀不导通，封闭机构将排水口打开；承载台复位时，第一阀不导通，第二阀导通，封闭机构将排水口关闭。
6.进一步的，所述封闭机构包括支撑弹簧、连接杆、设于清洗槽底部的盒体、活动套设于推拉杆外侧的套环和固设于推拉杆外侧的推动环；所述盒体上设有通孔，所述排水口通过通孔与所述三通管的进水口相连通，所述盒体内活动连接有用于将所述通孔隔断的封闭滑板，所述支撑弹簧设于封闭滑板与盒体内壁之间，所述连接杆的一端与套环铰接，另一端与封闭滑板铰接，所述推动环设于清洗槽与
套环之间。
7.进一步的，所述盒体内设有与所述通孔连通的腔体，所述封闭滑板滑动连接于腔体内，所述腔体远离通孔的一侧设有限位通槽，所述封闭滑板的一端通过限位通槽伸出至盒体外侧与所述连接杆铰接。
8.进一步的，所述清洗槽底部设有与承载台相匹配的容置槽，所述复位组件包括设于容置槽内的导向杆和套设于导向杆上的复位弹簧，所述承载台上设有与导向杆相匹配的导向孔，所述复位弹簧支撑于承载台和容置槽之间。
9.进一步的，所述喷淋机构包括设于清洗槽内侧的空心板，所述空心板上设有若干个喷嘴，所述三通管的第一出水口通过循环输送机构与所述空心板相连通。
10.进一步的，所述快速换装组件包括箱体和贯穿箱体的换装板，所述换装板上设有两个过滤通槽，所述过滤通槽内安装有过滤管和限位过滤管的凸环，所述滤芯设于过滤管内。
11.进一步的，所述换装板的两端设有定位弧板，所述箱体的外壁两侧设有与定位弧板相对应的弧形凹槽。
12.进一步的，所述箱体内于换装板上下两侧设有定位组件，所述定位组件包括定位环、压紧弹簧和用于驱动定位环运动的驱动件；所述定位环靠近换装板的一侧设有限位凸台，所述换装板上设有与限位凸台相匹配的限位凹槽，所述压紧弹簧支撑于定位环与箱体之间。
13.进一步的，所述定位环远离换装板的一侧设有定位凹槽，所述箱体内设有与定位凹槽相对应的导向管，所述压紧弹簧活动套设于导向管外侧。
14.进一步的，所述驱动件包括拉环和若干个驱动杆，若干个所述驱动杆的一端分别与定位环远离换装板的一侧固定连接，另一端分别与位于所述箱体外侧的拉环固定连接；若干个所述驱动杆分别贯穿所述箱体并与所述箱体滑动连接。
15.与现有技术相比，本发明所达到的有益效果是：1、该槽式全自动清洗机用循环清洗装置，通过使承载台在料箱重力的作用下克服复位组件的张力下降，从而带动推拉杆运动，进而使活塞于缸体中进行相对运动，使得装置在每次对料箱进行循环清洗过后，都可利用循环输送机构中的水的重力作用以及负压对滤芯进行反向冲洗，使得积攒的碎屑清除，并使携带有碎屑的少量清洗液分离排出；从而达到了无需操作人员频繁拆装更换滤芯的效果，其提高了工作效率，省时省力，便于使用。
16.2、该槽式全自动清洗机用循环清洗装置，通过推拉杆带动推动环运动，使其推动套环，再利用套环借助连接杆拉动封闭滑板，使封闭滑板对排水口进行开闭，使得装置在恰当的时候自动完成对排水口的开启与关闭，而不需要额外进行控制，提高了装置的自动化效果。
17.3、该槽式全自动清洗机用循环清洗装置，具有快速换装组件，通过推动换装板，使推动侧的定位弧板与弧形凹槽相合，进而使限位凹槽移动至箱体中心处，即让新的过滤管被推入至箱体中，以此可快速的完成对滤芯的更换，使得在无需停运设备的状态下即可完成换装，操作方便，更换效率高，应用价值大。
附图说明
18.附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。在附图中：图1是本发明实施例提供的一种槽式全自动清洗机用循环清洗装置的结构示意图；图2是图1所示槽式全自动清洗机用循环清洗装置中a处的放大示意图；图3是图1所示槽式全自动清洗机用循环清洗装置中b处的放大示意图；图4是图1所示槽式全自动清洗机用循环清洗装置的清洗槽的俯视示意图；图5是图1所示槽式全自动清洗机用循环清洗装置的快速换装组件的侧视示意图；图6是图1所示槽式全自动清洗机用循环清洗装置的换装板的结构示意图；图7是图1所示槽式全自动清洗机用循环清洗装置在承重状态下的结构示意图；图中：1、清洗槽；2、三通管；3、缸体；4、承载台；5、推拉杆；6、活塞；7、排水口；8、滤芯；9、水泵；10、排污管；11、第一阀；12、第二阀；13、盒体；14、套环；15、推动环；16、支撑弹簧；17、连接杆；18、通孔；19、封闭滑板；20、腔体；21、限位通槽；22、容置槽；23、导向杆；24、复位弹簧；25、导向孔；26、空心板；27、喷嘴；28、箱体；29、换装板；30、过滤通槽；31、过滤管；32、凸环；33、定位弧板；34、弧形凹槽；35、定位环；36、压紧弹簧；37、限位凸台；38、限位凹槽；39、定位凹槽；40、导向管；41、驱动杆；42、拉环。
具体实施方式
19.下面结合附图对本发明作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本发明的技术方案，而不能以此来限制本发明的保护范围。
20.在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、
ꢀ“
底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
21.在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
22.实施例一：本发明实施例提供了一种槽式全自动清洗机用循环清洗装置，如图1所示，包括清洗槽1，清洗槽1的两侧内壁设有喷淋机构，内底部设有承载机构；承载机构包括可相对于清洗槽1上下移动的承载台4和复位组件，承载台4上设有推拉杆5，推拉杆5的一端贯穿清洗槽1底部后设有活塞6，活塞6滑动连接于缸体3内，清洗槽1的底部设有排水口7，排水口7通过
管道与三通管2的进水口相连通，使三通管2的第一出水口通过循环输送机构与喷淋机构相连通，三通管2的第二出水口与缸体3远离推拉杆5的一端相连通，其中循环输送机构包括用于过滤碎屑并通过快速换装组件安装的滤芯8和驱动水循环的水泵9；缸体3远离推拉杆5的一端还设有排污管10，排污管10上设有第一阀11，第二出水口上设有第二阀12，清洗槽1上设有用于开关排水口7的封闭机构；承载台4承重时，第一阀11导通，第二阀12不导通，封闭机构将排水口7打开；承载台4复位时，第一阀11不导通，第二阀12导通，封闭机构将排水口7关闭。
23.需要说明的是，循环输送机构与喷淋机构可设有多组，均匀分布于清洗槽1的四周，具体布置数量以及位置可根据实际使用情况进行相应调整。在本实施例中第一阀11和第二阀12采用单向阀，其开合通过水压进行控制，但不仅限于此，也可以是电磁阀或其它阀体，通过开关或传感器进行控制，只需具有同等效果即可。
24.具体的，使用时将装有晶圆的料箱放置在承载台4上，承载台4在料箱重力的作用下克服复位组件的张力逐渐下降，承载台4带动推拉杆5一同运动，推拉杆5推动活塞6于缸体3中进行相对运动，由于此时在水压的作用下第一阀11导通，第二阀12不导通，于是活塞6将缸体3中积存的含有少量的碎屑的清洗液通过排污管10排出；当承载台4下降至行程尽头时，如图7所示，活塞6恰好将连通第二阀12的管口堵塞，此时封闭机构将排水口7打开。随后启动循环输送机构，循环输送机构的水泵9驱动清洗液依次沿着排水口7、三通管2、滤芯8和喷淋机构进行循环流动，完成循环喷淋，其中，由于第二阀12被活塞6堵塞，使清洗液不会经由缸体3从排污管10排出，于是滤芯8对循环输送中的碎屑进行过滤，并使其附着积留在滤芯8与三通管2的第一出水口之间。当晶圆清洗完成时，关闭水泵9，取走料箱，于是承载台4在复位组件的作用下逐渐上升，此时封闭机构将排水口7关闭，承载台4通过推拉杆5拉动活塞6上升，活塞6松开对连通第二阀12的管口的堵塞；随后，在负压的作用下，第一阀11不导通，第二阀12导通，又由于排水口7关闭，进而使循环输送机构以及三通管2中残留的清洗液通过三通管2的第二出水口进入缸体3的无杆腔中积存，于是在负压及重力的作用下，循环输送机构中的水反向流动，从而滤芯8被反向冲洗，并将积攒的碎屑转移至缸体3中进行存储，此时一个周期结束。待下一个料箱放置时，重复上述操作，使碎屑排出，本发明通过设置以上结构起到了在料箱每次清洗过后，都可对滤芯8进行反向冲洗的作用，将积攒的碎屑清除，并使携带有碎屑的少量清洗液分离排出；从而达到了无需操作人员频繁拆装更换滤芯8的效果，提高了工作效率，省时省力，便于使用。
25.在本实施例中，如图1-2所示，封闭机构包括支撑弹簧16、连接杆17、设于清洗槽1底部的盒体13、活动套设于推拉杆5外侧的套环14和固设于推拉杆5外侧的推动环15；盒体13上设有通孔18，排水口7通过通孔18与三通管2的进水口相连通，盒体13内活动连接有用于将通孔18隔断的封闭滑板19，支撑弹簧16设于封闭滑板19与盒体13内壁之间，连接杆17的一端与套环14铰接，另一端与封闭滑板19铰接，推动环15设于清洗槽1与套环14之间，盒体13内设有与通孔18连通的腔体20，封闭滑板19滑动连接于腔体20内，腔体20远离通孔18的一侧设有限位通槽21，封闭滑板19的一端通过限位通槽21伸出至盒体13外侧与连接杆17铰接。
26.具体的，承载台4承重时，通过推拉杆5带动推动环15一同向下运动，随后推动环15推动套环14运动，套环14通过连接杆17拉动封闭滑板19运动，封闭滑板19沿着限位通槽21
进行滑动，于是封闭滑板19克服支撑弹簧16的张力回缩至腔体20中，当承载台4下降至行程尽头时，封闭滑板19不在对通孔18进行阻隔，此时排水口7通过通孔18与三通管2的进水口相连通，即封闭机构将排水口7打开，而当承载台4复位时，支撑弹簧16不再推动套环14，于是封闭滑板19在支撑弹簧16张力作用下将通孔18阻隔，即封闭机构将排水口7关闭。通过设置以上结构可使得装置自动在恰当的时候完成对排水口7的开启与关闭，而不需要额外进行控制，其提高了装置的自动化效果。
27.在本实施例中，如图1所示，清洗槽1底部设有与承载台4相匹配的容置槽22，复位组件包括设于容置槽22内的导向杆23和套设于导向杆23上的复位弹簧24，承载台4上设有与导向杆23相匹配的导向孔25，复位弹簧24支撑于承载台4和容置槽22之间。承载台4承重时，将逐渐下降至容置槽22中，而当料箱取走后，承载台4在复位弹簧24张力作用下从容置槽22中升起，为了避免复位弹簧24在使用过程中发生弯曲，设置有导向杆23，承载台4通过导向孔25沿着导向杆23进行上下运动。通过设置以上结构提高了承载台4上下运动时的稳定性，且避免了复位组件直接暴露在清洗槽1内，延长了部件的使用寿命。
28.在本实施例中，如图4所示，喷淋机构包括设于清洗槽1内侧的空心板26，空心板26上设有若干个喷嘴27，喷嘴27均匀排列于空心板26靠近承载台4的一侧，并且对准于斜下方，三通管2的第一出水口通过循环输送机构与空心板26相连通，在进行循环喷淋时，清洗液通过循环输送机构进入至空心板26，空心板26将清洗液分流至各个喷嘴27，喷嘴27对料箱进行喷淋，需要说明的是，喷嘴27高于清洗槽1进行清洗时的液面。通过设置以上结构可使料箱得到充分的喷淋。有助于提高晶圆的清洗效果。
29.实施例二：如图1和5所示，本实施例提供了一种槽式全自动清洗机用循环清洗装置，其与实施例一的不同之处在于，对快速换装组件做出了具体的说明。
30.快速换装组件包括箱体28和贯穿箱体28的换装板29，换装板29上设有两个过滤通槽30，过滤通槽30内安装有过滤管31和限位过滤管31的凸环32，滤芯8设于过滤管31内，换装板29的两端设有定位弧板33，箱体28的外壁两侧设有与定位弧板33相对应的弧形凹槽34。
31.具体的，当需要换装时，在位于箱体28外侧的过滤通槽30内放置装有滤芯8的过滤管31，过滤管31由于凸环32的限位可安装于过滤通槽30内侧，随后推动换装板29，使推动侧的定位弧板33与弧形凹槽34相合，此时限位凹槽38恰好移动至箱体28中心处，于是新的过滤管31就被推入至箱体28中，而旧的过滤管31则随着换装板29从箱体28另一侧被推出，此时将其取下，即完成了对滤芯8的换装。
32.作为本发明的一种实施例，为了避免过滤管31以及换装板29在使用过程随意移动，箱体28内于换装板29上下两侧还设有定位组件。定位组件包括定位环35、压紧弹簧36和用于驱动定位环35运动的驱动件；定位环35靠近换装板29的一侧设有限位凸台37，换装板29上设有与限位凸台37相匹配的限位凹槽38，压紧弹簧36支撑于定位环35与箱体28之间。
33.具体的，当限位凹槽38移动至滤芯8中心处后，松开驱动件，此时推拉杆5在压紧弹簧36张力作用下与换装板29保持贴合，同时使限位凸台37与限位凹槽38保持卡合，于是上方的限位凸台37与过滤管31顶部相贴合，使其被限位；进而，换装板29也将无法再移动。而需要再次进行换装时，通过驱动件使限位凸台37与限位凹槽38分离，即可进行。
34.如图3和5所示，为实现驱动定位环35运动的功能，本发明实施例提供的驱动件，具体的可以包含有拉环42和若干个驱动杆41，若干个所述驱动杆41的一端分别与定位环35远离换装板29的一侧固定连接，另一端分别与位于所述箱体28外侧的拉环42固定连接；若干个所述驱动杆41分别贯穿所述箱体28并与所述箱体28滑动连接。使用时，拉动箱体28上下两侧的拉环42，拉环42即可通过驱动杆41带动定位环35运动，其操作方便，便于使用。
35.为进一步提高定位环35运动的稳定性，定位环35远离换装板29的一侧设有定位凹槽39，箱体28内设有与定位凹槽39相对应的导向管40，压紧弹簧36活动套设于导向管40外侧；使用时，定位环35可沿着导向管40滑动。
36.与现有技术相比，本发明提供的循环输送机构包括有快速换装组件，快速换装组件可快速的完成对滤芯8的更换，使得在无需停运设备的状态下即可完成换装，其操作方便，更换效率高，应用价值高。
37.以上仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变形，这些改进和变形也应视为本发明的保护范围。