一种光学件用等离子清洗头和等离子体清洗设备

1.本发明涉及等离子清洗技术领域，具体涉及一种光学件用等离子清洗头和等离子体清洗设备。


背景技术：

2.相关技术中，现有等离子体清洗设备通常包括等离子体喷头，等离子体喷头上的喷流口与光学件呈相对设置，从喷流口喷射出的等离子体适于对光学件进行清洗，但是，等离子体在喷射口外的气流速度易出现急剧下降现象，易阻碍光学件对等离子体进行能量吸收，进而制约等离子体清洗光学件的性能。
3.发明中容
4.本发明针对现有技术中适于喷射等离子体的喷射口会对等离子体清洗光学件的性能构成制约的问题，提供一种光学件用等离子清洗头和等离子体清洗设备。
5.本发明一方面提供一种光学件用等离子清洗头，所述光学件用等离子清洗头包括呈中空的等离子体流通组件和安装在所述等离子体流通组件上的镜框；
6.所述等离子体流通组件上设有比适于喷射出等离子体的喷射口大且适于弥散出等离子体的出流口；
7.所述镜框与所述出流口连通且围绕在所述出流口外，以及，所述镜框适于镶嵌光学镜体，以使所述光学镜体与所述出流口呈相对设置。
8.上述技术方案的有益效果是：一方面，相比于在喷头上设置适于喷射出等离子体的喷射口，出流口兼备为等离子体扩大出流面积和分散化出流等离子体的性能，促使等离子体在等离子体流通组件内外均匀化气流速度，有助于缓解等离子体在等离子体流通组件外的气流速度出现急剧下降现象，另一方面，镜框兼备对等离子体流通组件与光学镜体进行空间方位固化、防阻碍出流口出流等离子体以及对等离子体从出流口流动至光学镜体的空间进行限定的性能，促使出流口与光学镜体呈相对静止状态，以防出流口与光学镜体呈相对运行状态，既提升了镜框的利用率，也提升了出流口与光学镜体之间的稳定性，有助于提升等离子体从出流口流动至光学镜体的分散性和稳定性，从而，有助于促进光学镜体对等离子体进行能量吸收，有助于提高等离子体对光学镜体进行大面积清洗的强度和效率，摆脱了喷射口对等离子体清洗光学件的性能构成制约的困境。
9.在上述技术方案的基础上，本发明还对光学件用等离子清洗头做出如下改进。
10.可选地，所述等离子体流通组件包括第一固定框和镶嵌在所述第一固定框中的无介质阻挡电极子组件；
11.所述第一固定框上开设有所述出流口，所述出流口位于所述无介质阻挡电极子组件的一侧；
12.所述镜框与所述第一固定框可拆卸式对接，所述光学镜体上设有待清洗镜面，所述待清洗镜面与所述出流口所在的平面平行且相对设置。
13.上述技术方案的有益效果是：借助第一固定框，促使无介质阻挡电极子组件对出
流口进行空间避让，相比于出流口分布在无介质阻挡电极子组件的正前方位，有助于在第一固定框中均匀化分布等离子体，有助于促进出流口均匀化出流等离子体，促使镜框可拆卸安装在等离子体流通组件上，便于对镜框与等离子体流通组件进行拆装。
14.相比于待清洗镜面封盖出流口，待清洗镜面与出流口呈间隔分布，扩展了从出流口到待清洗镜面的空间，有助于等离体子在出流口到待清洗镜面的空间中分散化流动，有助于促进等离体子较为均匀地对待清洗镜面进行清洗。
15.可选地，所述第一固定框上还设有第一凹槽，所述第一凹槽的槽口设为与所述出流口连通的第一槽口，所述第一槽口分布在所述第一固定框内侧，所述无介质阻挡电极子组件可拆卸式安装在所述第一凹槽中。
16.上述技术方案的有益效果是：借助第一凹槽，促使无介质阻挡电极子组件以可拆卸方式容置在第一固定框内部，既提高了第一固定框内部的空间利用率，也便于对第一固定框和无介质阻挡电极子组件进行拆装，有助于维护等离子体流通组件。
17.可选地，多组所述无介质阻挡电极子组件均匀排列在所述第一凹槽中。
18.上述技术方案的有益效果是：在第一凹槽中为多组无介质阻挡电极子组件均匀化分配空间，提升了第一凹槽的空间利用率，有助于均匀化电场。
19.可选地，所述第一凹槽的底部设为第一槽底部，所述无介质阻挡电极子组件包括绝缘槽体、让位螺钉、导电卡座、第一电极板、导电连接筒、第二电极板和绝缘钉；
20.所述绝缘槽体上设有第二凹槽，所述第二凹槽的槽口设为第二槽口，所述第二凹槽的底部设为第二槽底部；
21.所述绝缘槽体镶嵌在所述第一凹槽中，所述第二槽口所在的平面与所述第一槽口所在的平面重合；
22.所述让位螺钉穿插在所述绝缘槽体中，所述让位螺钉的钉尾与所述第一槽底部螺纹连接；
23.所述导电卡座、所述第一电极板、所述导电连接筒、所述第二电极板和所述绝缘钉均设置在所述第二凹槽中；
24.所述导电卡座镶嵌在所述第二槽底部和所述第一电极板中，所述第一电极板与所述第二电极板呈相对设置且形成有电极空间；
25.所述导电连接筒设置在所述电极空间中，所述导电连接筒的两端分别与所述第一电极板和所述第二电极板抵触；
26.所述绝缘钉依次穿插在所述第一电极板、所述导电连接筒和所述第二电极板中，所述绝缘钉的钉尾嵌入所述第二槽底部。
27.上述技术方案的有益效果是：相比于绝缘槽体的槽口暴露在第一凹槽外，绝缘槽体更好的契合于第一凹槽，以防第一凹槽过大，有助于窄型化或薄型化等离子体流通组件。
28.借助让位螺钉，促使绝缘槽体以可拆卸方式稳固在第一凹槽内部，绝缘槽体兼备遮掩让位螺钉和对让位螺钉与第二凹槽进行空间隔离的性能，促使让位螺钉在绝缘槽体中避让第二凹槽，以防让位螺钉完全暴露出第一凹槽和对第二凹槽产生结构干扰，提高了绝缘槽体的利用率。
29.在第二凹槽中，导电卡座兼备固定连接且电性连接第一电极板的性能，借助第一电极板与第二电极板共同构成的分层电极结构，在电极空间中稳固导电连接筒，导电连接
筒具备对第一电极板与第二电极板进行电性连接的性能，促使导电卡座依次通过第一电极板和导电连接筒与第二电极板稳定的双性连接，提高了导电卡座、第一电极板、导电连接筒和第二电极板的利用率，提高了电极空间的稳定性和第二凹槽的空间利用率，扩展了电极面积，有助于增强电场强度。
30.通过第一电极板、导电连接筒和第二电极板在电极空间中隐藏绝缘钉，相比于绝缘钉暴露在电极空间中，提高了绝缘钉的利用率，借助绝缘钉，以可拆卸方式对第一电极板、导电连接筒和第二电极板进行结构加固，简化了无介质阻挡电极子组件在绝缘槽体内部的固定方式，兼顾了无介质阻挡电极子组件在绝缘槽体内部的可拆装性和稳定性。
31.可选地，多个所述导电连接筒均匀排列在所述电极空间中；
32.所述绝缘钉的个数与所述导电连接筒的个数相等，各个所述绝缘钉分别穿插在对应的所述导电连接筒中。
33.上述技术方案的有益效果是：通过在电极空间中均匀化布设多个导电连接筒，保证了无介质阻挡电极子组件的导电均匀性，有助于提升放电均匀性，各个绝缘钉分别对位各个导电连接筒，提升了无介质阻挡电极子组件在绝缘槽体内部的稳固性。
34.可选地，所述等离子体流通组件还包括高频电压传导防护子组件和高频航插；
35.所述高频电压传导防护子组件穿插在所述第一凹槽中，所述高频电压传导防护子组件的两端分别为电压输出端和接入口端，所述电压输出端嵌入所述导电卡座，所述接入口端和所述高频航插均位于所述第一固定框外；
36.所述高频航插上分别设有电压输入部和与所述电压输入部电性连接的电压中转部，所述电压中转部嵌入所述接入口端中，所述电压中转部与所述电压输出端电性连接。
37.上述技术方案的有益效果是：借助高频电压传导防护子组件，促使在第一固定框外的高频航插与在第一固定框内的导电卡座固定连接且电性连接，提高了高频电压传导防护子组件和导电卡座的利用率，降低了在第一固定框外的高频航插与在第一固定框内的无介质阻挡电极子组件双性连接的难度，借助高频航插的可插拔性，为无介质阻挡电极子组件外接高频交流电源提供便利。
38.可选地，所述高频电压传导防护子组件包括第一绝缘套、真空密封圈、第二绝缘套、导电支柱、螺母和保护套；
39.所述第一绝缘套与所述第二绝缘套呈相对设置且与所述第二绝缘套之间形留有容纳空间，所述真空密封圈密封所述容纳空间，所述第一绝缘套和所述第二绝缘套均嵌入所述第一槽底部中；
40.所述导电支柱依次穿插在所述第一绝缘套、所述真空密封圈和所述第二绝缘套中，所述导电支柱上设有延伸至所述第一绝缘套外的所述电压输出端；
41.所述螺母镶嵌在所述保护套中，所述保护套嵌套在所述第二绝缘套外，所述保护套暴露在所述第一固定框外，所述保护套上设有所述接入口端；
42.所述电压中转部通过所述螺母与所述导电支柱接触。
43.上述技术方案的有益效果是：通过第一槽底部对第一绝缘套和第二绝缘套进行空间方位固化，促使第一槽底部与第一绝缘套、真空密封圈和第二绝缘套共同组成第一绝缘中空套件，提升了第一凹槽的空间利用率，提升了第一固定框与高频电压传导防护子组件之间的稳固性，第一绝缘中空套件具备对导电支柱进行电场阻隔的性能，有助于降低导电
支柱对无介质阻挡电极子组件产生电场干扰，导电支柱兼备固定连接和电性连接导电卡座的性能，提升了高频电压传导防护子组件与无介质阻挡电极子组件双性连接的便捷性。
44.通过保护套对螺母与第二绝缘套进行空间方位固化，促使保护套与螺母和第二绝缘套共同组成第二绝缘中空套件，保证了第二绝缘中空套件的稳定性，提升了保护套和第二绝缘套的利用率，相比于保护套嵌入第一固定框中，防止保护套在第一固定框中占用空间，有助于窄薄化第一固定框，通过螺母与接入口端相配合的方式对电压中转部与导电支柱进行空间方位固化，有助于提升高频航插与高频电压传导防护子组件双性对接的稳固性。
45.可选地，所述光学件用等离子清洗头还包括呈中空的卡箍组件；
46.所述卡箍组件安装在所述镜框上，且所述卡箍组件嵌套在所述光学镜体外围，所述光学镜体与所述镜框之间留有间隙，所述卡箍组件适于密封所述间隙。
47.上述技术方案的有益效果是：借助卡箍组件，既对镜框和光学镜体进行加固，也防护光学镜体，兼顾了镜框与光学镜体之间的稳固性和气密性。
48.可选地，所述卡箍组件包括第二固定框和安装在所述第二固定框上的的柔性垫圈；
49.所述第二固定框与所述镜框可拆卸式对接，且所述柔性垫圈围绕在所述第二固定框、所述镜框和所述光学镜体之间，以及，所述柔性垫圈密封所述间隙。
50.上述技术方案的有益效果是：通过第二固定框对柔性垫圈与镜框和光学镜体进行空间方位固化，提升了第二固定框的利用率，提升了卡箍组件与镜框之间的稳固性。
51.可选地，所述柔性垫圈可拆卸式安装在所述第二固定框上。
52.上述技术方案的有益效果是：便于拆装卡箍组件，兼顾了卡箍组件的可拆装性和稳固性。
53.本发明另一方面提供一种等离子体清洗设备，包括如第一方面所述的光学件用等离子清洗头。
54.上述技术方案的有益效果是：在光学件用等离子清洗头中，一方面，相比于适于喷射出等离子体的喷射口，出流口兼备为等离子体扩大出流面积和分散化出流等离子体的性能，促使等离子体在等离子体流通组件内外均匀化气流速度，有助于缓解等离子体在等离子体流通组件外的气流速度出现急剧下降现象，另一方面，镜框兼备对等离子体流通组件与光学镜体进行空间方位固化、防阻碍出流口出流等离子体以及对等离子体从出流口流动至光学镜体的空间进行限定的性能，促使出流口与光学镜体呈相对静止状态，以防出流口与光学镜体呈相对运行状态，既提升了镜框的利用率，也提升了出流口与光学镜体之间的稳定性，有助于提升等离子体从出流口流动至光学镜体的分散性和稳定性，从而，有助于促进光学镜体对等离子体进行能量吸收，有助于提高等离子体对光学镜体进行大面积清洗的强度和效率，摆脱了喷射口对等离子体清洗光学件的性能构成制约的困境。
附图说明
55.图1为现有技术中的等离子体清洗设备处于整装状态的结构示意图；
56.图2为图1中的等离子体喷枪的剖面示意图；
57.图3为本发明实施例的一种光学件用等离子清洗头处于拆分状态的结构示意图；
58.图4为图3中的等离子体流通组件处于整装状态的结构示意图；
59.图5为图4中的无介质阻挡电极子组件处于拆分状态的结构示意图；
60.图6为图5中的导电卡座的示意图；
61.图7为图5中的导电连接筒的示意图；
62.图8为本发明实施例提供的一种高频电压传导防护子组件与高频航插呈拆分状态的结构示意图；
63.图9为本发明实施例的另一种等离子体流通组件处于整装状态的局部剖面示意图；
64.图10为图9中的a处的剖面示意图；
65.图11为本发明实施例的另一种等离子体流通组件处于整装状态的结构示意图；
66.图12为本发明实施例的另一种等离子体流通组件处于整装状态的结构示意图；
67.图13为本发明实施例的另一种光学件用等离子清洗头处于拆分状态的结构示意图；
68.图14为图13中的b处的结构示意图；
69.图15为本发明实施例的一种等离子体清洗设备处于整装状态的结构示意图；
70.图16为图15中的光学件用等离子清洗头处于整装状态的结构示意图处于整装状态的结构示意图。
71.附图标记说明：
72.1'-供气装置，2'-气体控制装置，3'-高压射频发生装置，4'-柔性管，5'-等离子体喷枪，6'-光学件，1-光学件用等离子清洗头，2-光学镜体，3-真空腔组件；
73.11-等离子体流通组件，12-镜框，13-卡箍组件，14-转接组件，51'-射频电极，52'-绝缘筒，53'-喷头；
74.111-第一固定框，112-无介质阻挡电极子组件，113-高频电压传导防护子组件，114-高频航插，131-第二固定框，132-柔性垫圈，531'-气道，532'-喷射口；
75.1111-出流口，1121-绝缘槽体，1122-让位螺钉，1123-导电卡座，1124-第一电极板，1125-导电连接筒，1126-第二电极板，1127-绝缘钉，1131-第一绝缘套，1132-真空密封圈，1133-第二绝缘套，1134-导电支柱，1135-螺母，1136-保护套。
具体实施方式
76.为使本发明的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施例做详细的说明。
77.参见图1，示出了现有技术中的一种等离子体清洗设备，包括供气装置1'、气体控制装置2'、高压射频发生装置3'、柔性管4'和等离子体喷枪5'，高压射频发生装置3'内置在气体控制装置2'中，气体控制装置2'与供气装置1'连通，以使供气装置1'为气体控制装置2'提供工作气体。
78.在柔性管4'中设置有射频电缆和输气通道，参见图2，示出了图1中的离子喷枪5'的剖面结构，包括射频电极51'、呈中空的绝缘筒52'和呈中空的喷头53'，射频电极51'穿插在绝缘筒52'中，射频电极51'和绝缘筒52'均内置在喷头53'中，射频电极51'通过前述射频电缆与高压射频发生装置1'电性连接，以使高压射频发生装置1'为高频电极51'提供高压，
喷头53'接地且其体壁上开设有气道531'，该气道531'与穿插在喷头53'的一开口端中的输气通道连通，以使上述工作气体经过输气通道被输送至气道531'中，在射频电极51'被施加高压的过程中，射频电极51'对从气道531'流出的工作气体进行电离，形成电弧放电，进而，产生等离子体。
79.喷头53'的另一开口端开设有喷射口532'，喷射口532'分布在射频电极51'的正前方位，喷射口532'朝向光学件6'且与光学件6'之间设有较大的间距，以便喷射口532'将具有较高温度属性的前述等离子体喷涂至光学件6'上，光学件6'因对前述等离子体中的活性粒子进行能量吸收而产生温度梯度，减小污染物的热应力，从而，减小污染物在光学件6'上的吸附力，让一些污染物脱离光学件6'，实现等离子体清洗光学件6'。
80.由于喷射口532'对等离子体集中化喷射，等离子体在喷射口532'外的气流速度出现急剧下降现象，从而，阻碍了光学件6'对等离子体进行能量吸收，会制约等离子体清洗光学件6'的性能，为了克服该技术缺陷，本发明实施例提供了光学件用等离子清洗头及等离子体清洗设备。
81.参见图3，示出了本发明实施例的光学件用等离子清洗头的拆分结构,光学件用等离子清洗头包括等离子体流通组件11和镜框12，等离子体流通组件11呈中空，镜框12安装在等离子体流通组件11上，例如，等离子体流通组件11的形状与镜框12的形状相同，镜框12为呈正方体的绝缘框。
82.等离子体流通组件11上设有比适于喷射出等离子体的喷射口532'大的出流口1111，出流口1111适于弥散出等离子体，出流口1111兼备为等离子体扩大出流面积和分散化出流等离子体的性能，促使等离子体在等离子体流通组件11内外均匀化气流速度，有助于缓解等离子体在等离子体流通组件11外的气流速度出现急剧下降现象。
83.示例性地，喷射口532'呈圆形，出流口1111呈正方形，出流口1111中的对角线的长度大于喷射口532'中的直径的长度，如此，出流口1111比喷射口532'大，例如，出流口1111中的对角线的长度设置为厘米级，喷射口532'中的直径的长度设置为毫米级。
84.镜框12与出流口1111连通且围绕在出流口1111外，以及，镜框12适于镶嵌光学镜体2，以使光学镜体2与出流口1111呈相对设置，镜框12兼备对等离子体流通组件11与光学镜体2进行空间方位固化、防阻碍出流口1111出流等离子体以及对等离子体从出流口1111流动至光学镜体2的空间进行限定的性能，促使出流口1111与光学镜体2呈相对静止状态，以防出流口1111与光学镜体2呈相对运行状态，既提升了镜框12的利用率，也提升了出流口1111与光学镜体2之间的稳定性，例如，光学镜体2为呈正方体的铜镜或者玻璃镜片，光学镜体2封盖出流口1111。
85.需要说明的是，区别于喷射口532'集中化喷射等离子体的方式，出流口1111弥散出等离子体的方式，适于等离子体从出流口1111中分散化流出；出流口1111与光学镜体2呈相对静止状态，是指光学镜体2相对于出流口1111的空间方位保持不变的状态；出流口1111与光学镜体2呈相对运行状态，是指光学镜体2相对于出流口1111的空间方位发生改变的状态。
86.可选地，参见图4，等离子体流通组件11包括呈中空的第一固定框111和镶嵌在第一固定框111中的无介质阻挡电极子组件112，第一固定框111上开设有出流口1111，出流口1111位于无介质阻挡电极子组件112的一侧，借助第一固定框111，促使无介质阻挡电极子
组件112对出流口1111进行空间避让，相比于出流口1111分布在无介质阻挡电极子组件112的正前方位，有助于在第一固定框111中均匀化分布等离子体，有助于促进出流口1111均匀化出流等离子体，例如，第一固定框111为呈正方体的导电框或者绝缘框。
87.镜框12与第一固定框111可拆卸式对接，促使镜框12可拆卸安装在等离子体流通组件11上，便于对镜框12与等离子体流通组件11进行拆装，例如，通过呈间隔分布的多个第一固定件对镜框12与第一固定框111进行卡位连接或者螺纹连接。
88.光学镜体2上设有待清洗镜面，待清洗镜面与出流口1111所在的平面平行且相对设置，使待清洗镜面与出流口1111呈间隔分布，相比于待清洗镜面封盖出流口1111，扩展了从出流口1111到待清洗镜面的空间，有助于等离体子在从出流口1111到待清洗镜面的空间中分散化流动，有助于促进等离体子较为均匀地对待清洗镜面进行清洗，例如，光学镜体2为呈正方体的透光镜片，在透光镜片上且面向出流口1111的一面为待清洗镜面，该待清洗镜面与出流口1111所在的平面平行且与出流口1111所在的平面之间留有垂直间距。
89.可选地，参见图4，第一固定框111上还设有第一凹槽，第一凹槽的底部设为第一槽底部，第一凹槽的槽口设为与出流口1111连通的第一槽口，第一槽口分布在第一固定框111内侧，无介质阻挡电极子组件112可拆卸式安装在第一凹槽中，借助第一凹槽，促使无介质阻挡电极子组件112以可拆卸方式容置在第一固定框111内部，既提高了第一固定框111内部的空间利用率，也便于对第一固定框111和无介质阻挡电极子组件112进行拆装，有助于维护等离子体流通组件11，例如，第一固定框包括相互平行的第一侧壁和第二侧壁，第一侧壁上开设有槽口朝向第二侧壁的第一凹槽。
90.可选地，参见图5、图6、图7、图9和图10，无介质阻挡电极子组件112包括绝缘槽体1121、让位螺钉1122、导电卡座1123、第一电极板1124、导电连接筒1125、第二电极板1126和绝缘钉1127。
91.绝缘槽体1121上设有第二凹槽，第二凹槽的底部设为第二槽底部，第二凹槽的槽口设为第二槽口，绝缘槽体1121镶嵌在第一凹槽中，第二槽口所在的平面与第一槽口所在的平面重合，相比于绝缘槽体1121的槽口暴露在第一凹槽外，绝缘槽体1121更好的契合于第一凹槽，以防第一凹槽过大，有助于窄型化或薄型化等离子体流通组件11。
92.让位螺钉1122穿插在绝缘槽体1121的本体中，让位螺钉1122的钉尾与第一槽底部螺纹连接，借助让位螺钉1122，促使绝缘槽体1121以可拆卸方式稳固在第一凹槽内部，绝缘槽体1121的本体兼备遮掩让位螺钉1122和对让位螺钉1122与第二凹槽进行空间隔离的性能，促使让位螺钉1122在绝缘槽体1121中避让第二凹槽，以防让位螺钉1122完全暴露出第一凹槽和对第二凹槽产生结构干扰，提高了绝缘槽体1121的利用率。
93.可选地，至少两个让位螺钉1122均匀排列在绝缘槽体1121的本体中，以加固绝缘槽体1121，例如，八个让位螺钉1122呈二维阵列排列在绝缘槽体1121的本体中，该二维阵列为两行四列的阵列，其中，行间距和列间距均固定不变，行间距小于列间距。
94.导电卡座1123、第一电极板1124、导电连接筒1125、第二电极板1126和绝缘钉1127均设置在第二凹槽中，其中，导电卡座1123镶嵌在第二槽底部和第一电极板1124中，第一电极板1124与第二电极板1126呈相对设置且形成有电极空间，导电连接筒1125设置在电极空间中，导电连接筒1125的两端分别与第一电极板1124和第二电极板1126抵触。
95.在第二凹槽中，导电卡座1123兼备固定连接且电性连接第一电极板1124的性能，
借助第一电极板1124与第二电极板1126共同构成的分层电极结构，在电极空间中稳固导电连接筒1125，导电连接筒1125具备对第一电极板1124与第二电极板1126进行电性连接的性能，促使导电卡座1123依次通过第一电极板1124和导电连接筒1125与第二电极板1126稳定的双性连接，提高了导电卡座1123、第一电极板1124、导电连接筒1125和第二电极板1126的利用率，提高了电极空间的稳定性和第二凹槽的空间利用率，扩展了电极面积，有助于增强电场强度。
96.绝缘钉1127依次穿插在第一电极板1124、导电连接筒1125和第二电极板1126中，绝缘钉1127的钉尾嵌入第二槽底部，例如，绝缘钉1127分别为塑料螺钉，塑胶螺钉的钉尾插入第二槽底部且与第二槽底部螺纹连接。
97.通过第一电极板1124、导电连接筒1125和第二电极板1126在电极空间中隐藏绝缘钉1127，相比于绝缘钉1127暴露在电极空间中，提高了绝缘钉1127的利用率，借助绝缘钉1127，以可拆卸方式对第一电极板1124、导电连接筒1125和第二电极板1126进行结构加固，简化了无介质阻挡电极子组件112在绝缘槽体2内部的固定方式，兼顾了无介质阻挡电极子组件112在绝缘槽体2内部的可拆装性和稳固性。
98.可选地，导电卡座1123为去尖端导电座，去尖端导电座上无曲率半径很小的尖端，促使去尖端导电座具备防尖端发电属性，以防在去尖端导电座附近引发正极性电晕或者负极性电晕，摆脱了利用绝缘介质阻挡层抑制因尖端引发电弧光的困境，例如，去尖端导电座为采用经过削磨和抛光等工艺处理后的光滑金属腔体。
99.可选地，第一电极板1124为带有多个定位孔的第一去尖端电极板，第一去尖端电极板上无曲率半径很小的尖端，促使第一去尖端电极板具备防尖端发电属性，以防在第一去尖端电极板附近引发正极性电晕或者负极性电晕，摆脱了利用绝缘介质阻挡层抑制因尖端引发电弧光的困境，例如，第一去尖端电极板为采用经过削磨和抛光等工艺处理后的光滑铝合金板，导电卡座1123和绝缘钉1127分别嵌入对应的定位孔中，以便导电卡座1123镶嵌在第一去尖端电极板中和绝缘钉1127穿插在第一去尖端电极板中。
100.可选地，导电连接筒1125为呈中空的去尖端导电筒，去尖端导电筒上无曲率半径很小的尖端，促使去尖端导电筒具备防尖端发电属性，以防在去尖端导电筒附近引发正极性电晕或者负极性电晕，摆脱了利用绝缘介质阻挡层抑制因尖端引发电弧光的困境，例如，去尖端导电筒为采用经过削磨和抛光等工艺处理后的光滑铜筒。
101.可选地，多个导电连接筒1125均匀排列在电极空间中，通过在电极空间中均匀化布设多个导电连接筒1125，保证了无介质阻挡电极子组件112的导电均匀性，有助于提升放电均匀性，例如，六个导电连接筒1125呈一维阵列且等间距排列在电极空间中。
102.可选地，第二电极板1126为呈网状的第二去尖端电极板，第二去尖端电极板的孔密度大于第一去尖端电极板的孔密度，第二去尖端电极板上无曲率半径很小的尖端，促使第二去尖端电极板具备防尖端发电属性，以防在第二去尖端电极板附近引发正极性电晕或者负极性电晕，摆脱了利用绝缘介质阻挡层抑制因尖端引发电弧光的困境，例如，第二去尖端电极板为采用经过削磨和抛光等工艺处理后的光滑铝合金板。
103.可选地，绝缘钉1127的个数与导电连接筒1125的个数相等，各个绝缘钉1127分别穿插在对应的导电连接筒1125中，各个绝缘钉1127分别对位各个导电连接筒1125，提升了无介质阻挡电极子组件112在绝缘槽体1121内部的稳固性，例如，绝缘钉1127的个数为六
个。
104.可选地，参见图8、图9和图10，等离子体流通组件11还包括高频电压传导防护子组件113和高频航插114。
105.高频电压传导防护子组件113穿插在第一凹槽中，高频电压传导防护子组件113的两端分别设为电压输出端和接入口端，电压输出端嵌入导电卡座1123，接入口端和高频航插114均位于第一固定框111外，高频航插114上分别设有电压输入部和与电压输入部电性连接的电压中转部，电压中转部嵌入接入口端中，电压中转部与电压输出端电性连接。
106.借助高频电压传导防护子组件113，促使在第一固定框111外的高频航插114与在第一固定框111内的导电卡座1123固定连接且电性连接，提高了高频电压传导防护子组件113和导电卡座1123的利用率，便于在第一固定框111外的高频航插114与在第一固定框111内的无介质阻挡电极子组件112双性连接，借助高频航插114的可插拔性，为无介质阻挡电极子组件112外接高频交流电源提供便利。
107.可选地，参见图8、图9和图10，高频电压传导防护子组件113包括第一绝缘套1131、真空密封圈1132、第二绝缘套1133、导电支柱1134、螺母1135和保护套1136。
108.第一绝缘套1131与第二绝缘套1133呈相对设置且与第二绝缘套1133之间留有容纳空间，真空密封圈1132嵌入在容纳空间中且密封该容纳空间，第一绝缘套1131和第二绝缘套1133均嵌入第一槽底部中，导电支柱1134依次穿插在第一绝缘套1131、真空密封圈1132和第二绝缘套1133中，导电支柱1134上设有延伸至第一绝缘套1131外的电压输出端，该电压输出端可拆卸式插入导电卡座1123中。
109.通过第一槽底部对第一绝缘套1131和第二绝缘套1133进行空间方位固化，促使第一槽底部与第一绝缘套1131、真空密封圈1132和第二绝缘套1133共同组成第一绝缘中空套件，提升了第一凹槽的空间利用率，提升了第一固定框111与高频电压传导防护子组件113之间的稳固性，第一绝缘中空套件具备对导电支柱1134进行电场阻隔的性能，有助于降低导电支柱1134对无介质阻挡电极子组件112产生电场干扰，导电支柱1134兼备固定连接和电性连接导电卡座1123的性能，提升了高频电压传导防护子组件113与无介质阻挡电极子组件112双性连接的便捷性。
110.螺母1135镶嵌在保护套1136中，保护套1136嵌套在第二绝缘套1133外，通过保护套1136对螺母1135与第二绝缘套1133进行空间方位固化，促使保护套1136与螺母1135和第二绝缘套1133共同组成第二绝缘中空套件，保证了第二绝缘中空套件的稳定性，提升了保护套1136和第二绝缘套1133的利用率，相比于保护套1136嵌入第一固定框111中，保护套1136暴露在第一固定框111外，防止保护套1136在第一固定框111中占用空间，有助于窄薄化第一固定框111，例如，螺母1135为采用金属制成的导电螺母或者采用塑胶制成的绝缘螺母，保护套1136为呈中空的绝缘筒。
111.保护套1136上设有接入口端，电压中转部依次镶嵌在接入口端、螺母1135和导电支柱1134中，促使电压中转部在从接入口端穿过螺母1135后与导电支柱1134双性连接，如此，通过螺母1135与接入口端相配合的方式对电压中转部与导电支柱1134进行空间方位固化，有助于提升高频航插114与高频电压传导防护子组件113双性对接的稳固性。
112.可选地，导电支柱1134上设有置于第一绝缘套1131中的腔体部，螺母1135为两个，两个螺母1135呈相对设置且形成呈中空的双螺母结构，双螺母结构置于腔体部上且与腔体
部连通，电压中转部可插拔式镶嵌在双螺母结构和腔体部中。
113.可选地，多组无介质阻挡电极子组件112均匀排列在第一凹槽中，在第一凹槽中为多组无介质阻挡电极子组件112均匀化分配空间，提升了第一凹槽的空间利用率，有助于均匀化电场，例如，三组无介质阻挡电极子组件112呈正三角形排列在第一凹槽中，第一凹槽呈正三角形。
114.可选地，参见图11，无介质阻挡电极子组件112为两组，两组无介质阻挡电极子组件112呈中心对称性排列在两个第一凹槽中。
115.可选地，参见图12，无介质阻挡电极子组件112为四组，四组无介质阻挡电极子组件112呈正方形排列在呈环形的第一凹槽中。
116.可选地，参见图13，光学件用等离子清洗头还包括呈中空的卡箍组件13，卡箍组件13安装在镜框12上，且卡箍组件13嵌套在光学镜体2外围，光学镜体2与镜框12之间留有间隙，卡箍组件13适于密封前述间隙，借助卡箍组件13，既对镜框12和光学镜体2进行加固，也防护光学镜体2，兼顾了镜框12与光学镜体2之间的稳固性和气密性。
117.可选地，参见图14，卡箍组件13包括第二固定框131和安装在第二固定框131上的柔性垫圈132。
118.参见图13及图14，第二固定框131与镜框12可拆卸式对接，且柔性垫圈132围绕在第二固定框131、镜框12和光学镜体2之间，以及，柔性垫圈132密封光学镜体2与镜框12之间的间隙，通过第二固定框131对柔性垫圈132与镜框12和光学镜体2进行空间方位固化，提升了第二固定框131的利用率，提升了卡箍组件13与镜框12之间的稳固性，例如，柔性垫圈132为塑胶圈。
119.可选地，柔性垫圈132可拆卸式安装在第二固定框131上，便于拆装卡箍组件13，兼顾了卡箍组件13的可拆装性和稳固性，有助于更好地维护卡箍组件13，例如，通过呈间隔分布的多个第二固定件对第二固定框131与柔性垫圈132进行卡位连接或者螺纹连接。
120.参见图15，本发明实施例的一种等离子体清洗设备的组装结构，包括真空腔组件3和以上所述的光学件用等离子清洗头1，光学件用等离子清洗头1呈真空腔体且安装在真空腔组件3上，真空腔组件3适于与光学件用等离子清洗头1连通且通过光学件用等离子清洗头1与光学镜体2合围形成真空室，真空腔组件3接地。
121.可选地，参见图16，光学件用等离子清洗头1包括等离子体流通组件11、镜框12、卡箍组件13和转接组件14，转接组件14的两开口端分别与等离子体流通组件11和真空腔组件3可拆卸式对接，转接组件14适于对等离子体流通组件11和真空腔组件3进行连通，相比于等离子体流通组件11直接与真空腔组件3连通，促使光学件用等离子清洗头1扩展了真空空间，光学件用等离子清洗头1适于与真空腔组件3和光学镜体2合围形成真空室，例如，转接组件14为呈中空的绝缘框。
122.可选地，高频交流电源分别与等离子体流通组件11的高频航插114和真空腔组件3电性连接，以使第一电极板和第二电极板均呈阳极性，以使真空腔组件3呈阴极性，在两极之间的放电空间中，形成辉光放电，产生等离子体，等离子体在真空室内逐渐弥散开，分别对光学镜体2的表面和真空腔组件3的内壁进行大面积清洗，大大提高了等离子体的清洗效率。
123.本发明提供的光学件用等离子清洗头和等离子体清洗设备，在等离子体从出流口
1111流动至光学镜体2的过程中，提升了等离子体的分散性和稳定性，有助于促进光学镜体2对等离子体进行能量吸收，有助于促进等离子体对光学镜体2进行表面改性，有助于提高等离子体对光学镜体2进行大面积清洗的强度和效率，摆脱了喷射口532'对等离子体清洗光学件的性能构成制约的困境。
124.本说明书描述的“第一”、“第二”和“第三”等术语，仅用于区分装置/组件/子组件/部件等，不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量，由此，限定有如“第一”、“第二”和“第三”等的特征可以明示或者隐含地表示包括至少一个该特征，除非另有明确具体的限定，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
125.本说明书描述的“方面”、“可选地”和“例如”等术语，意指结合该实施例或实施方式描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示实施方式中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实施方式，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或实施方式以合适的方式结合。
126.为了简要描述及便于理解本发明，本说明书附图中设置有xyz坐标系，其中，x轴所在图中的方向代表本发明实施例中被指定描述的装置/部件的长度方向，y轴所在图中的方向代表本发明实施例中被指定描述的装置/部件的宽度方向，z轴所在图中的方向代表本发明实施例中被指定描述的装置/部件的厚度方向，xyz坐标系不构成对具体结构的限定，仅仅基于附图中的位置而言，在本说明书的实施例中描述的方向或位置关系是基于附图的位置关系，不是暗示或者暗示所指的装置或元件必须具有的特定的方位，不能理解为对本发明的限制。
127.虽然本公开披露如上，但本公开的保护范围并非仅限于此。本领域技术人员，在不脱离本公开的精神和范围的前提下，可进行各种变更与修改，这些变更与修改均将落入本发明的保护范围。