一种电子化学品内衬设备的清洗装置及清洗方法与流程

1.本发明涉及一种电子化学品内衬设备的清洗装置及清洗方法。


背景技术：

2.内衬设备材料一般为高纯塑料，内衬设备在承装高纯化学品前，需要进行清洗，以去除内衬材料析出的杂质。
3.现有技术中例如公告号为cn211587854u的中国专利公开了一种高纯电子级化学品包装桶用清洗装置，包括底板，所述底板顶部的左右两侧均固定连接有支撑块，左侧所述支撑块的顶部固定连接有放置块，所述放置块的底部固定连接有液压箱，所述液压箱底部的左右两侧均固定连接有液压管，所述放置块的底部固定连接有第一伸缩推杆，所述第一伸缩推杆的底部固定连接有连接块，所述连接块的正面固定连接有伺服电机。该高纯电子级化学品包装桶用清洗装置，通过设置第一伸缩推杆，使连接板可以全方位无死角的清理所有位置，通过设置第二伸缩推杆，在第二伸缩推杆的伸缩作用下，改变硬质刷毛与储蓄箱的接触力度，增强了清洗装置的清洗效果。
4.但是上述方案在清洗电子化学品内衬设备的过程中，用于喷射清洗液的液压管不能旋转，清洗液不能充分与电子化学品内衬设备的内壁接触，影响清洗的效率与质量，鉴于此，本发明提出了一种电子化学品内衬设备的清洗装置及清洗方法，以解决上述问题。


技术实现要素：

5.本发明的目的在于提供一种电子化学品内衬设备的清洗装置及清洗方法，以解决上述背景技术中提出的问题。
6.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种电子化学品内衬设备的清洗装置，包括：底板；所述底板上设置有安装板；所述安装板上设置有固定板；活动杆，设于所述固定板上；所述活动杆内腔中空；所述活动杆与固定板螺纹配合；所述活动杆上设置有喷射头；限位架，设于所述固定板上；所述限位架与活动杆连接；驱动机构，设于所述限位架上；所述驱动机构与活动杆配合，使得活动杆在固定板上移动；其中，所述喷射头与活动杆同轴设置；其中，所述喷射头以活动杆轴心为旋转轴，进行旋转。
7.作为上述技术方案的改进，所述活动杆上设置有旋转密封接头，所述旋转密封接头上设置有三通接头；所述底板上设置有第一箱体、第二箱体，所述第一箱体上设置有第一管路，所述第二箱体上设置有第二管路，所述第一管路、第二管路均与三通接头连接。
8.作为上述技术方案的改进，所述固定板设置有螺纹套、限位套，所述固定板上还设
置有连接板，所述连接板与安装板通过螺栓连接。
9.作为上述技术方案的改进，所述活动杆设置有螺纹部，所述螺纹部与螺纹套螺纹连接，所述限位架滑动设置在限位套中。
10.作为上述技术方案的改进，所述限位架上对称设置有两组活动套，所述活动套转动套设在活动杆的外壁上，两组所述活动套对称设置在固定板的两侧。
11.作为上述技术方案的改进，所述活动套上设置有安装壳体，所述安装壳体朝向喷射头方向设置，所述安装壳体上均匀开设有多组出气孔，所述安装壳体上连接有进气管道，所述进气管道设置在限位架中。
12.作为上述技术方案的改进，所述驱动机构包括伺服电机，所述伺服电机设置在限位架上，所述活动杆的套设有第一齿轮，所述伺服电机上设置有第二齿轮，所述第二齿轮与第一齿轮啮合。
13.作为上述技术方案的改进，所述喷射头为球体状，所述喷射头设置有喷射腔，所述活动杆内腔连通，所述喷射头还贯穿设置有喷射孔。
14.作为上述技术方案的改进，所述喷射孔轴心与活动杆轴心之间设置有夹角α，夹角α≤45
°
。
15.一种电子化学品内衬设备的清洗装置的清洗方法， 包括以下步骤：s1、内衬设备放置：将需要清洗的电子化学品内衬设备置于安装板旁，并使得喷射头伸入至电子化学品内衬设备内部；s2、清洗测试：将第一箱体、第二箱体中注满清洗液，分别打开两组阀门，在第一管路与活动杆内腔连通时，第一箱体中高压水泵将清洗液导入至喷射头中，在第二管路与活动杆内腔连通时，第二箱体中高压水泵将清洗液导入至喷射头中；s3、阻隔测试：高压气泵运作，将高压气体通过进气管道进入至安装壳体中，并从出气孔导出，在喷射头上方形成圆状的空气屏蔽层；s4、驱动清洗：第一箱体中清洗液导入至喷射头中，同时驱动机构带动活动杆进行旋转，活动杆的螺纹部在螺纹套内转动，并在限位架与限位套之间的配合，使得喷射头在旋转的过程中下降，对电子化学品内衬设备内壁清洗；s5、供气阻隔：重复s、阻隔测试，并且高压气泵持续运作，使得空气屏蔽层随着喷射头移动而移动；s6、污水处理：当喷射头与电子化学品内衬设备底部接触后，高压水泵反转，使得电子化学品内衬设备内的污水依次通过喷射头、活动杆、第一管路进入至第一箱体中；s7、重复清洗：第二箱体中清洗液导入至喷射头中，同时驱动机构带动活动杆进行旋转，活动杆的螺纹部在螺纹套内转动，并在限位架与限位套之间的配合，使得喷射头在旋转的过程中
下降，对电子化学品内衬设备内壁再次清洗，并且重复s5、供气阻隔、s6、污水处理。
16.与现有技术相比，本发明的有益效果是：在对电子化学品内衬设备进行清洗时，将需要清洗的电子化学品内衬设备置于安装板旁，并使得喷射头伸入至电子化学品内衬设备内部；同时清洗液通过活动杆导入至喷射头中，并且驱动机构带动活动杆在固定板上移动，使得喷射头在旋转的过程中下降，对电子化学品内衬设备内壁清洗；通过上述设置的活动杆与固定板之间的配合，在驱动机构带动活动杆进行旋转时，能带动喷射头沿着活动杆轴心进行升降，同时由于喷射头随着活动杆升降而升降，能使得喷射头在旋转的过程中进行升降，当喷射头在电子化学品内衬设备内行进时，对电子化学品内衬设备内部不同位置起到清洗作用，提高了清洗的效率与质量；通过上述设置的活动杆与固定板之间的配合，在驱动机构带动活动杆进行旋转时，由于喷射头行进距离可以控制，能针对不同深度的电子化学品内衬设备进行清洗，提高了清洗的多样性；通过上述设置的活动杆与固定板之间的配合，在驱动机构带动活动杆进行旋转时，可以带动喷射头进行往复运动，以便对特定的区域进行往复清洗。
附图说明
17.图1为本发明结构示意图；图2为本发明图1中a处的放大结构示意图；图3为本发明活动杆、限位架的结构示意图；图4为本发明图3中b处的放大结构示意图；图5为本发明图3中c处的放大结构示意图；图6为本发明固定板的结构示意图；图7为本发明喷射头的结构示意图。
18.图中：10、底板；11、安装板；20、第一箱体；21、第一管路；30、第二箱体；31、第二管路；40、限位架；41、活动套；42、安装壳体；43、出气孔；50、固定板；51、连接板；52、螺纹套；53、限位套；60、活动杆；61、旋转密封接头；62、三通接头；621、阀门；63、螺纹部；70、喷射头；71、喷射孔；72、喷射腔；80、进气管道；90、驱动机构；91、第一齿轮；92、第二齿轮；93、伺服电机。
具体实施方式
19.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
20.实施例：如图1-7所示，本实施例提出了一种电子化学品内衬设备的清洗装置，包括：底板10；所述底板10上设置有安装板11；所述安装板11上设置有固定板50；活动杆60，设于所述固定板50上；所述活动杆60内腔中空；所述活动杆60与固定板
50螺纹配合；所述活动杆60上设置有喷射头70；限位架40，设于所述固定板50上；所述限位架40与活动杆60连接；驱动机构90，设于所述限位架40上；所述驱动机构90与活动杆60配合，使得活动杆60在固定板50上移动；其中，所述喷射头70与活动杆60同轴设置；其中，所述喷射头70以活动杆60轴心为旋转轴，进行旋转。
21.本实施例中，在对电子化学品内衬设备进行清洗时，将需要清洗的电子化学品内衬设备置于安装板11旁，并使得喷射头70伸入至电子化学品内衬设备内部；同时清洗液通过活动杆60导入至喷射头70中，并且驱动机构90带动活动杆60在固定板50上移动，使得喷射头70在旋转的过程中下降，对电子化学品内衬设备内壁清洗；通过上述设置的活动杆60与固定板50之间的配合，在驱动机构90带动活动杆60进行旋转时，能带动喷射头70沿着活动杆60轴心进行升降，同时由于喷射头70随着活动杆60升降而升降，能使得喷射头70在旋转的过程中进行升降，当喷射头70在电子化学品内衬设备内行进时，对电子化学品内衬设备内部不同位置起到清洗作用，提高了清洗的效率与质量；通过上述设置的活动杆60与固定板50之间的配合，在驱动机构90带动活动杆60进行旋转时，由于喷射头70行进距离可以控制，能针对不同深度的电子化学品内衬设备进行清洗，提高了清洗的多样性；通过上述设置的活动杆60与固定板50之间的配合，在驱动机构90带动活动杆60进行旋转时，可以带动喷射头70进行往复运动，以便对特定的区域进行往复清洗。
22.具体的，所述活动杆60上设置有旋转密封接头61，所述旋转密封接头61上设置有三通接头62；所述底板10上设置有第一箱体20、第二箱体30，所述第一箱体20上设置有第一管路21，所述第二箱体30上设置有第二管路31，所述第一管路21、第二管路31均与三通接头62连接。
23.本案中，第一箱体20、第二箱体30均设置有高压水泵，两组高压水泵分别与第一管路21、第二管路31连接，且高压水泵可正反转，此高压水泵为现有技术在此不做详细陈述。
24.本实施例中，第一箱体20中的清洗液为：氢氟酸、硝酸、双氧水中的一种，并通过加入纯水对其稀释至5%以下，具体按照清洗何种电子化学品内衬设备进行设置；第二箱体30中的清洗液为：纯水。
25.具体的，所述固定板50设置有螺纹套52、限位套53，所述固定板50上还设置有连接板51，所述连接板51与安装板11通过螺栓连接；以便于固定板50进行拆卸，便于后期维护。
26.具体的，所述活动杆60设置有螺纹部63，所述螺纹部63与螺纹套52螺纹连接，所述限位架40滑动设置在限位套53中。
27.本实施例中，在喷射头70进行移动时，限位架40上的驱动机构90带动活动杆60进行旋转，活动杆60上的螺纹部63与螺纹套52之间的螺纹配合，能带动喷射头70进行移动，并且由于喷射头70与活动杆60连接，在活动杆60进行旋转时也能带动喷射头70进行旋转，对电子化学品内衬设备内壁清洗。
28.当然，限位架40滑动设置在限位套53中，能提高活动杆60升降的精度。
29.具体的，所述限位架40上对称设置有两组活动套41，所述活动套41转动套设在活动杆60的外壁上，两组所述活动套41对称设置在固定板50的两侧；用于在活动杆60移动时能带动限位架40移动。
30.具体的，所述活动套41上设置有安装壳体42，所述安装壳体42朝向喷射头70方向设置，所述安装壳体42上均匀开设有多组出气孔43，所述安装壳体42上连接有进气管道80，所述进气管道80设置在限位架40中。
31.本案中，进气管道80与高压气泵连接，用于提供高压气体。
32.本实施例中，在活动杆60旋转时，高压气泵运作，将高压气体通过进气管道80进入至安装壳体42中，并从出气孔43导出，在喷射头70上方形成圆状的空气屏蔽层；当然由于安装壳体42随着活动杆60升降而升降，能使得空气屏蔽层始终处于喷射头70的上方，能防止喷射头70喷射的清洗液迸溅出来影响清洗的环境，同时也能对电子化学品内衬设备内壁表面残留的清洗液进行剔除，便于快速烘干。
33.具体的，所述驱动机构90包括伺服电机93，所述伺服电机93设置在限位架40上，所述活动杆60的套设有第一齿轮91，所述伺服电机93上设置有第二齿轮92，所述第二齿轮92与第一齿轮91啮合。
34.本实施例中，在活动杆60进行旋转时，伺服电机93带动第二齿轮92进行旋转，通过第二齿轮92、第一齿轮91之间的啮合，带动活动杆60进行旋转；由于驱动机构90设置在限位架40上，限位架40随着活动杆60移动而移动，能使得驱动机构90始终能驱动活动杆60进行旋转。
35.具体的，所述喷射头70为球体状，所述喷射头70设置有喷射腔72，所述活动杆60内腔连通，所述喷射头70还贯穿设置有喷射孔71。
36.本实施例中，球体状的喷射头70能降低接触面积减少摩擦，防止喷射头70与电子级内村设备内壁接触时，摩擦过大造成内壁出现损坏。
37.具体的，所述喷射孔71轴心与活动杆60轴心之间设置有夹角α，夹角α≤45
°
。
38.本实施例中，通过倾斜设置的喷射孔71相比于水平设置的喷射孔能快速剔除电子化学品内衬设备表面析出的杂质，同时也能带动之前内衬材料析出的杂质，朝向喷射头70移动方向移动，便于后期进行集中处理。
39.一种电子化学品内衬设备的清洗装置的清洗方法，包括以下步骤：s1、内衬设备放置：将需要清洗的电子化学品内衬设备置于安装板11旁，并使得喷射头70伸入至电子化学品内衬设备内部；s2、清洗测试：将第一箱体20、第二箱体30中注满清洗液，分别打开两组阀门621，在第一管路21与活动杆60内腔连通时，第一箱体20中高压水泵将清洗液导入至喷射头70中，在第二管路31与活动杆60内腔连通时，第二箱体30中高压水泵将清洗液导入至喷射头70中；s3、阻隔测试：高压气泵运作，将高压气体通过进气管道80进入至安装壳体42中，并从出气孔43导出，在喷射头70上方形成圆状的空气屏蔽层；s4、驱动清洗：
第一箱体20中清洗液导入至喷射头70中，同时驱动机构90带动活动杆60进行旋转，活动杆60的螺纹部63在螺纹套52内转动，并在限位架40与限位套53之间的配合，使得喷射头70在旋转的过程中下降，对电子化学品内衬设备内壁清洗；s5、供气阻隔：重复s3、阻隔测试，并且高压气泵持续运作，使得空气屏蔽层随着喷射头70移动而移动；s6、污水处理：当喷射头70与电子化学品内衬设备底部接触后，高压水泵反转，使得电子化学品内衬设备内的污水依次通过喷射头70、活动杆60、第一管路21进入至第一箱体20中；s7、重复清洗：第二箱体30中清洗液导入至喷射头70中，同时驱动机构90带动活动杆60进行旋转，活动杆60的螺纹部63在螺纹套52内转动，并在限位架40与限位套53之间的配合，使得喷射头70在旋转的过程中下降，对电子化学品内衬设备内壁再次清洗，并且重复s5、供气阻隔、s6、污水处理。
40.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。