一种光罩清洗装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体技术领域，更具体涉及一种光罩清洗装置。


背景技术：

2.光罩，又称光掩膜版，是半导体晶圆制程中不可或缺的重要设备，光罩制程和使用过程中都要求光罩的高洁净度，因此对光罩的清洗工艺提出更高要求。
3.传统技术中光罩清洗工艺中，光罩清洗装置中设置旋转盘，旋转盘上开设用于容置待清洗光罩的容纳槽，容纳槽内侧壁上设置定位结构，以固定光罩从正面对光罩进行清洗，并且在对光罩的清洗过程中，清洗溶液会流到光罩背面，导致光罩被污染。诸如公告号为cn209486465u等现有技术所揭示的光罩清洗装置，在对光罩的清洗过程中，难以清洗光罩背面残留的溶液，且光罩清洗装置侧壁上用来固定光罩的边角也会滞留溶液，因此难以满足光罩高洁净度的工业需求，导致光罩不得不返工，降低了光罩的清洗效率。
4.有鉴于此，有必要对现有技术中的光罩清洗装置予以改进，以解决上述问题。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于公开一种光罩清洗装置，用以解决现有技术中的光罩清洗过程中，液体混合物污染光罩背面使得光罩不得不得返工清洗，导致光罩清洗效率降低的问题，从而满足光罩高洁净度的工业需求。
6.为实现上述目的，本实用新型提供了一种光罩清洗装置，对光罩进行清洗，
7.所述光罩清洗装置包括：
8.清洗治具，以及整体驱动所述清洗治具作水平转动的驱动机构；
9.所述清洗治具径向向外延伸形成若干承载悬臂，所述承载悬臂之间形成供水流射向被所述清洗治具承托的光罩背面的背洗区域，承载悬臂的末端竖向配置用以卡持光罩的若干限位件。
10.作为本实用新型的进一步改进，所述承载悬臂沿其纵长延伸方向开设引导限位件作线性移动的第一滑动槽；
11.所述限位件包括：沿所述第一滑动槽滑动的第一限位杆，及于设置于承载悬臂表面用以卡持第一限位杆的第一固定件，所述第一限位杆通过所述第一滑动槽与所述承载悬臂活动连接。
12.作为本实用新型的进一步改进，所述承载悬臂沿其纵长延伸方向开设若干第一盲孔；
13.所述限位件包括：容置于所述第一盲孔的第二限位杆，及设置于承载悬臂表面用以固定第二限位杆的第二固定件。
14.作为本实用新型的进一步改进，所述承载悬臂的末端配置两个限位件。
15.作为本实用新型的进一步改进，所述承载悬臂形成抵持光罩背面的抵持件。
16.作为本实用新型的进一步改进，所述承载悬臂沿其纵长延伸方向开设引导抵持件
作线性移动的第二滑动槽；
17.所述抵持件包括：沿所述第二滑动槽滑动的第一抵持杆，及于设置承载悬臂表面用以卡持第一抵持杆的第三固定件，所述第一抵持杆通过所述第二滑动槽与所述承载悬臂活动连接。
18.作为本实用新型的进一步改进，所述抵持件沿所述承载悬臂纵长延伸方向形成凸起的抵持肋板。
19.作为本实用新型的进一步改进，所述承载悬臂沿其纵长延伸方向形成第二盲孔；
20.所述抵持件包括：容置于所述第二盲孔的第二抵持杆，及设置于承载悬臂表面用以固定第二抵持杆的第四固定件。
21.作为本实用新型的进一步改进，所述驱动机构包括：竖向固定于清洗治具对称中心的具中空腔体的驱动轴，以及驱动所述驱动轴围绕所述对称中心水平转动的动力组件，驱动轴的底部开设用于连接动力组件的卡槽。
22.作为本实用新型的进一步改进，所述清洗治具径向向外延伸形成四个承载悬臂，所述四个承载悬臂位于同一平面呈十字交叉设置。
23.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
24.在本实用新型中，清洗治具径向向外延伸形成承载悬臂，承载悬臂之间形成背洗区域，光罩放置于承载悬臂的抵持件上，并通过设置在承载悬臂末端的限位件固定于清洗治具，清洗溶液可通过背洗区域射向被清洗治具承托的光罩的背面，继而实现对光罩背面的清洁，满足了光罩高清洁度的工业需求，并实现了对不同尺寸的光罩承托与清洗作业需求。
附图说明
25.图1为本实用新型一种光罩清洗装置的整体示意图；
26.图2为光罩清洗装置的俯视图，且图2中省略示出第一固定件；
27.图3为沿图1中a-a向的剖视图。
具体实施方式
28.下面结合附图所示的各实施方式对本实用新型进行详细说明，但应当说明的是，这些实施方式并非对本实用新型的限制，本领域普通技术人员根据这些实施方式所作的功能、方法、或者结构上的等效变换或替代，均属于本实用新型的保护范围之内。
29.需要理解的是，在本技术中，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“轴向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术方案和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术方案的限制。术语“径向”是指如图2中双向箭头b1、b2、b3、b4所示的方向。
30.请参图1至图3所示，本实施例揭示了本实用新型光罩清洗装置的一种具体实施方式。
31.在本实施方式中所揭示的光罩清洗装置实现光罩的背洗，相对于其他的光罩清洗
装置而言，该光罩清洗装置执行光罩3清洗工作前，将光罩3置于抵持件13上减少与承载悬臂15的接触面积，并通过调节限位件11卡持光罩3，背洗过程中，清洗溶液通过背洗区域10射向光罩背面31执行背洗工作，实现对光罩背面31的清洁，从而避免了光罩背面31被污染，提高光照清洗的工作效率，从而满足了光罩高清洁度的工业需求。本技术所揭示的光罩清洗装置及基于光罩清洗装置所揭示的光罩背洗工艺的具体实现方式在下文中予以详细阐释。
32.结合图1与图2所示，在本实施例中，该光罩清洗装置包括清洗治具1，以及整体驱动清洗治具1作水平转动的驱动机构2，清洗治具1径向向外延伸形成若干承载悬臂15，承载悬臂15之间形成供水流射向被清洗治具1承托的光罩背面31的背洗区域10，承载悬臂15的末端竖向配置用以卡持光罩3的若干限位件11，承载悬臂15还形成抵持光罩背面31的抵持件13。在光罩清洗装置执行光罩3清洗时，将光罩3的四个直角置于高度相同的四个抵持件13的上表面，四个抵持件13的上表面均呈水平且四个抵持件13的末端定义的平面与光罩3齐平，以保证抵持光罩3时能够使光罩3处于水平状态，避免因光罩3倾斜所导致的光罩背洗不均匀的问题，从而满足了光罩高清洁度的工业需求。
33.结合图2和图3所示，在本实施例中，承载悬臂15沿其纵长延伸方向开设引导抵持件13作线性移动的第二滑动槽14，抵持件13包括沿第二滑动槽15滑动的第一抵持杆131，及于设置承载悬臂15表面用以卡持第一抵持杆131的第三固定件132，第一抵持杆131通过第三固定件132与承载悬臂15活动连接。承载悬臂15的表面包括上表面和下表面，在承载悬臂15的上下表面分别设置第三固定件132，第一抵持杆131的侧面形成螺纹，第一抵持杆131通过螺纹与第三固定件旋紧固定于承载悬臂15，以抵持光罩执行背洗工作。依据光罩3尺寸，可沿第二滑动槽15调节第一抵持杆131的位置，以实现第一抵持杆131活动连接承载悬臂15的效果，进而实现了抵持不同尺寸的光罩3执行背洗工作的效果。
34.优选地，承载悬臂15还可沿其纵长延伸方向形成呈线性间隔排布的若干第二盲孔(未示出)，此时抵持件13包括容置于第二盲孔(未示出)的第二抵持杆(未示出)，及设置于承载悬臂15表面用以固定第二抵持杆(未示出)的第四固定件(未示出)，依据光罩3的尺寸，选择位置合适的第二盲孔(未示出)置入第二抵持杆(未示出)，第二抵持杆(未示出)的侧面可设螺纹，第二盲孔(未示出)与第二抵持杆(未示出)相触的内表面也可设置螺纹，第二抵持杆(未示出)通过其侧面的螺纹与第二盲孔(未示出)内表面的螺纹旋紧固定于承载悬臂15，以抵持光罩3的四个直角并便于执行背洗工作。
35.同时，承载悬臂15的表面包括上表面和下表面，承载悬臂15的上下表面还可分别设置第四固定件(未示出)，第二抵持杆(未示出)通过侧面螺纹与第四固定件(未示出)旋紧固定于承载悬臂，以抵持不同尺寸的光罩3执行背洗工作。进一步地，抵持件13还可沿承载悬臂纵长延伸方向形成凸起的抵持肋板(未示出)，抵持肋板(未示出)固定于承载悬臂15上表面，且抵持肋板具有水平的上表面，因此能够抵持不同尺寸的光罩3执行背洗工作，从而满足了光罩高清洁度的工业需求。需要注意的是，本实施例所示的抵持件13不作具体限定，只要是能够减少光罩3与承载悬臂15的接触面积，并实现对不同尺寸光罩3的抵持，进而能够对光罩3执行背洗工作，实现光罩高清洁度的工业需求即可。
36.结合图2和图3所示，在本实施例中，清洗治具1径向向外延伸形成四个承载悬臂15，四个承载悬臂15位于同一平面呈十字交叉设置，从而通过四个承载悬臂15形成四个背
洗区域10。承载悬臂15沿其纵长延伸方向开设引导限位件11作线性移动的第一滑动槽12。限位件11包括沿第一滑动槽12滑动的第一限位杆111，及于设置于承载悬臂15表面用以卡持第一限位杆111的第一固定件112，第一限位杆111通过第一滑动槽12与承载悬臂15活动连接，便于光罩3置入清洗治具1后再通过与承载悬臂15活动连接的第一限位杆111卡持，对光罩3的背洗工作结束后可移动第一限位杆111以便取下光罩。承载悬臂15的表面包括上下表面，承载悬臂15的上下表面分别设置第一固定件112，第一限位杆111的侧面形成螺纹，第一限位杆111通过侧面的螺纹与第一固定件112旋紧固定于承载悬臂15，依据光罩3的尺寸，沿第一滑动槽12调整第一限位杆111的位置，以实现第一限位杆111卡持不同尺寸的光罩3执行背洗工作的目的。由于承载悬臂15的末端配置两个限位件11，可通过两个限位件11形成用以卡持光罩3的空隙110，使清洗溶液能够从空隙110流走，从而避免清洗溶液留滞在光罩3边角污染光罩3，保证了光罩的高清洁度。
37.示例性地，承载悬臂15沿还可其纵长延伸方向开设呈线性间隔排布的若干第一盲孔(未示出)，此时限位件11还可视为容置于第一盲孔(未示出)的第二限位杆(未示出)，及设置于承载悬臂15表面用以固定第二限位杆(未示出)的第二固定件(未示出)。依据光罩3的尺寸，选择位置合适的第二盲孔(未示出)置入第二限位杆(未示出)，第二限位杆(未示出)的侧面形成螺纹，第一盲孔(未示出)与第二限位杆(未示出)相碰的内表面可形成螺纹，第二限位杆(未示出)通过其侧面的螺纹与第一盲孔(未示出)内表面的螺纹旋紧，以使第一限位杆(未示出)固定于承载悬臂15并能够卡持不同尺寸的光罩3执行背洗工作。同时，承载悬臂15的上下表面分别设置第二固定件(未示出)，第二限位杆(未示出)通过其侧面的螺纹与第二固定件(未示出)旋紧以固定于承载悬臂15，从而达到了卡持不同尺寸的光罩3执行背洗工作的目的。需要注意的是，本实施例中所示出的限位件11不作具体限定，只要是能实现卡持不同尺寸光罩3以执行背洗工作的效果即可。
38.结合图1和图2所示，在本实施例中，驱动机构2包括竖向固定于清洗治具1对称中心的具中空腔体20的驱动轴22，以及驱动该驱动轴22围绕清洗治具1的对称中心水平转动的动力组件(未示出)，驱动轴22的底部开设用于连接动力组件(未示出)的卡槽23。动力组件(未示出)包括驱动该驱动轴22围绕对称中心水平转动的驱动马达(未示出)，以及连接驱动马达(未示出)与驱动轴22的连接器(未示出)，前述连接器(未示出)呈倒t字型，倒t字型连接器(未示出)的竖杠部分容置于中空腔体20内，倒t字型连接器(未示出)的横杠部分被卡槽23所卡持，动力组件(未示出)通过连接器(未示出)与驱动轴22固定连接，光罩3置于抵持件13并被限位件11卡持，背洗溶液通过背洗区域10射向光罩背面31，以对光罩执行背洗工作，清洁结束后，驱动马达(未示出)带动驱动轴22围绕清洗治具1的对称中心水平旋转，从而带动清洗治具1围绕其对称中心水平旋转甩干光罩3上残留的溶液，从而实现了光罩高清洁度的工业需求。
39.上文所列出的一系列的详细说明仅仅是针对本实用新型的可行性实施方式的具体说明，它们并非用以限制本实用新型的保护范围，凡未脱离本实用新型技艺精神所作的等效实施方式或变更均应包含在本实用新型的保护范围之内。
40.此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员
可以理解的其他实施方式。