一种光罩清洗机的制作方法

文档序号:32047008发布日期:2022-11-03 07:32阅读:193来源:国知局
一种光罩清洗机的制作方法

1.本实用新型涉及光罩技术领域,具体为一种光罩清洗机。


背景技术:

2.光罩是由石英玻璃作为衬底,在其上面镀上一层金属铬和感光胶,成为一种感光材在对光罩进行使用的过程中,需要通过清洗机对光罩进行有效的清理工作,然而现有的清洗机在使用的过程中还是存在一点的缺陷的;
3.如申请号为cn202021426291.8所提出的一种光罩清洗机,包括清洗机本体,所述清洗机本体内腔挖设有工作腔,所述工作腔内腔底面通过滑轨连接有工作板,所述工作板两端通过带动组件滑动连接有限位组件,所述带动组件包括滑槽、滑块与电液推杆,所述滑槽对称挖设于工作板两端,所述滑块滑动设置于滑槽中,所述电液推杆设置于滑槽一侧,且所述电液推杆输出端连接滑块,所述放置盒内腔底面设置有调速电机,位于右侧的所述阻尼转轴连接于调速电机输出端,且所述调速电机与放置盒贯通处设置有密封垫片,所述工作腔内腔底面两侧对称挖设有多个进水口,所述工作腔两端对称设置有可视玻璃,在实际的使用过程中,对光罩进行清理时需要使用药液对其进行清理,而该装置在使用的过程中需要将手伸入清洗机的内部对光罩进行安装和拆卸,可能会使手粘接药液产生安全隐患,降低了该装置对光罩进行固定和取出工作的便捷性。
4.所以我们提出了一种光罩清洗机,以便于解决上述中提出的问题。


技术实现要素:

5.本实用新型的目的在于提供一种光罩清洗机,以解决上述背景技术提出的目前市场上光罩清洗机降低了该装置对光罩进行固定和取出工作的便捷性的问题。
6.为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种光罩清洗机,包括减震座、清洗仓和清洗结构,
7.所述减震座的顶端固定安装有储存箱,所述储存箱的顶端安装有清洗仓,所述清洗仓的内部安装有清洗结构,所述清洗仓的两侧安装有进水口,所述进水口的一端固定安装有雾化喷头;
8.所述清洗仓的两侧内部开设有滑槽,所述滑槽的内部焊接有定位杆,所述定位杆的表面缠绕有第一弹簧,所述定位杆的表面套接有滑块,所述定位杆的一侧固定连接有第一弹簧,所述滑块的内部开设有滑孔,所述滑孔与定位杆相互连接;
9.所述滑块的内侧固定安装有固定框,所述固定框的一侧固定安装有拉杆;
10.所述固定框的内部固定安装有伺服电机,所述伺服电机的一端安装有固定板,所述固定板的两端内部贯穿有限位杆,所述限位杆的一端焊接有夹板,所述限位杆的表面缠绕有第二弹簧;
11.所述清洗仓的一侧固定安装有定位块,所述定位块的内部开设有贴合槽,所述贴合槽的内部贴合有卡块,所述卡块的两端开设有通孔,所述通孔的内部贯穿有固定杆,所述
固定杆的一端与定位块固定连接,所述固定杆的表面缠绕连接有复位弹簧。
12.优选的,所述清洗仓的两侧等间距镶嵌有进水口,所述进水口的一端均螺纹连接有雾化喷头。
13.采用上述结构的设计,使得药剂能够通过进水口和雾化喷头进行均匀的雾化并喷洒在光罩上,有利于清洗结构对光罩进行更好的清洗工作,提高了该装置的使用效果。
14.优选的,所述滑槽关于清洗仓的中心线对称开设,且滑槽的内部对称焊接有定位杆。
15.采用上述结构的设计,方便滑槽和定位杆对滑块的滑动进行限位,避免滑块和固定框在滑动的过程中产生晃动,提高了光罩固定和取出工作的稳定性。
16.优选的,所述滑块通过第一弹簧与滑槽构成伸缩结构,所述滑块通过滑孔与定位杆滑动连接,且滑孔的尺寸与定位杆的尺寸相吻合。
17.采用上述结构的设计,便于第一弹簧对滑块进行推动,以便于带动固定框和其内部固定的光罩进行弹出,提高了光罩固定和取出工作的便捷性。
18.优选的,所述限位杆关于夹板的中心线对称设置,且夹板通过第二弹簧与固定板构成伸缩结构。
19.采用上述结构的设计,便于第二弹簧推动夹板对光罩进行稳定的夹持固定工作,同时有利于对不同规格的光罩进行固定,提高了该装置使用工作的适应性以及夹持固定工作的稳定性。
20.优选的,所述贴合槽的尺寸与卡块的尺寸相吻合,且卡块通过复位弹簧与定位块构成伸缩结构,并且卡块与固定框卡合连接。
21.采用上述结构的设计,能有效的将固定框和其内部固定的光罩进行定位,同时通过对卡块的控制能够对固定框进行弹出工作,避免了在对光罩进行固定和取出时手部在清洗仓内部与药剂进行接触,提高了该装置操作的安全性。
22.与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:该光罩清洗机;
23.1、设置有清洗仓、清洗结构、进水口和雾化喷头,在对光罩进行清洗的过程中,雾化喷头能够对进水口内部的药剂进行雾化,以便于药剂均匀的喷洒在光罩上,有利于清洗结构对光罩进行有效的清理工作,提高了该装置使用效果;
24.2、设置有滑槽、滑块、固定框、伺服电机和夹板,在对光罩进行清洗的过程中,第二弹簧能够推动夹板对不同规格的光罩进行固定工作,而伺服电机的设置能够对光罩进行翻转,以便于对光罩进行全方位的清理工作,同时第一弹簧能够通过滑块推动固定框进行弹出工作,从而便于对固定框内部的光罩进行固定和取出工作,避免在固定和取出的过程中粘接药剂,提高了该装置使用工作的便捷性和安全性;
25.3、设置有定位块、卡块和复位弹簧,使得该装置在使用的过程中,复位弹簧能够推动卡块在定位块的内部进行滑动,从而便于卡块对固定框进行定位,同时通过对卡块的拉动可以解除对固定框的限位,有利于对固定框进行弹出和固定工作,提高了光罩固定和取出工作的便捷性。
附图说明
26.图1为本实用新型侧视外观结构示意图;
27.图2为本实用新型侧视分解结构示意图;
28.图3为本实用新型清洗仓与固定框连接结构示意图;
29.图4为本实用新型固定板与夹板连接结构示意图;
30.图5为本实用新型定位块与卡块连接结构示意图。
31.图中:1、减震座;2、储存箱;3、清洗仓;4、清洗结构;5、进水口;6、雾化喷头;7、滑槽;8、定位杆;9、第一弹簧;10、滑块;11、滑孔;12、固定框;13、拉杆;14、伺服电机;15、固定板;16、限位杆;17、夹板;18、第二弹簧;19、定位块;20、贴合槽;21、卡块;22、通孔;23、固定杆;24、复位弹簧。
具体实施方式
32.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
33.请参阅图1-2,本实用新型提供一种技术方案:一种光罩清洗机,包括减震座1、清洗仓3和清洗结构4,减震座1的顶端固定安装有储存箱2,储存箱2的顶端安装有清洗仓3,清洗仓3的内部安装有清洗结构4,清洗仓3的两侧安装有进水口5,清洗仓3的两侧等间距镶嵌有进水口5,进水口5的一端固定安装有雾化喷头6,进水口5的一端均螺纹连接有雾化喷头6,上述结构设置能够使得雾化喷头6对进水口5内部的药剂进行快速的雾化工作,以便于药剂能够均匀的喷洒在光罩的表面,有利于后续清洗结构4升降并对光罩进行有效的清理工作,提高了该装置的清理效果。
34.具体如图1-3所示,清洗仓3的两侧内部开设有滑槽7,滑槽7关于清洗仓3的中心线对称开设,滑槽7的内部焊接有定位杆8,且滑槽7的内部对称焊接有定位杆8,定位杆8的表面缠绕有第一弹簧9,定位杆8的表面套接有滑块10,滑块10通过第一弹簧9与滑槽7构成伸缩结构,定位杆8的一侧固定连接有第一弹簧9,滑块10的内部开设有滑孔11,滑块10通过滑孔11与定位杆8滑动连接,滑孔11与定位杆8相互连接,且滑孔11的尺寸与定位杆8的尺寸相吻合,滑块10的内侧固定安装有固定框12,固定框12的一侧固定安装有拉杆13,上述结构设计使得第一弹簧9推动滑块10在滑槽7的内部以及定位杆8上进行滑动,从而便于对固定框12进行弹出工作,其中定位杆8能够通过滑孔11对滑块10的滑动进行限位,有利于提高固定框12弹出和收缩工作的稳定性,同时有利于在固定框12弹出后对光罩进行固定和取出工作,避免手部深入装置内部粘接药剂,提高了该装置使用工作的便捷性和安全性。
35.具体如图1-4所示,固定框12的内部固定安装有伺服电机14,伺服电机14的一端安装有固定板15,固定板15的两端内部贯穿有限位杆16,限位杆16的一端焊接有夹板17,限位杆16关于夹板17的中心线对称设置,限位杆16的表面缠绕有第二弹簧18,且夹板17通过第二弹簧18与固定板15构成伸缩结构,上述结构设计使得第二弹簧18推动夹板17对不同规格的光罩进行稳定的夹持工作,提高了该装置的稳定性,而限位杆16能够对夹板17的伸缩进行限位,提高了夹板17夹持工作的稳定性,其中伺服电机14能够对光罩进行翻转,有利于对光罩进行全面的清理工作。
36.具体如图1-5所示,清洗仓3的一侧固定安装有定位块19,定位块19的内部开设有
贴合槽20,贴合槽20的内部贴合有卡块21,贴合槽20的尺寸与卡块21的尺寸相吻合,卡块21的两端开设有通孔22,通孔22的内部贯穿有固定杆23,固定杆23的一端与定位块19固定连接,固定杆23的表面缠绕连接有复位弹簧24,且卡块21通过复位弹簧24与定位块19构成伸缩结构,并且卡块21与固定框12卡合连接,上述结构设计使得复位弹簧24能够带动卡块21进行伸缩,从而便于控制卡块21与固定框12进行卡合和分离,有利于对固定框12进行定位工作。
37.工作原理:在使用该光罩清洗机时,首先如图1-5所示,将装置放置到合适的位置,而后通过对卡块21的拉动,使得卡块21在定位块19的内部进行滑动,直至卡块21与固定框12分离,接着第一弹簧9会推动滑块10在滑槽7的内部进行滑动,同时带动固定框12进行弹出工作,接着将光罩安装在夹板17的内侧,接着第二弹簧18会推动夹板17对光罩进行固定工作,接着通过对拉杆13的推动带动固定框12进入清洗仓3的内部,此时复位弹簧24会带动卡块21与固定框12形成卡合,从而完成光罩的安装工作,接着启动清洗结构4,使得清洗结构4下降与光罩贴合,接着雾化喷头6会对进水口5内部的药剂进行雾化,使得药剂能够均匀的喷洒在光罩表面,接着清洗结构4会旋转并对光罩进行清洗工作,单面清洗完成后,清洗结构4上升,伺服电机14会带动固定板15、夹板17和光罩进行翻转,有利于清洗结构4对光罩背面进行清洗工作,上述完成该装置整体的使用工作。
38.从而完成一系列工作,本说明书中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。
39.尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
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