一种集成电路芯片用靶材清洁装置的制作方法

1.本实用新型属于靶材清洁技术领域，特别是涉及一种集成电路芯片用靶材清洁装置。


背景技术：

2.在溅射镀膜过程中，靶材的清洁度对溅射所形成的镀膜质量、产品良品率以及生产成本而言非常重要。由于靶材表面洁净度不高，在靶材溅射表面积累从几微米到几毫米大小的黑色氧化物，一般称之为结瘤。结瘤具有绝缘性，结瘤量增加，在溅射过程中多引发异常放电，使镀膜出现粒状物，影响镀膜质量，降低产品良品率。因此，在靶材生产过程中，为了保证靶材具有足够的清洁度，在包装前需要对靶材进行充分的清洁。
3.现有的靶材清洁过程一般是先用沾有丙酮溶液的无绒软布对其表面进行擦洗，在用沾有酒精的无绒软布对其进行擦洗，最后擦干靶材，这种传统的方式一般是工作人员手动操作，需要多次更换软布，使得清洁效率较低。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种集成电路芯片用靶材清洁装置，通过清洁板的作用，该装置可以一次性完成丙酮清洁、酒精清洁和烘干的清洁步骤，无需使用者更换清洁装置，使得该装置的清洁效率更加高效，同时可以根据靶材的大小灵活的进行调节，令该装置的适用范围更广，解决了现有的方式一般是工作人员手动操作，需要多次更换软布，使得清洁效率较低的问题。
5.为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：
6.本实用新型为一种集成电路芯片用靶材清洁装置，包括清洁台，所述清洁台两侧均固定有限位板，所述限位板表面固定有第一轴承，所述第一轴承内圈固定有螺纹管；
7.所述螺纹管内部螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆一端固定有第二轴承，所述第二轴承外圈固定有连接板，所述连接板一侧固定有扭力弹簧，所述扭力弹簧外侧固定有夹板；
8.所述清洁台一侧固定有液压缸，所述液压缸输出轴固定有连接杆，所述连接杆一端固定有第三轴承；
9.所述第三轴承外圈固定有调节板，所述调节板一侧固定有放置板，所述放置板两侧均固定有第一电机，所述第一电机输出轴固定有清洁板，所述清洁板表面固定有魔术贴。
10.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述螺纹杆远离连接板一侧固定有把手，所述限位板与连接板之间固定有伸缩杆。
11.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述连接杆表面开有通孔，所述通孔内部贯穿有定位杆；
12.所述调节板表面开有若干定位孔。
13.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述定位杆一端固定有复位板，所述复位板与定位杆之间固定有拉簧。
14.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述清洁台侧面开有烘干槽，所述清洁台上下两侧均为网板；
15.所述烘干槽内部活动连接有加热丝；
16.所述烘干槽底部固定有第二电机，所述第二电机输出轴固定有扇叶。
17.本实用新型具有以下有益效果：
18.1、本实用新型通过清洁板的作用，该装置可以一次性完成丙酮清洁、酒精清洁和烘干的清洁步骤，无需使用者更换清洁装置，使得该装置的清洁效率更加高效，同时可以根据靶材的大小灵活的进行调节，令该装置的适用范围更广。
19.2、本实用新型通过加热丝的作用，在经过丙酮溶液和酒精溶液的擦洗后，即可打开加热丝和第二电机，加热丝加热，同时扇叶将热风吹向靶材，以此对靶材进行烘干，相较于传统的风干，更加高效。
20.当然，实施本实用新型的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。
附图说明
21.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
22.图1为本实用新型一种集成电路芯片用靶材清洁装置的结构示意图。
23.图2为本实用新型的仰视视角结构示意图。
24.图3为本实用新型的侧视视角结构示意图。
25.图4为本实用新型的俯视视角结构示意图。
26.图5为本实用新型的加热丝结构示意图。
27.图6为本实用新型的图4中a处局部放大图。
28.附图中，各标号所代表的部件列表如下：
29.1-清洁台，2-限位板，3-第一轴承，4-螺纹管，5-螺纹杆，6-第二轴承，7-连接板，8-扭力弹簧，9-夹板，10-液压缸，11-连接杆，12-第三轴承，13-调节板，14-放置板，15-第一电机，16-清洁板，17-魔术贴，18-把手，19-伸缩杆，20-通孔，21-定位杆，22-定位孔，23-复位板，24-拉簧，25-烘干槽,26-加热丝，27-第二电机，28-扇叶。
具体实施方式
30.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
31.具体实施例一：
32.请参阅图1-6所示，本实用新型为一种集成电路芯片用靶材清洁装置，包括清洁台1，清洁台1两侧均固定有限位板2，限位板2表面固定有第一轴承3，第一轴承3内圈固定有螺纹管4；螺纹管4内部螺纹连接有螺纹杆5，螺纹杆5一端固定有第二轴承6，第二轴承6外圈固
定有连接板7，连接板7一侧固定有扭力弹簧8，扭力弹簧8外侧固定有夹板9；清洁台1一侧固定有液压缸10，液压缸10输出轴固定有连接杆11，连接杆11一端固定有第三轴承12；第三轴承12外圈固定有调节板13，调节板13一侧固定有放置板14，放置板14两侧均固定有第一电机15，第一电机15输出轴固定有清洁板16，清洁板16表面固定有魔术贴17；螺纹杆5远离连接板7一侧固定有把手18，限位板2与连接板7之间固定有伸缩杆19；连接杆11表面开有通孔20，通孔20内部贯穿有定位杆21；调节板13表面开有若干定位孔22；定位杆21一端固定有复位板23，复位板23与定位杆21之间固定有拉簧24。
33.本实施例的一个具体应用为：在使用时，先将待清洁的靶材的大小，调节两连接板7之间的距离，即先转动把手18，把手18带动其一侧的连接板7向前活动，当活动到合适位置后，抬起夹板9，将靶材固定在夹板9与连接板7之间，再分别将沾上丙酮和酒精的无绒软布贴在两魔术贴17上，通过调节液压缸10，使得沾有丙酮溶液的无绒软布先与靶材接触，打开第一电机15，第一电机15对靶材表面进行清洁，清洁完毕后，拉动复位板23，使得定位杆21从定位孔22内脱落，再转动调节板13，调节板13转动180
°
，即可使得沾有酒精的无绒软布与靶材接触，进行下一步的清洁，该装置可以一次性完成丙酮清洁、酒精清洁和烘干的清洁步骤，无需使用者更换清洁装置，使得该装置的清洁效率更加高效，同时可以根据靶材的大小灵活的进行调节，令该装置的适用范围更广。
34.具体实施例二：
35.在具体实施例一的基础上，本实施例的不同点在于：
36.如图1-4所示，清洁台1侧面开有烘干槽25，清洁台1上下两侧均为网板；烘干槽25内部活动连接有加热丝26；烘干槽25底部固定有第二电机27，第二电机27输出轴固定有扇叶28；在经过丙酮溶液和酒精溶液的擦洗后，即可打开加热丝26和第二电机27，加热丝26加热，同时扇叶28将热风吹向靶材，以此对靶材进行烘干，相较于传统的风干，更加高效。
37.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
38.以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。