1.本实用新型涉及半导体晶片、液晶面板清洗领域，特别涉及一种用于超声波清洗机工作台的半导体晶片、液晶面板顶出机构。
背景技术：
2.超声波干式清洗机是为对半导体行业，led行业,显示屏行业等产品表面的浮尘颗粒进行清除，保证后续喷涂，镀膜，粘胶，焊接，封装等工序的质量，大大降低故障率，提升产品良品率。目前，现有半导体晶片、液晶面板清洗行业中大多通过工作台真空吸附固定面板，在清洗完成后，由于半导体晶片、液晶面板与工作台之间贴合，导致半导体晶片、液晶面板与工作台之间存在静电吸附，从而不利于机械手抓取面板。
技术实现要素：
3.为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种用于超声波清洗机工作台的半导体晶片、液晶面板顶出机构，具有能够将半导体晶片、液晶面板从工作台上顶起，以便于机械手进行抓取的优点。
4.为达到上述目的，本实用新型的技术方案如下：
5.一种用于超声波清洗机工作台的半导体晶片、液晶面板顶出机构，包括超声波清洗机以及设于所述超声波清洗机上的晶片、面板固定工作台和晶片、面板顶升机构，所述晶片、面板顶升机构包括：
6.设于所述晶片、面板固定工作台下方的顶升板；
7.设于所述晶片、面板固定工作台底部、并用于驱动所述顶升板进行竖直移动的驱动组件；以及，
8.设于所述顶升板、并与所述晶片、面板固定工作台上的导向孔连接的顶杆，所述顶杆上设置有与晶片、面板连接的柔性头。
9.实现上述技术方案，由驱动组件驱动所连接的顶升板，使顶升板向上移动，以带动所连接的顶杆和柔性头向上以将晶片、面板固定工作台上的面板顶起，与晶片、面板固定工作台分离，从而便于吸盘机械手将其取走。
10.作为本技术的一种优选方案，所述晶片、面板固定工作台的下方设置有与所述超声波清洗机中移动平台连接的支撑柱。
11.实现上述技术方案，用于将晶片、面板固定工作台支撑在移动平台上。
12.作为本技术的一种优选方案，所述顶升板的四个拐角设置有导向套，所述导向套与所述晶片、面板固定工作台下方固定的导向杆连接。
13.实现上述技术方案，用于顶升板的移动导向。
14.作为本技术的一种优选方案，所述驱动组件包括：
15.设于所述面板固定工作台两侧的驱动电机，所述驱动电机的输出轴上设置有驱动
齿轮；
16.连接于所述驱动齿轮的从动齿轮；以及，
17.设于所述从动齿轮一侧的驱动杆，所述驱动杆与所述顶升板上设置的从动块连接，所述从动块上设置有与所述驱动杆连接的驱动导向槽。
18.实现上述技术方案，由驱动电机的输出轴带动驱动齿轮进行旋转，使驱动齿轮所连接的从动齿轮一起进行旋转，从动齿轮进行旋转时，其设计的驱动杆在驱动导向槽中驱动所连接的从动块，使从动块所连接的顶升板通过导向套在导向杆上进行升降移动。
19.作为本技术的一种优选方案，所述柔性头包括与所述顶杆连接的连接头以及设于所述连接头上的柔性套。
20.实现上述技术方案，一方面用于支撑柔性套，使柔性套通过连接头安装于顶杆，另一方面以便于柔性头与顶杆之间进行拆卸更换。
21.作为本技术的一种优选方案，所述柔性套的顶部设置有凹的凹槽。
22.实现上述技术方案，以便于柔性套在顶出半导体晶片、液晶面板时，通过设置的凹槽轻微的吸附晶片、面板，以防止被顶升的晶片、面板偏移。
23.作为本技术的一种优选方案，所述面板固定工作台上设置有若干相互连接的真空吸附槽，所述真空吸附槽的底部设置有真空抽气孔，所述真空抽气孔与所述面板固定工作台底部安装的气管接头连接，所述气管接头通过气管外接真空发生器。
24.实现上述技术方案，通过真空吸附的方法将半导体晶片、液晶面板吸附在面板固定工作台上。
25.综上所述，本实用新型具有如下有益效果：
26.本实用新型实施例通过提供一种用于超声波清洗机工作台的顶出机构，包括超声波清洗机以及设于所述超声波清洗机上的晶片、面板固定工作台和晶片、面板顶升机构，所述晶片、面板顶升机构包括：设于所述晶片、面板固定工作台下方的顶升板；设于所述晶片、面板固定工作台底部、并用于驱动所述顶升板进行竖直移动的驱动组件；以及，设于所述顶升板、并与所述晶片、面板固定工作台上的导向孔连接的顶杆，所述顶杆上设置有与晶片、面板连接的柔性头。本技术由驱动组件驱动所连接的顶升板，使顶升板向上移动，以带动所连接的顶杆和柔性头向上以将晶片、晶片、面板固定工作台上的晶片、面板顶起，与晶片、面板固定工作台分离，从而便于吸盘机械手将其取走。
附图说明
27.为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
28.图1为本实用新型实施例中的示意图。
29.图2为本实用新型实施例中的晶片、面板固定工作台示意图。
30.图3为本实用新型实施例中的晶片、面板顶升机构示意图一。
31.图4为本实用新型实施例中的晶片、面板顶升机构示意图二。
32.图5为本实用新型实施例中的柔性头示意图。
33.图中标号：1、超声波清洗机；101、移动平台；2、晶片、面板固定工作台；201、真空吸附槽；202、真空抽气孔；203、气管接头；3、晶片、面板顶升机构；4、顶升板；401、导向套；402、导向杆；403、从动块；404、驱动导向槽；5、驱动组件；501、驱动电机；502、驱动齿轮；503、从动齿轮；504、驱动杆；6、顶杆；7、柔性头；701、连接头；702、柔性套；703、凹槽；8、支撑柱；9、晶片、面板。
具体实施方式
34.下面将结合本技术实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
35.实施例：
36.一种用于超声波清洗机工作台的半导体晶片、液晶面板顶出机构，参照图1和图2，包括超声波清洗机1以及安装于超声波清洗机1上的晶片、面板固定工作台2和晶片、面板顶升机构3，晶片、面板顶升机构3包括安装于晶片、面板固定工作台2下方的顶升板4以及安装于晶片、面板固定工作台2底部、并用于驱动顶升板4进行竖直移动的驱动组件5，顶升板4上安装有与固定工作台2上开设的导向孔进行连接的顶杆，顶杆6上安装有与晶片、面板连接的柔性头7。在本实施例中，超声波清洗机1中设置有送料的移动平台101，晶片、面板固定工作台2的下方安装有与移动平台101连接的支撑柱8，而顶升板4的四个拐角安装有导向套401，导向套401与面板固定工作台2下方固定的导向杆402连接，以便于顶升板4的移动导向。
37.参照图3和图4，为了便于驱动顶升板4升降移动。在本实施例中，驱动组件5包括安装于晶片、面板固定工作台2两侧的驱动电机501，驱动电机501的输出轴上安装有驱动齿轮502，驱动齿轮502连接有从动齿轮503，从动齿轮503的一侧安装有驱动杆504，驱动杆504与顶升板4上安装的从动块403连接，从动块403上开设有与驱动杆504连接的驱动导向槽404，在使用时，由驱动电机501的输出轴带动驱动齿轮502进行旋转，使驱动齿轮502所连接的从动齿轮503一起进行旋转，从动齿轮503进行旋转时，其设计的驱动杆504在驱动导向槽404中驱动所连接的从动块403，使从动块403所连接的顶升板4通过导向套401在导向杆402上进行升降移动。在其它实施例中，驱动组件5可采用气缸，而气缸的缸体固定于面板固定工作台2的底部，而气缸的活塞杆与顶升板4连接，在使用时，由气缸上的活塞杆驱动所连接的顶升板4通过导向套401在导向杆402上进行升降移动。
38.参照图5，柔性头7包括与顶杆6连接的连接头701以及安装于连接头701上的柔性套702。在本实施例中，连接头701的设计一方面用于支撑柔性套702，使柔性套702通过连接头701安装于顶杆6，另一方面以便于柔性头7与顶杆6之间进行拆卸更换。
39.回到图5，为了便于柔性套702在顶出半导体晶片、液晶面板时，能够轻微的吸附半导体晶片、液晶面板，以防止被顶升的半导体晶片、液晶面板偏移。在本实施例中，柔性套702的顶部设置有凹的凹槽703。
40.参照图2，晶片、面板固定工作台2上开设有若干个相互连接的真空吸附槽201，真空吸附槽201的底部开设有真空抽气孔202，真空抽气孔202与面板固定工作台2底部安装的
气管接头203连接，气管接头203通过气管外接真空发生器。在本实施例中，以便于通过真空吸附的方法将液晶面板吸附在面板固定工作台2上。
41.具体的，在使用使用时，由驱动组件5驱动所连接的顶升板4，使顶升板4向上移动，以带动所连接的顶杆6和柔性头7向上以将面板固定工作台2上的液晶面板顶起，与面板固定工作台2分离，从而便于吸盘机械手将其取走。
42.对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本技术。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本技术的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本技术将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。