一种阴极电弧靶的清洁装置的制作方法

1.本实用新型属于阴极电弧靶技术领域，尤其涉及一种阴极电弧靶的清洁装置。


背景技术：

2.真空阴极电弧沉积是当前离子镀膜主流技术之一，它具有离化率高、粒子能量大、沉积速度快、膜/基结合力好等优点，它能沉积金属、非金属(如碳、硅)、氮化物、碳化物、氧化物、多 元化合物等薄膜，它是广泛应用于工模具超硬保护膜制备和钟表、手机、眼镜、建筑五金和日用五金等装饰膜制备的离
3.子镀技。
4.现有技术存在的问题是：在阴极电弧靶加工过程中，需要对阴极电弧靶表面的粘附的杂物进行清洁，现有清洁方式大多数靠操作人员手工清洁，从而大大降低了工作效率。


技术实现要素：

5.针对现有技术存在的问题，本实用新型提供了一种阴极电弧靶的清洁装置，具备不需要操作人员对阴极电弧靶进行手工清洁的优点，解决了现有在阴极电弧靶加工过程中，需要对阴极电弧靶表面的粘附的杂物进行清洁，现有清洁方式大多数靠操作人员手工清洁，从而大大降低了工作效率的问题。
6.本实用新型是这样实现的，一种阴极电弧靶的清洁装置，包括底板和清洁部件，所述清洁部件包括设于底板顶部上的u形固定板、设于底板顶部上的导向槽、设于导向槽内部的移动块、设于移动块顶部上的放置盘、设于放置盘顶部上的电弧靶、设于导向槽内部的丝杆、设于底板一侧与丝杆相配合的伺服电机、设于底板顶部上的六个固定块、设于固定块顶部与u形固定板内顶部之间的转动辊、设于转动辊表面上的塑胶毛刷和设于u形固定板顶部上与转动辊相配合的驱动电机，所述u形固定板底部与底板顶部固定连接，所述移动块与导向槽滑动连接，所述放置盘底部与移动块顶部固定连接，所述丝杆一端与导向槽内侧壁固定连接，所述丝杆的另一端贯穿底板，所述丝杆贯穿移动块且与移动块螺旋连接，所述固定块底部与底板顶部固定连接，所述转动辊一端与固定块轴承连接，所述转动辊另一端贯穿u形固定板且与u形固定板轴承连接。
7.作为本实用新型优选的，所述放置盘顶部设有两个弧形夹持板，所述放置盘与弧形夹持板之间设有四个伸缩弹簧，所述两个弧形夹持板相对设置，所述伸缩弹簧一端与放置盘侧壁固定连接，所述伸缩弹簧另一端与弧形夹持板侧壁固定连接。
8.作为本实用新型优选的，所述弧形夹持板侧壁设有导向杆，所述导向杆的一端与弧形夹持板侧壁固定连接，所述导向杆贯穿放置盘侧壁且与放置盘滑动连接。
9.作为本实用新型优选的，所述弧形夹持板侧壁设有橡胶防护垫，所述橡胶防护垫与弧形夹持板侧壁固定连接。
10.作为本实用新型优选的，所述放置盘的侧壁分别开设有两个开口部，所述开口部分别贯穿放置盘侧壁。
11.作为本实用新型优选的，所述六个固定块分别设置于导向槽的两侧。
12.与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
13.1、本实用新型通过设置底板、u形固定板、导向槽、移动块、放置盘、电弧靶、丝杆、伺服电机、固定块、转动辊、塑胶毛刷和驱动电机，将电弧靶放置在放置盘上，此时打开驱动电机，驱动电机会带动转动辊进行转动，然后在启动伺服电机，伺服电机会带动丝杆进行转动，从而移动块会在丝杆上沿着导向槽轨迹进行移动，同时移动块会带动放置盘进行移动，放置盘带动电弧靶移动过程中，转动辊上的塑胶毛刷会对电弧靶表面粘附的杂物进行清洁，从而提高了清洁效率。
14.2、本实用新型通过设置伸缩弹簧和弧形夹持板，通过弧形夹持板移动，使伸缩弹簧收缩，从而方便对电弧靶进行夹持固定。
15.3、本实用新型通过设置导向杆，达到了通过拉动导向杆，可以带动弧形夹持板移动，从而便于电弧靶放置在放置盘上，对其进行夹持固定。
16.4、本实用新型通过设置橡胶防护垫，达到了对弧形夹持板与电弧靶接触处进行保护，避免在夹持过程中造成电弧靶表面刮损的效果。
17.5、本实用新型通过设置开口部，在清洁过程中，电弧靶表面粘附的杂物在清洁过程中会落到放置盘上，开口部从而便于对放置盘上的杂物进行清理。
18.6、本实用新型通过设置分别位于导向槽两侧的六个固定块，六个固定块与u形固定板之间的转动辊会分布与放置盘两侧，从而达到了可以对电弧靶表面进行全面清洁的效果。
附图说明
19.图1是本实用新型实施例提供的整体结构示意图；
20.图2是本实用新型实施例提供的前视图；
21.图3是本实用新型实施例提供的a-a处的剖面图；
22.图4是本实用新型实施例提供的伸缩弹簧、弧形夹持板、导向杆、橡胶防护垫和开口部结构示意图；
23.图5是本实用新型实施例提供的固定块、转动辊和塑胶毛刷结构示意图。
24.图中：1、底板；2、u形固定板；3、导向槽；4、移动块；5、放置盘；6、电弧靶；7、丝杆；8、伺服电机；9、固定块；10、转动辊；11、塑胶毛刷；12、驱动电机；13、伸缩弹簧；14、弧形夹持板；15、导向杆；16、橡胶防护垫；17、开口部。
具体实施方式
25.为能进一步了解本实用新型的发明内容、特点及功效，兹例举以下实施例，并配合附图详细说明如下。
26.下面结合附图对本实用新型的结构作详细的描述。
27.如图1至图5所示，本实用新型实施例提供的一种阴极电弧靶的清洁装置，包括底板1和清洁部件，所述清洁部件包括设于底板1顶部上的u形固定板2、设于底板1顶部上的导向槽3、设于导向槽3内部的移动块4、设于移动块4顶部上的放置盘5、设于放置盘5顶部上的电弧靶6、设于导向槽3内部的丝杆7、设于底板1一侧与丝杆7相配合的伺服电机8、设于底板
1顶部上的六个固定块9、设于固定块9顶部与u形固定板2内顶部之间的转动辊10、设于转动辊10表面上的塑胶毛刷11和设于u形固定板2顶部上与转动辊10相配合的驱动电机12，所述u形固定板2底部与底板1顶部固定连接，所述移动块4与导向槽3滑动连接，所述放置盘5底部与移动块4顶部固定连接，所述丝杆7一端与导向槽3内侧壁固定连接，所述丝杆7的另一端贯穿底板1，所述丝杆7贯穿移动块4且与移动块4螺旋连接，所述固定块9底部与底板1顶部固定连接，所述转动辊10一端与固定块9轴承连接，所述转动辊10另一端贯穿u形固定板2且与u形固定板2轴承连接。
28.采用上述方案：通过设置底板1、u形固定板2、导向槽3、移动块4、放置盘5、电弧靶6、丝杆7、伺服电机8、固定块9、转动辊10、塑胶毛刷11和驱动电机12，将电弧靶6放置在放置盘5上，此时打开驱动电机12，驱动电机12会带动转动辊10进行转动，然后在启动伺服电机8，伺服电机8会带动丝杆7进行转动，从而移动块4会在丝杆7上沿着导向槽3轨迹进行移动，同时移动块4会带动放置盘5进行移动，放置盘5带动电弧靶6移动过程中，转动辊10上的塑胶毛刷11会对电弧靶6表面粘附的杂物进行清洁，从而提高了清洁效率。
29.参考图4，所述放置盘5顶部设有两个弧形夹持板14，所述放置盘5与弧形夹持板14之间设有四个伸缩弹簧13，所述两个弧形夹持板14相对设置，所述伸缩弹簧13一端与放置盘5侧壁固定连接，所述伸缩弹簧13另一端与弧形夹持板14侧壁固定连接。
30.采用上述方案：通过设置伸缩弹簧13和弧形夹持板14，通过弧形夹持板14移动，使伸缩弹簧13收缩，从而方便对电弧靶6进行夹持固定。
31.参考图4，所述弧形夹持板14侧壁设有导向杆15，所述导向杆15的一端与弧形夹持板14侧壁固定连接，所述导向杆15贯穿放置盘5侧壁且与放置盘5滑动连接。
32.采用上述方案：通过设置导向杆15，达到了通过拉动导向杆15，可以带动弧形夹持板14移动，从而便于电弧靶6放置在放置盘5上，对其进行夹持固定。
33.参考图4，所述弧形夹持板14侧壁设有橡胶防护垫16，所述橡胶防护垫16与弧形夹持板14侧壁固定连接。
34.采用上述方案：通过设置橡胶防护垫16，达到了对弧形夹持板14与电弧靶6接触处进行保护，避免在夹持过程中造成电弧靶6表面刮损的效果。
35.参考图4，所述放置盘5的侧壁分别开设有两个开口部17，所述开口部17分别贯穿放置盘5侧壁。
36.采用上述方案：通过设置开口部17，在清洁过程中，电弧靶6表面粘附的杂物在清洁过程中会落到放置盘5上，开口部17从而便于对放置盘5上的杂物进行清理。
37.参考图1和图3，所述六个固定块9分别设置于导向槽3的两侧。
38.采用上述方案：通过设置分别位于导向槽3两侧的六个固定块9，六个固定块9与u形固定板2之间的转动辊10会分布与放置盘5两侧，从而达到了可以对电弧靶6表面进行全面清洁的效果。
39.本实用新型的工作原理：
40.在使用时，先通拉动导向杆15，使导向杆15带动弧形夹持板14进行移动，此时伸缩弹簧13会收缩，然后在将电弧靶6放置在放置盘5顶部，松开导向杆15，伸缩弹簧13会回位，从而弧形夹持板14会对电弧靶6进行夹持固定，此时打开驱动电机12，驱动电机12会带动转动辊10进行转动，然后在启动伺服电机8，伺服电机8会带动丝杆7进行转动，从而移动块4会
在丝杆7上沿着导向槽3轨迹进行移动，同时移动块4会带动放置盘5进行移动，放置盘5带动电弧靶6移动过程中，转动辊10上的塑胶毛刷11会对电弧靶6表面粘附的杂物进行清洁，从而提高了清洁效率。
41.综上所述：该阴极电弧靶的清洁装置，通过设置导向杆15、弧形夹持板14、伸缩弹簧13、电弧靶6、放置盘5、驱动电机12、转动辊10、伺服电机8、丝杆7、移动块4、导向槽3和塑胶毛刷11的配合使用，解决了在阴极电弧靶加工过程中，需要对阴极电弧靶表面的粘附的杂物进行清洁，现有清洁方式大多数靠操作人员手工清洁，从而大大降低了工作效率的问题。
42.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
43.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。