一种大型等离子清洗装置的制作方法

本技术涉及等离子清洗，尤其涉及一种大型等离子清洗装置。

背景技术：

1、等离子清洗装置是一种利用等离子体中的活性组分对产品的表面进行处理，从而达到清洁、改性或涂覆等目的。

2、目前市面上主流的等离子清洗设备通常体积较小，对于体积大的材料无法放入清洗腔内进行处理，并且，常规的等离子设备在进行物料的等离子清洗工作时，被处理产品放置在电极之间，通过两平行电极激励产生等离子体对产品表面进行处理，长时间使用或连续使用时，会造成极板温度过高使得放电均匀性受到影响，从而对处理效果也造成影响，而现有的一些等离子设备中，采用铺设冷水管道对极板降温，但是，大型的等离子设备的由于体积较大，冷水管道铺设不易，且还要设置用于铺设冷水管道的空间，造成等离子设备中空间的浪费。

技术实现思路

1、本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种可充分利用内部空间的大型等离子清洗装置。

2、为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为：一种大型等离子清洗装置，包括真空腔体，所述真空腔体内具有相对设置的正极板与负极板，所述正极板及负极板内均设有水冷管道，所述真空腔体上设有与所述水冷管道连通的水冷接头。

3、进一步的，所述水冷管道包括横向管道与竖向管道，所述横向管道与所述竖向管道的数量均为多个，多个所述竖向管道均匀设置，相邻两个竖向管道之间通过所述横向管道连通。

4、进一步的，所述真空腔体内设有布气板，所述布气板与所述真空腔体的内壁配合形成容气室，所述真空腔体上设有进气接头，所述进气接头连通所述容气室，所述布气板上设有多个通孔。

5、进一步的，多个所述通孔呈阵列排布。

6、进一步的，所述真空腔体包括上腔体与下腔体，所述上腔体与所述下腔体可拆卸连接。

7、进一步的，所述下腔体上设有密封槽。

8、进一步的，所述下腔体上设有支撑块，所述支撑块上设有匀气板，所述下腔体上还开设有抽气口，所述匀气板位于所述抽气口上方。

9、进一步的，所述真空腔体上设有观察窗。

10、进一步的，所述真空腔体上设有加强筋。

11、进一步的，所述真空腔体上还设有温度传感器。

12、本实用新型的有益效果在于：把水冷管道设在正极板与负极板内，可使水冷管道在真空腔体内不占用额外的空间，有利于使大型等离子清洗装置的内部空间得到更加充分的利用。

技术特征：

1.一种大型等离子清洗装置，其特征在于：包括真空腔体，所述真空腔体内具有相对设置的正极板与负极板，所述正极板及负极板内均设有水冷管道，所述真空腔体上设有与所述水冷管道连通的水冷接头；所述真空腔体包括上腔体与下腔体，所述上腔体与所述下腔体可拆卸连接；所述下腔体上设有支撑块，所述支撑块上设有匀气板，所述下腔体上还开设有抽气口，所述匀气板位于所述抽气口上方。

2.根据权利要求1所述的大型等离子清洗装置，其特征在于：所述水冷管道包括横向管道与竖向管道，所述横向管道与所述竖向管道的数量均为多个，多个所述竖向管道均匀设置，相邻两个竖向管道之间通过所述横向管道连通。

3.根据权利要求1所述的大型等离子清洗装置，其特征在于：所述真空腔体内设有布气板，所述布气板与所述真空腔体的内壁配合形成容气室，所述真空腔体上设有进气接头，所述进气接头连通所述容气室，所述布气板上设有多个通孔。

4.根据权利要求3所述的大型等离子清洗装置，其特征在于：多个所述通孔呈阵列排布。

5.根据权利要求1所述的大型等离子清洗装置，其特征在于：所述下腔体上设有密封槽。

6.根据权利要求1所述的大型等离子清洗装置，其特征在于：所述真空腔体上设有观察窗。

7.根据权利要求1所述的大型等离子清洗装置，其特征在于：所述真空腔体上设有加强筋。

8.根据权利要求1所述的大型等离子清洗装置，其特征在于：所述真空腔体上还设有温度传感器。

技术总结
本技术公开了一种大型等离子清洗装置，包括真空腔体，所述真空腔体内具有相对设置的正极板与负极板，所述正极板及负极板内均设有水冷管道，所述真空腔体上设有与所述水冷管道连通的水冷接头。把水冷管道设在正极板与负极板内，可使水冷管道在真空腔体内不占用额外的空间，有利于使大型等离子清洗装置的内部空间得到更加充分的利用。

技术研发人员：罗弦
受保护的技术使用者：广东澳地特电气技术有限公司
技术研发日：20221212
技术公布日：2024/1/12