一种半导体导热铝筒阳极夹持装置的制作方法

1.本实用新型涉及铝筒加工技术领域，具体为一种半导体导热铝筒阳极夹持装置。


背景技术：

2.半导体导热铝筒阳极夹持装置在半导体制造工艺中，通常需要对晶圆表面进行清洗，以去除晶圆表面上的杂质,例如有机物或颗粒物，在清洗过程中需要用到对晶圆片进行转移的夹持装置。
3.例如授权公告号“cn216827774u”名为基于半导体晶圆清洗用夹持装置，其中两处竖撑吊杆上滑动安装有一处滑动杆，且固定板的中间段底部锁紧吊装有一处气缸，气缸伸缩杆的底部段与滑动杆的中间段贯穿锁紧连接，本实用的两处拦杆可对向内滑挡栏于被夹持晶圆的底部对在转移过程中滑落掉出的晶圆片进行拦截，对晶圆片进行较好的防坠落保护。但是在基于半导体晶圆清洗用夹持装置将半导体进行夹持后，夹具会将半导体全部夹持住，如果半导体需要进行加工工作的话，半导体没有区域暴露在外面，不方便对半导体进行加工工作，同时基于半导体晶圆清洗用夹持装置在对半导体加工时，如果需要对半导体进行旋转工作的话，需要人工对半导体进行旋转调整角度再进行加工工作，增加了人工劳动力同时降低了工作效率。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的不方便对半导体进行加工工作、增加了人工劳动力和降低了工作效率的问题，而提出的一种半导体导热铝筒阳极夹持装置。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
6.设计一种半导体导热铝筒阳极夹持装置，包括机体和固定板，所述固定板上设有夹持结构，所述夹持结构包括外壳，所述外壳下表面与固定板上表面固定连接，所述外壳内壁与第一电机固定连接，所述第一电机输出轴与丝杠固定连接，所述丝杠表面与螺纹座内壁螺纹连接，所述螺纹座两边均通过销轴与两个直杆活动连接，两个所述直杆均通过销轴与l型杆活动连接，一个所述直杆通过销轴与连杆活动连接，所述连杆通过销轴与外壳内壁活动连接，所述l型杆一端与夹板固定连接。
7.优选的，两个所述夹板内均通过销轴与两个转轮转动连接，所述外壳前后两边均设有圆孔。
8.优选的，所述固定板上表面与u型座下表面固定连接，所述u型座两边均与传送带转动连接。
9.优选的，所述传送带的主动轴通过皮带与第二电机输出轴转动连接，所述第二电机与u型座内壁固定连接。
10.优选的，所述机体上表面与固定板下表面固定连接，所述机体下表面安装有多个桌腿。
11.本实用新型提出的一种半导体导热铝筒阳极夹持装置，有益效果在于：通过夹持结构和u型座的配合，将铝筒从u型座送进外壳上的圆孔内，使铝筒一端贯穿外壳，接通第一电机的外接电源，第一电机启动带动丝杠转动，带动螺纹座向下移动，带动两边的直杆相对摆动，同时带动两个连杆相对摆动，带动两个l型杆相对摆动，同时带动两个夹板相对摆动，将铝筒进行夹持，铝筒还会有大部分区域暴露，方便对铝筒的加工；
12.通过u型座、第二电机和传送带的配合，第二电机启动通过皮带带动传送带的主动轴转动，带动两个传送带转动，带动铝筒转动，同时多个转轮也会转动，使铝筒能被夹持后转动，调整铝筒的角度，减少了人工劳动力同时提高了工作效率。
附图说明
13.图1为本实用新型结构示意图；
14.图2为图1的右视图；
15.图3为图1中夹持结构的正剖视图；
16.图4为图1u型座的正剖视图。
17.图中：1、机体，2、固定板，3、u型座，4、夹持结构，401、外壳，402、夹板，403、l型杆，404、直杆，405、连杆，406、第一电机，407、丝杠，408、螺纹座，5、桌腿，6、传送带，7、转轮，8、第二电机。
具体实施方式
18.下面结合附图对本实用新型作进一步说明：
19.参照附图1-4：
20.本实施例中，一种半导体导热铝筒阳极夹持装置，包括机体1和固定板2，固定板2上设有夹持结构4，夹持结构4包括外壳401，外壳401下表面与固定板2上表面固定连接，固定住外壳401的位置，外壳401内壁与第一电机406固定连接，固定住第一电机406的位置，第一电机406根据实际需求，满足工作需要即可，第一电机406输出轴与丝杠407固定连接，第一电机406启动能带动丝杠407转动，丝杠407表面与螺纹座408内壁螺纹连接，丝杠407转动能带动螺纹座408上下移动，螺纹座408两边均通过销轴与两个直杆404活动连接，两个直杆404能在螺纹座408上活动，两个直杆404均通过销轴与l型杆403活动连接，两个直杆404摆动能带动l型杆403左右移动，一个直杆404通过销轴与连杆405活动连接，连杆405能在一个直杆404上活动，连杆405通过销轴与外壳401内壁活动连接，连杆405能在外壳401内壁上活动，l型杆403一端与夹板402固定连接，l型杆403左右移动能带动夹板402左右移动。
21.参照附图1-2和图4：
22.两个夹板402内均通过销轴与两个转轮7转动连接，两个转轮7能在夹板402内转动，外壳401前后两边均设有圆孔，固定板2上表面与u型座3下表面固定连接，固定住u型座3的位置，u型座3两边均与传送带6转动连接，传送带6能在u型座3内转动，传送带6根据实际需求，满足工作需要即可，传送带6的主动轴通过皮带与第二电机8输出轴转动连接，第二电机8根据实际需求，满足工作需要即可，第二电机8与u型座3内壁固定连接，固定住第二电机8的位置，机体1上表面与固定板2下表面固定连接，固定住固定板2的位置，机体1下表面安装有多个桌腿5。
23.工作原理：
24.当使用半导体导热铝筒阳极夹持装置时，先将铝筒从u型座3送进外壳401上的圆孔内，使铝筒一端贯穿外壳401，接通第一电机406的外接电源，第一电机406启动带动丝杠407转动，带动螺纹座408向下移动，带动两边的直杆404相对摆动，同时带动两个连杆405相对摆动，带动两个l型杆403相对摆动，同时带动两个夹板402相对摆动，将铝筒进行夹持，如果铝筒需要加工进行旋转时，接通两个第二电机8的外接电源，第二电机8启动通过皮带带动传送带6的主动轴转动，带动两个传送带6转动，带动铝筒转动，同时多个转轮7也会转动，使铝筒能被夹持后转动，调整铝筒的角度，在对铝筒进行加工，完成铝筒的夹持工作。
25.虽然本实用新型已通过参考优选的实施例进行了图示和描述，但是，本专业普通技术人员应当了解，在权利要求书的范围内，可作形式和细节上的各种各样变化。


技术特征：
1.一种半导体导热铝筒阳极夹持装置，包括机体(1)和固定板(2)，其特征在于：所述固定板(2)上设有夹持结构(4)，所述夹持结构(4)包括外壳(401)，所述外壳(401)下表面与固定板(2)上表面固定连接，所述外壳(401)内壁与第一电机(406)固定连接，所述第一电机(406)输出轴与丝杠(407)固定连接，所述丝杠(407)表面与螺纹座(408)内壁螺纹连接，所述螺纹座(408)两边均通过销轴与两个直杆(404)活动连接，两个所述直杆(404)均通过销轴与l型杆(403)活动连接，一个所述直杆(404)通过销轴与连杆(405)活动连接，所述连杆(405)通过销轴与外壳(401)内壁活动连接，所述l型杆(403)一端与夹板(402)固定连接。2.根据权利要求1所述的一种半导体导热铝筒阳极夹持装置，其特征在于：两个所述夹板(402)内均通过销轴与两个转轮(7)转动连接，所述外壳(401)前后两边均设有圆孔。3.根据权利要求1所述的一种半导体导热铝筒阳极夹持装置，其特征在于：所述固定板(2)上表面与u型座(3)下表面固定连接，所述u型座(3)两边均与传送带(6)转动连接。4.根据权利要求3所述的一种半导体导热铝筒阳极夹持装置，其特征在于：所述传送带(6)的主动轴通过皮带与第二电机(8)输出轴转动连接，所述第二电机(8)与u型座(3)内壁固定连接。5.根据权利要求1所述的一种半导体导热铝筒阳极夹持装置，其特征在于：所述机体(1)上表面与固定板(2)下表面固定连接，所述机体(1)下表面安装有多个桌腿(5)。

技术总结
本实用新型涉及铝筒加工技术领域，尤其是一种半导体导热铝筒阳极夹持装置，包括机体和固定板，所述固定板上设有夹持结构，所述夹持结构包括外壳，所述外壳下表面与固定板上表面固定连接，所述外壳内壁与第一电机固定连接，所述第一电机输出轴与丝杠固定连接，所述丝杠表面与螺纹座内壁螺纹连接，所述L型杆一端与夹板固定连接，通过夹持结构和U型座的配合，将铝筒从U型座送进外壳上的圆孔内，使铝筒一端贯穿外壳，接通第一电机的外接电源，第一电机启动带动丝杠转动，带动螺纹座向下移动，带动两边的直杆相对摆动，同时带动两个连杆相对摆动，带动两个L型杆相对摆动，将铝筒进行夹持，铝筒还会有大部分区域暴露，方便对铝筒的加工。工。工。


技术研发人员：李其伍
受保护的技术使用者：苏州市恩润精密机械有限公司
技术研发日：2022.12.17
技术公布日：2023/3/28