一种静电吸附盘清洁结构的制作方法

本发明属于静电吸附盘，具体为一种静电吸附盘清洁结构。

背景技术：

1、在晶圆的刻蚀、物理气相沉积和化学气相沉积等工艺步骤中，通常需要采用静电吸附装置来固定和支撑晶圆，静电吸附装置一般包括基座以及设置在基座上用于吸附晶圆的静电吸附盘，静电吸附装置利用静电吸附原理将待加工的晶圆吸附在静电吸附盘表面，避免了晶圆在进行工艺处理过程中发生移位或者错位；

2、但是，现有的静电吸附装置中的静电吸附盘表面常常会聚集一些杂质粒子，而现有的静电吸附装置仅仅用于吸附晶圆，对于静电吸附盘表面的杂质粒子无任何去除措施，这不仅会导致静电吸附机台产生错误报警，影响晶圆处理工序的正常进行，而且还有可能造成晶圆表面的损伤，目前，对静电吸附装置中静电吸附盘表面杂质粒子的清除，只能依靠工作人员定期开腔、人工维护，导致效率慢，且加大了人力成本的投入，为此我们提出一种静电吸附盘清洁结构用于解决上述问题。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种静电吸附盘清洁结构，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种静电吸附盘清洁结构，包括圆形基座，所述圆形基座侧面底部安装有连接挡板，所述圆形基座顶部设置有静电吸附盘，所述静电吸附盘表面中间设置有连通槽，所述连通槽内连接有安装套，所述安装套侧面连接有扇形的清洁罩，所述清洁罩顶部一侧安装有第一电机，所述清洁罩内腔顶部通过轴承水平连接有螺纹杆，所述螺纹杆表面螺纹连接有螺纹套，所述螺纹套底部通过转轴安装有清扫刷，所述圆形基座内部中间设置有安装架，所述安装架顶部中间安装有第二电机，所述第二电机输出端与安装套之间设置有固定机构。

3、进一步，所述圆形基座底部中间安装有设备箱，所述设备箱内部安装有负压风机，所述负压风机输入端于圆形基座内部安装有连接管，所述连接管表面均匀连接有若干个吸尘管，且吸尘管一端设置在圆形基座侧表面。

4、进一步，所述连接挡板与吸尘管位置相对应，所述清洁罩侧面边缘设置有防护隔板，所述防护隔板底部与连接挡板顶部位置相对应。

5、进一步，所述固定机构包括连接在电动机输出端的转动轴，所述转动轴的外部设置有凸块，所述安装套内开设有固定孔，所述转动轴、凸块卡合在固定孔中。

6、进一步，所述转动轴的上端面开设有螺纹孔，所述螺纹孔内设置有螺纹轴，所述螺纹轴贯穿安装套的上端设置有固定块，所述固定块的下端面抵接安装套上端面。

7、进一步，所述第二电机输出轴贯穿连通槽，所述安装套与连通槽之间通过螺栓固定连接。

8、进一步，所述螺纹杆表面和第一电机的输出轴连接有齿轮，且两个齿轮之间相互咬合传动连接。

9、进一步，所述清洁罩内腔顶部开设有限位滑槽，所述螺纹套与限位滑槽相嵌合滑动连接，所述清扫刷与静电吸附盘表面贴合。

10、进一步，所述圆形基座底部四角安装有支撑脚。

11、与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明通过设置清洁罩，在整个静电吸附盘需要清洁吹扫时，只需将清洁罩通过连通槽安装在第二电机的输出轴上，然后启动第一电机和第二电机，由第二电机带动整个清洁罩围绕静电吸附盘进行旋转，同时第一电机带动螺纹杆旋转，使清扫刷对静电吸附盘表面进行清扫，随后启动负压风机，负压风机通过吸尘管将静电吸附盘表面清扫下来的杂质粒子进行吸除，并通过收集袋对杂质粒子进行收取，从而可实现清静电吸附盘表面的清洁作业，减少了人力成本的投入，防止静电吸附盘表面残留的杂质粒子对晶盘的表面造成损伤；固定套插接固定，快速方便，配合固定块、螺纹轴、固定块，使得配合插接固定，固定牢固可靠，且方便安装拆卸，节省其清理时间。

技术特征：

1.一种静电吸附盘清洁结构，包括圆形基座(1)，其特征在于：所述圆形基座(1)侧面底部安装有连接挡板(5)，所述圆形基座(1)顶部设置有静电吸附盘(3)，所述静电吸附盘(3)表面中间设置有连通槽(15)，所述连通槽(15)内设置有安装套(16)，所述安装套(16)侧面连接有扇形的清洁罩(2)，所述清洁罩(2)顶部一侧安装有第一电机(8)，所述清洁罩(2)内腔顶部通过轴承水平连接有螺纹杆(17)，所述螺纹杆(17)表面螺纹连接有螺纹套(20)，所述螺纹套(20)底部通过转轴安装有清扫刷(21)，所述圆形基座(1)内部中间设置有安装架(10)，所述安装架(10)顶部中间安装有第二电机(14)，所述第二电机(14)输出端与安装套(16)之间设置有固定机构(22)。

2.根据权利要求1所述的一种静电吸附盘清洁结构，其特征在于：所述圆形基座(1)底部中间安装有设备箱(9)，所述设备箱(9)内部安装有负压风机(11)，所述负压风机(11)输入端于圆形基座(1)内部安装有连接管(13)，所述连接管(13)表面均匀连接有若干个吸尘管(6)，且吸尘管(6)一端设置在圆形基座(1)侧表面。

3.根据权利要求2所述的一种静电吸附盘清洁结构，其特征在于：所述连接挡板(5)与吸尘管(6)位置相对应，所述清洁罩(2)侧面边缘设置有防护隔板(7)，所述防护隔板(7)底部与连接挡板(5)顶部位置相对应。

4.根据权利要求1所述的一种静电吸附盘清洁结构，其特征在于：所述固定机构(22)包括连接在电动机(14)输出端的转动轴(222)，所述转动轴(222)的外部设置有凸块(221)，所述安装套(16)内开设有固定孔(226)，所述转动轴(222)、凸块(221)卡合在固定孔(226)中。

5.根据权利要求4所述的一种静电吸附盘清洁结构，其特征在于：所述转动轴(222)的上端面开设有螺纹孔(225)，所述螺纹孔(225)内设置有螺纹轴(224)，所述螺纹轴(224)贯穿安装套(16)的上端设置有固定块(223)，所述固定块(223)的下端面抵接安装套(16)上端面。

6.根据权利要求1所述的一种静电吸附盘清洁结构，其特征在于：所述螺纹杆(17)表面和第一电机(8)的输出轴连接有齿轮(18)，且两个齿轮(18)之间相互咬合传动连接。

7.根据权利要求1所述的一种静电吸附盘清洁结构，其特征在于：所述清洁罩(2)内腔顶部开设有限位滑槽(19)，所述螺纹套(20)与限位滑槽(19)相嵌合滑动连接，所述清扫刷(21)与静电吸附盘(3)表面贴合。

8.根据权利要求1所述的一种静电吸附盘清洁结构，其特征在于：所述圆形基座(1)底部四角安装有支撑脚(4)。

技术总结
本发明公开了一种静电吸附盘清洁结构，属于静电吸附盘技术领域，包括圆形基座，所述圆形基座侧面底部安装有连接挡板，本发明通过设置清洁罩，在整个静电吸附盘需要清洁吹扫时，只需将清洁罩通过连通槽安装在第二电机的输出轴上，然后启动第一电机和第二电机，由第二电机带动整个清洁罩围绕静电吸附盘进行旋转，同时第一电机带动螺纹杆旋转，使清扫刷对静电吸附盘表面进行清扫，随后启动负压风机，负压风机通过吸尘管将静电吸附盘表面清扫下来的杂质粒子进行吸除，并通过收集袋对杂质粒子进行收取，从而可实现清静电吸附盘表面的清洁作业，减少了人力成本的投入，防止静电吸附盘表面残留的杂质粒子对晶盘的表面造成损伤。

技术研发人员：胡敏捷,王贤武
受保护的技术使用者：合肥英仕博精密装备有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13