一种PIN针升降和电机制冷一体化清洗结构的制作方法

本发明属于晶圆制造领域，具体为一种pin针升降和电机制冷一体化清洗结构。

背景技术：

1、根据授权公告号为“cn208434203u”，发明名称为“一种自动插pin装置”的专利文件，其说明书中记载：在插针升降凸轮转动的过程中，插针升降凸轮推动辅助凸轮移动，从而使得送针块实现升降，pin插针机构还包括止回块，止回块设置在送针块的上方与pin插针机构支架固定连接，pin插针机构还包括用于固定插针的固定块，通过电机带动插针升降，pin插针机构循环运动来实现pin针自动供料、自动插pin针，同时，pin插针机构的可以自动切料、自动插针工作，而且速度快，插针高度一致，其具有节省人工，加工速度快，提高效率，插pin针高度一致等优点，插针刀头安装在送针块的下端，切刀安装在插针刀头上，在使用时，通过电机带动凸轮转动，而pin针的底端与凸轮的顶壁接触，从而在凸轮转动时，带动pin针进行往复升降运动；但仍存在以下缺陷：

2、在pin针进行升降运动过程中，pin针表面易沾附上空气中的灰尘，并在移动过程中，将灰尘带入到测试座内部，继而造成测试座内部灰尘堆积，从而可能造成测试座损坏。

技术实现思路

1、针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本发明提供一种pin针升降和电机制冷一体化清洗结构，有效的解决了目前pin针移动时易沾附灰尘，并将灰尘带入测试座，可能造成测试座损坏的问题。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种pin针升降和电机制冷一体化清洗结构，包括安装板，所述安装板的一侧安装有电机安装箱，电机安装箱的内部安装有电机本体，电机本体的输出轴贯穿至安装板的另一侧，电机本体的输出轴一端安装有凸轮，凸轮位于安装板远离电机安装箱的一侧，安装板靠近凸轮的一侧等距安装有导向板，导向板位于凸轮的上方，导向板上开设有导向槽，导向槽的内部活动安装有pin针本体，pin针本体的底端与凸轮的顶壁接触，电机安装箱上安装有制冷器，制冷器的一端安装有冷端，制冷器的另一端安装有热端，冷端位于电机安装箱的内部，热端位于电机安装箱的上方，安装板的内部安装有同步转动驱动组件；

3、同步转动驱动组件包括开设于安装板内部的内腔，内腔的内部设有大齿轮，大齿轮上安装有第一转轴，第一转轴与内腔的内壁转动连接，大齿轮的下方设有热端散热组件，大齿轮的上方设有pin针清洁扫灰组件。

4、优选的，所述大齿轮的两侧对称设有竖杆，两个竖杆相互靠近的一侧等距设有同方向转动单元，内腔靠近凸轮的一侧开设有滑槽，滑槽的内部滑动安装有滑杆，滑杆的底端安装有底杆，底杆的底端与凸轮的顶壁接触，滑杆上对称设有限位板，两个限位板分别位于滑槽的两侧，竖杆靠近限位板的一侧安装有连杆，连杆与位于内腔内部的限位板固定连接。

5、优选的，所述同方向转动单元包括等距且对称安装于两个竖杆相互靠近一侧的支撑板，同一高度的两个支撑板之间安装有固定轴，固定轴上转动连接有齿牙板，齿牙板靠近大齿轮的一端设置呈梯形状，齿牙板与大齿轮相啮合，齿牙板与固定轴之间安装有扭簧。

6、优选的，所述竖杆靠近齿牙板的一侧均等距安装有挡板，其中一侧的挡板与齿牙板的底壁接触，另一侧的挡板与齿牙板的顶壁接触，竖杆的内部安装有齿牙板辅助转动单元。

7、优选的，所述齿牙板辅助转动单元包括开设于竖杆内部的内槽，齿牙板靠近竖杆的一侧安装有尾部板，尾部板位于内槽的内部，尾部板远离齿牙板的一侧设有活动板，内槽的内部安装有导向杆，导向杆的两端分别与内槽的内顶壁和内底壁固定连接，活动板上开设有导向孔，导向孔与导向杆滑动连接，导向杆上等距安装有挡块，挡块位于齿牙板远离挡板的一侧，挡块与活动板接触。

8、优选的，所述活动板上开设有滑动槽，滑动槽的内部滑动安装有滑动板，滑动板靠近尾部板的一侧安装有转头，转头上转动连接有转座，转座与尾部板固定连接。

9、优选的，所述竖杆的内部活动安装有纵向杆，纵向杆与各个活动板均固定连接，纵向杆的顶端贯穿至竖杆的顶端，纵向杆的顶端安装有顶板，顶板的底端安装有第一弹簧，第一弹簧的底端与竖杆的顶壁固定连接。

10、优选的，所述热端散热组件包括转动连接于安装板靠近电机安装箱一侧的第三转轴，第三转轴上对称安装有限位侧板，两个限位侧板分别与内腔的内外两侧接触，第三转轴位于内腔内部的一端安装有下齿轮，下齿轮与大齿轮的底壁相啮合，第三转轴的另一端安装有转柱，转柱上等角度安装有扇叶，转柱与热端位于同一水平线上。

11、优选的，所述pin针清洁扫灰组件包括开设于导向板内部的连通槽，连通槽的顶壁和底壁对称开设有限位环槽，限位环槽位于导向槽的外侧，连通槽的内部安装有转动环，转动环的顶端和底端对称安装有限位环，限位环转动安装于限位环槽的内部，限位环与导向槽中心轴线相同，转动环的内壁上均匀安装有刷毛，转动环的外侧安装有带轮环，内腔的内部等距设有带轮，带轮与转动环相平齐，带轮与带轮环的外侧安装有轮带。

12、优选的，所述内腔的内部纵向设置有连接杆，连接杆与多个带轮固定连接，带轮与连接杆的轴线重合，内腔的内部上对称设有固定块，固定块与连接杆转动连接，固定块的上下两侧对称设有限位块，限位块与连接杆固定连接，连接杆的底端安装有第一斜齿轮，第一斜齿轮的下方啮合连接有第二斜齿轮，第二斜齿轮的一侧安装有上齿轮，上齿轮的底端与大齿轮相啮合，上齿轮的一侧安装有第二转轴，第二转轴与内腔的内壁转动连接。

13、与现有技术相比，本发明的有益效果是：

14、(1)、本发明，通过电机本体与制冷器串联，在电机本体开启后凸轮转动，pin针本体的底端与凸轮的顶壁接触，从而使得pin针本体在凸轮作用下往复升降运动，同时制冷器开启，使得冷端温度降低对电机本体进行制冷，而热端温度升高且位于电机安装箱的外侧，方便热端进行散热；

15、(2)、该发明通过凸轮转动带动底杆上下往复移动，继而带动大齿轮两侧的竖杆上下往复移动，竖杆上的齿牙板与大齿轮相啮合，从而带动大齿轮转动，大齿轮与下方的下齿轮相啮合，从而带动扇叶转动，不断带动冷空气靠近热端，提高热端的散热效果，从而提高冷端对电机本体的制冷效果；

16、(3)、该发明通过竖杆向上移动时，下方设有挡板一侧的齿牙板无法向下转动，另一侧齿牙板能够转动，从而通过一侧的齿牙板带动大齿轮转动，竖杆向下移动时，上方设有挡板一侧的齿牙板无法向上转动，另一侧齿牙板能够转动，从而带动大齿轮能够一直朝着一个方向转动，从而使得扇叶的转动方向相同，从而对热端能够一直产生散热效果，提高对电机本体的制冷效果；

17、(4)、该发明通过大齿轮转动带动上齿轮转动，并通过第二斜齿轮与第一斜齿轮带动连接杆转动，而连接杆上的带轮与pin针本体外侧的带轮环外侧设有轮带，连接杆转动带动转动环转动，使得刷毛对导向槽中的pin针本体外壁进行清洁，方便pin针本体的使用；

18、(5)、该发明通过齿牙板的一侧设有尾部板，尾部板与滑动板转动连接，而滑动板滑动连接于滑动槽内部，在齿牙板转动后带动活动板纵向移动，而多个活动板通过纵向杆相连接，使得所有齿牙板均转动一定角度，减少大齿轮与能够转动一侧的齿牙板接触，减少大齿轮的磨损，提高大齿轮的转动稳定性，提高对热端的散热效果和对pin针本体的清洁效果。