本发明涉及光学薄膜，尤其是涉及一种大尺寸k9镜片超声波清洗方法。
背景技术：
1、高功率激光系统中对薄膜元件的基本要求主要有三方面：光谱、损伤阈值和面形。其中薄膜的损伤性能的优劣直接决定了激光的输出性能，而且危及高功率激光系统的使用寿命。节瘤和纳米吸收中心缺陷是限制薄膜损伤阈值提高的主要因素，基底表面和亚表面中的残余污染物是形成这两类缺陷的主要来源，只有彻底清洗干净镜片表面的颗粒和污染才能有效地减少节瘤和纳米吸收中心缺陷引起的损伤，最终提高薄膜元件的损伤性能。
2、光学镜片在加工过程中会产生灰尘、油污等污染物附着在镜片表面，需要在镀膜前对镜片清洗干净。目前的清洗工艺主要有手工擦拭和超声波清洗两种方式，然而超声波设备尺寸的限制，现有清洗方法更多针对的是小尺寸镜片，如直径100mm以下；对于直径100mm以上的镜片主要采用手工擦拭的方式，手工擦拭的镜片无法有效清除镜片表面的微小颗粒(颗粒尺寸小于5μm)，同时还会有擦拭痕迹，在镀膜后显现出来。
3、由于k9镜片材质与适应镜片不同，其清洗方法相较于石英镜片也更为严苛。
4、针对以上问题，急需一种有效去除大尺寸k9镜片表面颗粒和污染，从而提高薄膜元件损伤性能的超声波清洗方法。
技术实现思路
1、为了解决上述问题，本发明的目的是提供一种大尺寸k9镜片超声波清洗方法。本发明首先将经过抛光预处理的大尺寸k9镜片置于第一药剂槽中进行超声波清洗，清洗后将大尺寸k9镜片置于喷淋槽进行一次喷淋清洗；然后将大尺寸k9镜片置于第二药剂槽进行超声波清洗，清洗后将大尺寸k9镜片置于喷淋槽进行二次喷淋清洗；然后将大尺寸k9镜片依次置于第一漂洗槽、第二漂洗槽、第三漂洗槽、第四漂洗槽中进行超声波清洗；最后对大尺寸k9镜片进行慢提拉脱水处理，烘干，完成大尺寸k9镜片超声波清洗。本发明的方法可以在避免大尺寸k9镜片表面的出现手工擦拭痕迹的同时，有效除去大尺寸k9镜片表面的微小颗粒(低频率超声去除镜片表面的大颗粒，高频率去除镜片表面的微小颗粒)。
2、本发明的目的可以通过以下技术方案来实现：
3、本发明提供一种大尺寸k9镜片超声波清洗方法，具体包括以下步骤：
4、(s1)将经过抛光预处理的大尺寸k9镜片置于第一药剂槽中进行超声波清洗；
5、(s2)步骤(s1)结束后，将大尺寸k9镜片置于喷淋槽进行一次喷淋清洗；
6、(s3)步骤(s2)结束后，将大尺寸k9镜片置于第二药剂槽进行超声波清洗；
7、(s4)步骤(s3)结束后，将大尺寸k9镜片置于喷淋槽进行二次喷淋清洗；
8、(s5)步骤(s4)结束后，将大尺寸k9镜片依次置于第一漂洗槽、第二漂洗槽、第三漂洗槽、第四漂洗槽中进行超声波清洗；
9、(s6)步骤(s5)结束后，对大尺寸k9镜片进行慢提拉脱水处理，烘干，完成大尺寸k9镜片超声波清洗；
10、其中，大尺寸k9镜片为直径为100mm～500mm的k9镜片。
11、在本发明的实施方式中，步骤(s1)中，抛光预处理具体包括以下步骤：
12、将大尺寸k9镜片固定后利用sio2抛光液进行抛光，然后利用去离子水进行清洗。
13、更具体的，抛光预处理具体包括以下步骤：
14、(s101)将大尺寸k9镜片放置清洗架中，根据镜片尺寸固定位置，确保镜片安全，镜片尺寸直径为100mm～500mm；
15、(s102)擦拭纸蘸取些许sio2抛光液均匀抛光镜片整个表面；
16、(s103)抛光完成后，用去离子水冲洗镜片表面，把sio2抛光液冲洗干净。
17、在本发明的实施方式中，步骤(s1)中，第一药剂槽中容纳有ph为8的弱碱性药剂；
18、超声波清洗过程中，温度为40℃～60℃，超声清洗频率为40khz～120khz，超声功率为1800w～2700w，每个超声清洗频率的清洗时间为40s～140s。
19、在本发明的实施方式中，步骤(s2)中，喷淋过程中，喷淋液为去离子水；温度为35℃～45℃，时间为1.5min～2.5min，喷淋功率为1800w～2700w。
20、在本发明的实施方式中，步骤(s3)中，第二药剂槽中容纳有弱碱性药剂；
21、超声波清洗过程中，温度为40℃～60℃，超声清洗频率为80khz～270khz，超声功率为1800w～2700w，每个超声清洗频率的清洗时间为40s～140s。
22、在本发明的实施方式中，步骤(s4)中，喷淋过程中，喷淋液为去离子水；温度为35℃～45℃，时间为1.5min～2.5min，喷淋功率为1800w～2700w。
23、在本发明的实施方式中，步骤(s5)中，第一漂洗槽中，漂洗液为去离子水，超声波清洗过程中，超声清洗频率为80khz～270khz，超声功率为1800w～2700w，每个超声清洗频率的超声时间为40s～140s，温度为35℃～45℃；
24、第二漂洗槽中，漂洗液为去离子水，超声波清洗过程中，超声清洗频率为80khz～270khz，超声功率为1800w～2700w，每个超声清洗频率的超声时间为40s～140s，温度为35℃～45℃；
25、第三漂洗槽中，漂洗液为去离子水，超声波清洗过程中，超声清洗频率为80khz～270khz，超声功率为1800w～2700w，每个超声清洗频率的超声时间为40s～140s，温度为35℃～45℃；
26、第四漂洗槽中，漂洗液为去离子水，超声波清洗过程中，超声清洗频率为80khz～270khz，超声功率为1800w～2700w，每个超声清洗频率的超声时间为40s～140s，温度为55℃～65℃。
27、在本发明的实施方式中，步骤(s6)中，慢提拉脱水过程中，每分钟上升4cm～6cm。
28、在本发明的实施方式中，步骤(s6)中，慢提拉脱水过程中，每分钟上升5cm。
29、在本发明的实施方式中，步骤(s6)中，烘干过程汇总，温度为80℃～120℃，时间为8min～12min。
30、在本发明的实施方式中，烘干过程汇总，温度为100℃，时间为10min。
31、本发明，采用不同频率的超声波清洗方法，低频率超声波去除镜片表面的大颗粒，高频率去除镜片表面的微小颗粒，可以有效去除大尺寸k9镜片表面的颗粒和污染。
32、与现有技术相比，本发明具有以下有益效果：
33、(1)本发明的一种大尺寸k9镜片超声波清洗方法针对直径处于100mm～500mm的k9镜片，且清洗过程中无须多种化学试剂，方法简便，易于操作。
34、(2)本发明的一种大尺寸k9镜片超声波清洗方法可以有效除去大尺寸k9镜片表面的微小颗粒，避免大尺寸k9镜片表面的出现手工擦拭痕迹。
35、(3)本发明的一种大尺寸k9镜片超声波清洗方法可以同时清洗多个镜片，相比手工擦拭可以提高工作效率。