排气排液装置、晶圆容器载具及晶圆容器清洗设备的制作方法

本发明涉及半导体加工，具体涉及一种排气排液装置，以及具有该排气排液装置的晶圆容器载具及晶圆容器清洗设备。

背景技术：

1、晶圆盒被广泛用作传送和存储晶圆的专用容器。晶圆盒能够有效防止晶圆的破损和污染，保护晶圆的完整性。随着晶圆盒的多次使用，其洁净程度下降，因此需要定期对晶圆盒进行清洁处理。晶圆盒的有效清洁对于确保晶圆品质和制程良率具有至关重要的影响。

2、现有技术中有很多晶圆盒湿式清洗方法，例如，浸没式清洗、喷淋式清洗等，其中，浸没式清洗，是通过将载有晶圆盒的载具浸没至清洗液中，配合超声等手段并借助清洗液的传导实现对晶圆盒内颗粒、有机物等污染物的清洗。

3、对于浸没式清洗，为了尽可能地缩短处理时间，通常会将晶圆盒以倒置的方式浸没至清洗液中，这样能够提高对晶圆盒内壁的清洗效果，同时当晶圆盒在清洗完成后脱离清洗液时，晶圆盒内的清洗液能够从向下的开口中流出，能够尽量减少晶圆盒内壁残留的清洗液。

4、然而，在实际操作中，由于晶圆盒是以开口朝下的方式浸没至清洗液中的，晶圆盒在清洗液中会被清洗液隔离出一个充满空气的空腔，这样的空腔会产生较大的浮力，使得晶圆盒难以完全地浸没到清洗液中。此外，这样的空腔导致清洗液与晶圆盒内壁无法充分接触，从而导致清洗液无法对晶圆盒充分清洗。

5、对于上述问题，若是直接在载具上加装排气装置，在晶圆盒浸没到清洗液中的过程中，排气装置可以排出晶圆盒内部被清洗液隔离的空气，从而可以保证晶圆盒与清洗液的良好接触。但是在晶圆盒完全沉入清洗液中后，清洗液就会通过排气装置位于晶圆盒内的排气口进入排气通道，并留在排气通道中，这样就会堵住载具的排气通道，影响下一次的排气使用。

技术实现思路

1、本发明的目的是提供一种排气排液装置，以解决现有技术的一个或多个问题。

2、为达到上述目的，本发明采用的技术方案是：一种排气排液装置，所述排气排液装置包括排液组件与管道组件，其中，所述排液组件包括：

3、排液座，所述排液座上设有排液通道与排液口，所述排液通道沿上下方向延伸，所述排液口位于所述排液通道的上方；

4、塞体，所述塞体能够沿上下方向运动地设置在所述排液通道中且用于关闭或打开所述排液口；

5、限位件，所述限位件可拆卸地设于所述排液通道的底部，能够将所述塞体限制在所述排液通道中；

6、所述管道组件包括第一管道与第二管道，所述第一管道与所述第二管道分别连接在所述排液座上并与所述排液口相互连通，所述第一管道上设有第一开口，所述第二管道上设有第二开口，沿竖直方向上，所述第一开口的高度低于第二开口的高度。

7、优选地，所述排液口的横截面面积小于所述排液通道的横截面面积，所述塞体在所述排液通道中具有第一位置与第二位置，其中，所述第一位置高于所述第二位置，所述塞体处于所述第一位置下，所述排液口关闭；所述塞体处于所述第二位置下，所述排液口打开。

8、在一些实施例中，所述塞体上设置有若干个沿上下方向贯通的排液孔，当所述塞体处于所述第一位置下，所述排液孔自上方被封堵；当所述塞体处于所述第二位置下，所述排液口、所述排液通道及所述排液孔沿上下方向相互连通。

9、在一些实施例中，所述排液通道与所述排液口相接处形成有朝向所述排液通道的限位面，当所述塞体处于所述第一位置下，所述限位面与所述塞体的上端面相互贴靠，使得所述排液孔的上部由所述限位面封堵；当所述塞体处于所述第二位置下，所述限位面与所述塞体的上端面沿上下方向具有间距。

10、在一些实施例中，所述限位件上设置有沿上下方向贯穿的避让孔或避让槽，所述避让孔或所述避让槽的周向侧壁位于所述排液孔的径向外侧。

11、在一些实施例中，所述塞体呈柱状，所述塞体的外侧周面与所述排液通道的内侧周壁之间间隙配合；或者，所述塞体呈球状，所述塞体的直径大于所述排液口的直径。

12、本发明的另一目的是提供一种具有上述排气排液装置的晶圆容器载具。

13、为达到上述目的，本发明采用的技术方案是：一种晶圆容器载具，包括载具架和与所述载具架连接的至少一个排气排液装置，所述排气排液装置如上所述。

14、优选地，所述排气排液装置可拆卸地设置在所述载具架上。

15、在一些实施例中，所述载具架具有底框、自所述底框向上延伸的多个竖框，所述竖框与所述底框之间形成框型的安装区域，所述安装区域的四个角部均设置有所述的排气排液装置。

16、本发明的又一目的是提供一种晶圆容器清洗设备，其至少包括用于支撑晶圆容器的晶圆容器载具，所述晶圆容器载具如上所述。

17、由于上述技术方案的运用，本发明与现有技术相比具有下列优点：本发明提供的一种排气排液装置，该排气排液装置在安装至载具架上而用于晶圆容器清洗时，在载有晶圆容器的载具进入至清洗液的过程中，排液口能够被塞体所封闭，使得晶圆容器内部能够充分地接触到清洗液；在载有晶圆容器的载具从清洗液中提出后，排液口能够被自动打开，使得管道组件内的清洗液能够被向外排出，避免清洗液蓄积在管道组件内而影响下一次使用。

技术特征：

1.一种排气排液装置，其特征在于，所述排气排液装置包括排液组件与管道组件，其中，所述排液组件包括：

2.根据权利要求1所述的排气排液装置，其特征在于：所述排液口的横截面面积小于所述排液通道的横截面面积，所述塞体在所述排液通道中具有第一位置与第二位置，其中，所述第一位置高于所述第二位置，所述塞体处于所述第一位置下，所述排液口关闭；所述塞体处于所述第二位置下，所述排液口打开。

3.根据权利要求2所述的排气排液装置，其特征在于：所述塞体上设置有若干个沿上下方向贯通的排液孔，当所述塞体处于所述第一位置下，所述排液孔自上方被封堵；当所述塞体处于所述第二位置下，所述排液口、所述排液通道及所述排液孔沿上下方向相互连通。

4.根据权利要求3所述的排气排液装置，其特征在于：所述排液通道与所述排液口相接处形成有朝向所述排液通道的限位面，当所述塞体处于所述第一位置下，所述限位面与所述塞体的上端面相互贴靠，使得所述排液孔的上部由所述限位面封堵；当所述塞体处于所述第二位置下，所述限位面与所述塞体的上端面沿上下方向具有间距。

5.根据权利要求3所述的排气排液装置，其特征在于：所述限位件上设置有沿上下方向贯穿的避让孔或避让槽，所述避让孔或所述避让槽的周向侧壁位于所述排液孔的径向外侧。

6.根据权利要求2所述的排气排液装置，其特征在于：所述塞体呈柱状，所述塞体的外侧周面与所述排液通道的内侧周壁之间间隙配合；或者，所述塞体呈球状，所述塞体的直径大于所述排液口的直径。

7.一种晶圆容器载具，其特征在于：包括载具架和与所述载具架连接的至少一个排气排液装置，其中，所述排气排液装置如权利要求1至6任一项所述。

8.根据权利要求7所述的晶圆容器载具，其特征在于：所述排气排液装置可拆卸地设置在所述载具架上。

9.根据权利要求7所述的晶圆容器载具，其特征在于：所述载具架具有底框、自所述底框向上延伸的多个竖框，所述竖框与所述底框之间形成框型的安装区域，所述安装区域的四个角部均设置有所述的排气排液装置。

10.一种晶圆容器清洗设备，至少包括用于支撑晶圆容器的晶圆容器载具，其特征在于：所述晶圆容器载具如权利要求7至9任一项所述。

技术总结
本发明涉及一种排气排液装置、晶圆容器载具及晶圆容器清洗设备，排气排液装置包括排液组件与管道组件，排液组件包括排液座、塞体及限位件，排液座上设有排液通道与排液口，塞体能够沿上下方向运动地设置在排液通道中且用于关闭或打开排液口；限位件能够将塞体限制在排液通道中；管道组件包括第一管道与第二管道，第一管道与第二管道分别连接在排液座上并与排液口相互连通。该排气排液装置在安装至载具架上而用于晶圆容器清洗时，在载有晶圆容器的载具从清洗液中提出后，排液口能够被自动打开，使得管道组件内的清洗液能够被向外排出，避免清洗液蓄积在管道组件内而影响下一次使用。

技术研发人员：请求不公布姓名
受保护的技术使用者：江苏芯梦半导体设备有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/16