一种片盒夹取机构及晶圆清洗设备的制作方法

本技术涉及物料搬运的自动化设备，特别是一种片盒夹取机构及晶圆清洗设备。

背景技术：

1、目前，自动清洗机也有相关的夹取装置，通常是通过连杆机构来实现的，这种方式对工件加工装配精度要求高，易磨损和卡死，影响步进电机的使用寿命。

2、因此，如何设计一种片盒夹取机构及晶圆清洗设备，能够提高夹取装置的控制精度，减少磨损和卡死，是业界亟待解决的技术问题。

技术实现思路

1、针对现有技术中，夹取装置采用连杆机构实现，导致其控制精度低，且易磨损和卡死的问题，本实用新型提出了一种片盒夹取机构及晶圆清洗设备。

2、本实用新型的技术方案为，提出了一种片盒夹取机构，包括一夹取组件，所述夹取组件具有一对可用于承接负载的旋转轴，还包括设于所述旋转轴的末端的驱动组件，所述驱动组件具有一可带动所述旋转轴转动的电机、以及一连接所述电机与所述旋转轴的传动组件，所述传动组件通过与所述旋转轴齿轮啮合以传递动力。

3、进一步，所述传动组件包括安装于所述电机的丝杠上的连接板、以及对称分布于所述连接板两侧的驱动齿条，所述驱动齿条可在所述连接板的带动下随所述丝杠上下运动；

4、两个所述旋转轴分别延伸至所述驱动齿条两侧，且在每个所述旋转轴的上均设有固定件，所述固定件朝向所述驱动齿条的一侧设有传动齿条，所述传动齿条与所述驱动齿条啮合，以向所述旋转轴传递动力。

5、进一步，还包括用于固定所述电机的固定座，且所述固定座朝向所述驱动齿条的一侧设有滑轨，所述滑轨的布置方向与所述丝杠平行；

6、在所述连接板靠近所述滑轨处设有与之匹配的滑块，且所述滑块可在所述连

7、接板的带动下于所述滑轨上运动。

8、进一步，还包括用于安装所述驱动组件的安装盒、以及固定于所述安装盒内的安装板，所述旋转轴穿过所述安装盒的一个侧面，且使所述旋转轴末端设于所述安装板上，在所述旋转轴与所述安装盒和所述安装板的连接处均设有轴承，使所述旋转轴可绕其轴心转动。

9、进一步，所述夹取组件还包括一对分别设于两个所述旋转轴上的夹取挂钩，所述驱动组件可通过所述旋转轴调节两个夹取挂钩之间的开合状态，以用于夹取片盒。

10、进一步，所述夹取挂钩包括安装于所述旋转轴上的固定部、以及与所述固定部连接的夹取部，所述夹取部上设有至少两个竖杆，且每个所述竖杆上设置有至少一个用于夹取片盒的钩位。

11、进一步，所述钩位为设于所述竖杆的侧壁上的凹槽，且所述凹槽的宽度与所述竖杆的厚度一致、深度小于所述竖杆的宽度。

12、进一步，所述夹取部包括的竖杆分别为第一竖杆、第二竖杆、以及第三竖杆，且所述第一竖杆、第二竖杆、以及第三竖杆共面间隔设置，所述第二竖杆位于所述第一竖杆与所述第三竖杆之间；

13、所述第一竖杆和所述第三竖杆朝向所述第二竖杆的一侧设有至少一个钩位，

14、所述第二竖杆的两侧分别设有与之匹配的多个钩位。

15、进一步，所述第一竖杆和所述第三竖杆上设有第一钩位和第二钩位，所述第二竖杆两侧分别设有与所述第一钩位和所述第二钩位匹配的第三钩位和第四钩位，所述第二钩位设于所述第一钩位上方，所述第四钩位设于所述第三钩位上方，用于匹配不同的所述片盒。

16、本实用新型还提出了一种晶圆清洗设备，所述晶圆清洗设备具有上述片盒夹取机构。

17、与现有技术相比，本实用新型至少具有如下有益效果：

18、本实用新型通过齿轮啮合来传动动力，夹取组件同步转动、控制精度高，使用寿命长，整个机构解决了在制程中要求cst（片盒）倾斜5°，两cst中心间距偏小的难题。齿条齿轮结构简单，占用空间小，齿条采用斜面结构设计，解决了加工和装配误差，保证啮合的精度，从而保证整个夹取动作的稳定可靠，精度高可控。

技术特征：

1.一种片盒夹取机构，包括一夹取组件，所述夹取组件具有一对可用于承接负载的旋转轴，其特征在于，还包括设于所述旋转轴末端的驱动组件，所述驱动组件具有一可带动所述旋转轴转动的电机、以及一连接所述电机与所述旋转轴的传动组件，所述传动组件通过与所述旋转轴齿轮啮合以传递动力。

2.根据权利要求1所述的片盒夹取机构，其特征在于，所述传动组件包括安装于所述电机的丝杠上的连接板、以及对称分布于所述连接板两侧的驱动齿条，所述驱动齿条可在所述连接板的带动下随所述丝杠上下运动；

3.根据权利要求2所述的片盒夹取机构，其特征在于，还包括用于固定所述电机的固定座，且所述固定座朝向所述驱动齿条的一侧设有滑轨，所述滑轨的布置方向与所述丝杠平行；

4.根据权利要求1所述的片盒夹取机构，其特征在于，还包括用于安装所述驱动组件的安装盒、以及固定于所述安装盒内的安装板，所述旋转轴穿过所述安装盒的一个侧面，且使所述旋转轴的末端设于所述安装板上，在所述旋转轴与所述安装盒和所述安装板的连接处均设有轴承，使所述旋转轴可绕其轴心转动。

5.根据权利要求1所述的片盒夹取机构，其特征在于，所述夹取组件还包括一对分别设于两个所述旋转轴上的夹取挂钩，所述驱动组件可通过所述旋转轴调节两个夹取挂钩之间的开合状态，以用于夹取片盒。

6.根据权利要求5所述的片盒夹取机构，其特征在于，所述夹取挂钩包括安装于所述旋转轴上的固定部、以及与所述固定部连接的夹取部，所述夹取部上设有至少两个竖杆，且每个所述竖杆上设置有至少一个用于夹取片盒的钩位。

7.根据权利要求6所述的片盒夹取机构，其特征在于，所述钩位为设于所述竖杆的侧壁上的凹槽，且所述凹槽的宽度与所述竖杆的厚度一致、深度小于所述竖杆的宽度。

8.根据权利要求6所述的片盒夹取机构，其特征在于，所述夹取部包括的竖杆分别为第一竖杆、第二竖杆、以及第三竖杆，且所述第一竖杆、第二竖杆、以及第三竖杆共面间隔设置，所述第二竖杆位于所述第一竖杆与所述第三竖杆之间；

9.根据权利要求8所述的片盒夹取机构，其特征在于，所述第一竖杆和所述第三竖杆上设有第一钩位和第二钩位，所述第二竖杆两侧分别设有与所述第一钩位和所述第二钩位匹配的第三钩位和第四钩位，所述第二钩位设于所述第一钩位上方，所述第四钩位设于所述第三钩位上方，用于匹配不同的所述片盒。

10.一种晶圆清洗设备，其特征在于，包括如权利要求1至9任意一项权利要求所述的片盒夹取机构。

技术总结
本技术公开了一种片盒夹取机构及晶圆清洗设备，所述片盒夹取机构包括一夹取组件，所述夹取组件具有一对可用于承接负载的旋转轴，还包括设于所述旋转轴的末端的驱动组件，所述驱动组件具有一可带动所述旋转轴转动的电机、以及一连接所述电机与所述旋转轴的传动组件，所述传动组件与所述旋转轴通过齿轮啮合以传递动力。与现有技术相比，本技术通过齿轮啮合来传动动力，取缔了传统的连杆机构，提高了夹取组件的控制精度和使用寿命。

技术研发人员：左国军,柯国英,付正超
受保护的技术使用者：常州捷佳创精密机械有限公司
技术研发日：20230213
技术公布日：2024/1/12