一种炉管内壁清扫装置的制作方法

本技术属于光伏电池，更具体地说，是涉及一种炉管内壁清扫装置。

背景技术：

1、太阳能晶片在pecvd工序为晶体硅太阳能生产线中等离子体增强化学气相沉积工序，是以石墨舟为载体将去磷硅玻璃后的硅片放入石英炉管中，在400℃-450℃下进行沉积一层氮化硅的过程。目前，生产线一般使用管式设备，管式pecvd设备中的石英管为卧式炉管，长度约3.0m-3.5m，内有长约2.5m的热电偶探测仪。太阳能硅片在石英炉管中易产生碎片，若不及时清理，碎片压在石英炉管内热电偶探头上导致热电偶测温不准确，碎片还容易与石英管中的石墨舟接触，导致石墨舟短路，同时沉积的氮化硅也会附着的炉管内壁，形成氮化硅颗粒物。目前清理石英炉管内碎片的常用办法为炉管降温停产后，用石英耙子或普通吸尘器清理石英炉管内碎片，这两种清理方法功能单一，清理不彻底，又存在污染石英炉管的风险。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种炉管内壁清扫装置，以解决现有技术中存在的镀膜炉管内杂质清理效果差，且存在污染炉管的风险的技术问题。

2、为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：提供一种炉管内壁清扫装置，包括吹扫机构、刷除机构、连接杆、固定部及进气管道；

3、所述吹扫机构包括圆盘块体和出气孔组，所述圆盘块体内设有中空腔，所述出气孔组设于所述圆盘块体外圆面上，且所述出气孔与所述中空腔相连通，所述出气孔组中的多个所述出气孔沿所述圆盘块体的周向间隔布置；

4、所述刷除机构包括承载块体和多个毛刷，所述承载块体与所述圆盘块体平行间隔设置，所述承载块体的外侧面上设有弧形安装面；多个所述毛刷固定安装于所述弧形安装面上，且多个所述毛刷之间设有用于与镀膜炉管底部的石英部件相对应的避让缺口；

5、所述连接杆安装于所述圆盘块体和所述承载块体之间，且两端分别与所述圆盘块体和所述承载块体相靠近的侧面固定连接；

6、所述固定部固设于所述承载块体远离所述圆盘块体的一侧；所述固定部用于与镀膜设备的进出桨固定连接；

7、所述进气管道一端与所述圆盘块体固定连接，且与所述中空腔相连通；所述进气管道的另一端用于与压缩气源连接，用于向所述中空腔中输入高压气体。

8、在一种可能的实现方式中，所述出气孔为长条孔，且长度方向与所述圆盘块体的轴向相垂直。

9、在一种可能的实现方式中，所述圆盘块体上设有环形斜面，所述出气孔组开设于所述环形斜面上，所述出气孔的深度方向与所述环形斜面相垂直。

10、在一种可能的实现方式中，所述出气孔组为多个，均开设于所述环形斜面上；相邻的两个所述出气孔组交错布置。

11、在一种可能的实现方式中，所述环形斜面与所述圆盘块体的轴线之间的夹角为30-60度。

12、在一种可能的实现方式中，所述承载块体为扇形结构，所述扇形结构的外侧面为所述弧形安装面。

13、在一种可能的实现方式中，所述圆盘块体和所述承载块体同轴布置，且所述承载块体上设有贯穿孔，所述进气管道穿设于所述贯穿孔中。

14、在一种可能的实现方式中，所述进气管道上设有开关阀和调压阀。

15、在一种可能的实现方式中，所述固定部远离所述承载块体的一端开设连接孔，所述固定部的外侧面上开设与所述连接孔相连通的螺孔，所述螺孔上设有螺纹连接的紧固螺栓，镀膜设备的进出桨的端部穿设于所述连接孔内，并使用所述紧固螺栓锁紧固定。

16、在一种可能的实现方式中，所述连接孔贯穿所述固定部。

17、本实用新型提供的炉管内壁清扫装置的有益效果在于：与现有技术相比，本实用新型炉管内壁清扫装置，使用时，先将吹扫机构中的圆盘块体和刷除机构中的承载块体并列间隔设置，并使用连接杆将圆盘块体和承载块体相固定连接，进而使用进气管道与圆盘块体固定连接且相连通，然后将固定部与镀膜设备上的进出桨固定连接。启动进出桨，由进出桨控制整个装置的下端高于镀膜炉管的底部的状态下而运动至镀膜炉管的封闭端，然后由进出桨控制整个清扫装置向下移动，且承载块体上的避让开口与镀膜炉管内的石英部件配合安装，且毛刷与镀膜炉管底部相接触；启动压缩气源向进气管道内通入高压气体，高压气体进入到中空腔内后而穿过出气孔组中的多个出气孔，并且形成向外吹动的环形风刀，同时再次启动进出桨驱动整个装置自镀膜炉管的封闭端朝向镀膜炉管的开口端运动，由多个毛刷将石英部件两侧的区域上的杂质进行清扫，由多个出气孔形成的环形风刀对镀膜炉管内壁上的杂质吹掉清除，因而可以彻底、有效地将镀膜炉管内壁杂质清理掉，也消除了镀膜炉管被污染的风险。

技术特征：

1.一种炉管内壁清扫装置，其特征在于，包括吹扫机构、刷除机构、连接杆、固定部及进气管道；

2.如权利要求1所述的炉管内壁清扫装置，其特征在于，所述出气孔为长条孔，且长度方向与所述圆盘块体的轴向相垂直。

3.如权利要求2所述的炉管内壁清扫装置，其特征在于，所述圆盘块体上设有环形斜面，所述出气孔组开设于所述环形斜面上，所述出气孔的深度方向与所述环形斜面相垂直。

4.如权利要求3所述的炉管内壁清扫装置，其特征在于，所述出气孔组为多个，均开设于所述环形斜面上；相邻的两个所述出气孔组交错布置。

5.如权利要求3所述的炉管内壁清扫装置，其特征在于，所述环形斜面与所述圆盘块体的轴线之间的夹角为30-60度。

6.如权利要求1所述的炉管内壁清扫装置，其特征在于，所述承载块体为扇形结构，所述扇形结构的外侧面为所述弧形安装面。

7.如权利要求6所述的炉管内壁清扫装置，其特征在于，所述圆盘块体和所述承载块体同轴布置，且所述承载块体上设有贯穿孔，所述进气管道穿设于所述贯穿孔中。

8.如权利要求1所述的炉管内壁清扫装置，其特征在于，所述进气管道上设有开关阀和调压阀。

9.如权利要求1所述的炉管内壁清扫装置，其特征在于，所述固定部远离所述承载块体的一端开设连接孔，所述固定部的外侧面上开设与所述连接孔相连通的螺孔，所述螺孔上设有螺纹连接的紧固螺栓，镀膜设备的进出桨的端部穿设于所述连接孔内，并使用所述紧固螺栓锁紧固定。

10.如权利要求9所述的炉管内壁清扫装置，其特征在于，所述连接孔贯穿所述固定部。

技术总结
本技术提供了一种炉管内壁清扫装置，属于光伏电池技术领域，包括吹扫机构、刷除机构、连接杆、固定部及进气管道；吹扫机构包括圆盘块体和出气孔组，刷除机构包括承载块体和多个毛刷，多个毛刷之间设有避让缺口；连接杆安装于圆盘块体和承载块体之间，固定部固设于承载块体上，且与镀膜设备的进出桨固定连接；进气管道一端与圆盘块体固定连接，进气管道的另一端用于与压缩气源连接。本技术提供的炉管内壁清扫装置，由多个毛刷将石英部件两侧的区域上的杂质进行清扫，由多个出气孔形成的环形风刀对镀膜炉管内壁上的杂质吹掉清除，因而可以彻底、有效地将镀膜炉管内壁杂质清理掉，也消除了镀膜炉管被污染的风险。

技术研发人员：张煌军,冉祖辉,韩永清,赵鹏,杨川,刘彩凤,谢宏飞,张志强,赵强
受保护的技术使用者：英利能源发展（保定）有限公司
技术研发日：20230412
技术公布日：2024/1/12