一种从铝钼蚀刻液中回收磷酸和醋酸的装置的制作方法

本技术涉及tft-lcd面板蚀刻，尤其涉及一种从铝钼蚀刻液中回收磷酸和醋酸的装置。

背景技术：

1、近几年，我国面板行业发展迅速，成为全球最大显示屏生产国，其中tft-lcd蚀刻制程会用到铝钼酸性蚀刻液，铝钼蚀刻液成分包括磷酸、硝酸、醋酸、纯水以及少许盐类添加剂，在蚀刻过程中，磷酸基本不会被消耗，硝酸作为氧化剂会被消耗，醋酸由于挥发性强也会被消耗一部分，为保证工艺的稳定性，工艺机台会设置补酸系统，对硝酸和醋酸进行及时补足。

2、上述蚀刻过程中，会产生大量的废蚀刻液，废蚀刻液中含有大量的磷酸、醋酸和少量的硝酸，还含有铝和钼金属离子，以及不溶性悬浮颗粒物，悬浮颗粒物主要为蚀刻机台运行过程产生的机械杂质及基板从前制程带来的胶体颗粒。

3、公开号为cn214004335u的专利中公开了一种废铝蚀刻液处理系统，能够实现磷酸、硝酸和醋酸的分别处理，并能够实现硝酸钠、醋酸钠的回收利用，但是，上述技术对废蚀刻液的处理方式主要为加碱中和，这种方式不仅成本高而且浪费资源。

技术实现思路

1、有鉴于此，本实用新型提出了一种从铝钼蚀刻液中回收磷酸和醋酸的装置，来解决现有技术中废蚀刻液处理成本高且处理过程中有资源浪费的问题。

2、本实用新型的技术方案是这样实现的：

3、本实用新型提供了一种从铝钼蚀刻液中回收磷酸和醋酸的装置，包括依次连通的过滤系统、混酸蒸发分离系统、萃取系统和醋酸蒸发收集系统，还包括依次连通的磷酸结晶系统和磷酸晶体过滤系统，磷酸结晶系统连通混酸蒸发分离系统；其中，

4、所述过滤系统包括依次连通的废液罐、粗滤器和精滤器；

5、所述混酸蒸发分离系统包括与精滤器连通的第一蒸发罐；

6、所述萃取系统包括相互连通的第一冷凝器和萃取罐；第一冷凝器连通第一蒸发罐；

7、所述醋酸蒸发收集系统包括依次连通的第二蒸发罐、第二冷凝器和醋酸收集罐，还包括萃取剂收集罐；第二蒸发罐连通萃取罐，第二蒸发罐还连通萃取剂收集罐；

8、所述磷酸结晶系统包括连通第一蒸发罐的磷酸结晶罐；

9、所述磷酸晶体过滤系统包括连通磷酸结晶罐的磷酸晶体过滤罐。

10、在以上技术方案的基础上，优选的，所述过滤系统还包括第一填料和第一过滤网，其中，

11、所述第一填料设置在粗滤器中；

12、所述第一过滤网设置在精滤器中；所述第一过滤网为袋式过滤网，第一过滤网的孔径为15-25μm。

13、在以上技术方案的基础上，优选的，所述第一蒸发罐包括罐体、取样口、第一加料口、第一出口和第一进口，其中，

14、所述第一蒸发罐的罐体顶部设置第一加料口，底部设置取样口；

15、所述第一蒸发罐的罐体上部设置第一出口，下部设置第一进口；

16、所述第一蒸发罐的罐壁上设有第一夹层，第一出口和第一进口均连通第一夹层。

17、在以上技术方案的基础上，优选的，所述混酸蒸发分离系统还包括第一搅拌电机和第一搅拌桨，其中，

18、所述第一搅拌桨位于第一蒸发罐内部，第一搅拌桨的搅拌轴伸出第一蒸发罐后连接第一搅拌电机。

19、在以上技术方案的基础上，优选的，所述萃取系统还包括第二搅拌电机和第二搅拌桨；其中，

20、所述第二搅拌桨设置在萃取罐的内部，第二搅拌桨的搅拌轴伸出萃取罐后连接第二搅拌电机。

21、在以上技术方案的基础上，优选的，所述醋酸蒸发收集系统还包括第三搅拌电机和第三搅拌桨，其中，

22、所述第三搅拌桨设置在第二蒸发罐的内部，第三搅拌桨的搅拌轴伸出第二蒸发罐后连接第三搅拌电机。

23、在以上技术方案的基础上，优选的，所述第二蒸发罐包括罐体、第二出口和第二入口，其中，

24、所述第二出口设置在第二蒸发罐的罐体上部；

25、所述第二入口设置在第二蒸发罐的罐体下部；

26、所述第二蒸发罐的罐壁还设置第二夹层，第二出口和第二入口均连通第二夹层。

27、在以上技术方案的基础上，优选的，所述磷酸结晶系统还包括第四搅拌电机和第四搅拌桨；其中，

28、第四搅拌桨设置在磷酸结晶罐的内部，第四搅拌桨的搅拌轴伸出磷酸结晶罐后连接第四搅拌电机。

29、在以上技术方案的基础上，优选的，所述磷酸结晶罐包括罐体、第三出口、第三进口和第三加料口，其中，

30、所述第三加料口设置在磷酸结晶罐的罐体顶部；

31、所述第三出口设置在磷酸结晶罐的罐体上部；

32、所述第三进口设置在磷酸结晶罐的罐体下部；

33、所述磷酸结晶罐的罐壁上设置第三夹层，第三出口和第三进口均连通第三夹层。

34、在以上技术方案的基础上，优选的，所述磷酸晶体过滤系统还包括第二过滤网，第二过滤网设置在磷酸晶体过滤罐中，第二过滤网为袋式过滤网，第二过滤网的孔径为150-250目。

35、本实用新型的从铝钼蚀刻液中回收磷酸和醋酸的装置相对于现有技术具有以下有益效果：

36、1、通过蒸发浓缩的方式使醋酸和磷酸分离，再通过萃取法回收醋酸，结晶溶解方法回收磷酸，不通过加碱中和的方式，操作比较简单。

37、2、整个过程中的萃取剂可重复使用，资源不产生浪费；整个工艺过程，使用的原料少，设备较为简单，原料成本和设备成本较低。

技术特征：

1.一种从铝钼蚀刻液中回收磷酸和醋酸的装置，其特征在于：包括依次连通的过滤系统(1)、混酸蒸发分离系统(2)、萃取系统(3)和醋酸蒸发收集系统(4)，还包括依次连通的磷酸结晶系统(5)和磷酸晶体过滤系统(6)，磷酸结晶系统(5)连通混酸蒸发分离系统(2)；其中，

2.如权利要求1所述的从铝钼蚀刻液中回收磷酸和醋酸的装置，其特征在于：所述过滤系统(1)还包括第一填料(14)和第一过滤网(15)，其中，

3.如权利要求1所述的从铝钼蚀刻液中回收磷酸和醋酸的装置，其特征在于：所述第一蒸发罐(21)包括罐体、取样口(211)、第一加料口(212)、第一出口(213)和第一进口(214)，其中，

4.如权利要求3所述的从铝钼蚀刻液中回收磷酸和醋酸的装置，其特征在于：所述混酸蒸发分离系统(2)还包括第一搅拌电机(22)和第一搅拌桨(23)，其中，

5.如权利要求1所述的从铝钼蚀刻液中回收磷酸和醋酸的装置，其特征在于：所述萃取系统(3)还包括第二搅拌电机(33)和第二搅拌桨(34)；其中，

6.如权利要求1所述的从铝钼蚀刻液中回收磷酸和醋酸的装置，其特征在于：所述醋酸蒸发收集系统(4)还包括第三搅拌电机(42)和第三搅拌桨(43)，其中，

7.如权利要求1所述的从铝钼蚀刻液中回收磷酸和醋酸的装置，其特征在于：所述第二蒸发罐(41)包括罐体、第二出口(411)和第二入口(412)，其中，

8.如权利要求1所述的从铝钼蚀刻液中回收磷酸和醋酸的装置，其特征在于：所述磷酸结晶系统(5)还包括第四搅拌电机(52)和第四搅拌桨(53)；其中，

9.如权利要求8所述的从铝钼蚀刻液中回收磷酸和醋酸的装置，其特征在于：所述磷酸结晶罐(51)包括罐体、第三出口(511)、第三进口(512)和第三加料口(513)，其中，

10.如权利要求1所述的从铝钼蚀刻液中回收磷酸和醋酸的装置，其特征在于：所述磷酸晶体过滤系统(6)还包括第二过滤网(62)，第二过滤网(62)设置在磷酸晶体过滤罐(61)中，第二过滤网(62)为袋式过滤网，第二过滤网(62)的孔径为150-250目。

技术总结
本技术提出了一种从铝钼蚀刻液中回收磷酸和醋酸的装置，包括依次连通的过滤系统、混酸蒸发分离系统、萃取系统和醋酸蒸发收集系统，还包括依次连通的磷酸结晶系统和磷酸晶体过滤系统，磷酸结晶系统连通混酸蒸发分离系统。综上，本技术通过蒸发浓缩的方式使醋酸和磷酸分离，再通过萃取法回收醋酸，结晶溶解方法回收磷酸，整个过程中的萃取剂可重复使用，资源不产生浪费；整个工艺过程，原料成本和设备成本较低。

技术研发人员：白晓鹏,申阳,李泰亨,苗发虎
受保护的技术使用者：易安爱富（武汉）科技有限公司
技术研发日：20230511
技术公布日：2024/3/27