高电阻率纯水的制备装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及水处理技术领域，特别是涉及一种高电阻率纯水的制备装置。
【背景技术】
[0002]纯水，又称去离子水，是指以符合生活饮用水卫生标准的水为原水，通过电渗析器法、离子交换器法、反渗透法、蒸馏法及其他适当的加工方法，制得的密封于容器内，且不含任何添加物，无色透明，可直接饮用的水，也可以称为纯净物(在化学上)，在试验中使用较多。
[0003]现在，随着电子工业的发展，纯水在电子工业尤其是电子元器件生产中的重要作用日益突出，纯水水质已成为影响电子元器件产品质量、生产成品合格率及生产成本的重要因素之一，水质要求也越来越高。在电子元器件生产中，高纯水主要用作清洗用水及用来配制各种溶液、浆料，不同的电子元器件生产中纯水的用途不同，因此对水质的要求也不同，如在溶液混合时就需要电阻率大于10ΜΩ.cm的纯水，通常采用EDI装置只能保证在2ΜΩ.cm以上，如何能提供稳定的高电阻率水成为电子工业中的一个技术问题。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的目的是针对现有技术中存在的技术缺陷，而提供一种高电阻率纯水的制备装置。
[0005]为实现本实用新型的目的所采用的技术方案是:
[0006]一种高电阻率纯水的制备装置，包括前级处理装置、第一精密过滤器、高压栗、超低压R0装置、缓冲水箱、缓冲栗、第二精密过滤器、EDI装置以及纯水箱，所述的缓冲水栗与第二精密过滤器间设置有止回阀所述的第一精密过滤器的过滤精度为5 μ m，所述的第二精密过滤器的过滤精度为1 μ m，所述的EDI装置前的管路上设置有流量计和压力计，所述的EDI装置的产水口设置有电阻计，所述的缓冲水栗分别与流量计、压力计和电阻计通讯连接的控制器，所述的缓冲水栗与所述的控制器可控连接以受控启动或停止。
[0007]所述的前级处理装置包括依次与原水连通的Y型过滤器、多介质过滤器、活性炭过滤器、原水箱、原水栗和全自动过滤器，所述的全自动过滤器的产水口接入第一精密过滤器。
[0008]还包括药洗装置，所述的药洗装置包括药洗箱、进口与所述的药洗箱连通的药洗栗，将药洗栗出口连接至第一精密过滤器进水口侧的进药管，以及分别将R0装置的浓水侧出口和产水侧出口连通至药洗箱的回液管。
[0009]所述的原水箱的进水管上设置有减压阀。
[0010]所述的多介质过滤器为石英砂过滤器。
[0011 ] 所述的R0装置包括5组串并联设置的R0膜。
[0012]第一组R0膜和第二组R0膜的进水口并接入高压栗的出水口，第三组R0膜和第四组R0膜的进水口与第一组R0膜和第二组R0膜的浓水侧相连，第五组R0膜的进水口与第三组R0膜和第四组R0膜的浓水侧相连，所述的第五组R0膜的浓水侧连接排污管，所述的第一组R0膜、第二组R0膜、第三组R0膜、第四组R0膜和第五组R0膜的产水侧并接入缓冲水箱。
[0013]与现有技术相比，本实用新型的有益效果是:
[0014]本实用新型的高电阻率纯水的制备装置采用单级反渗透和EDI装置相配合，能保证EDI装置的产水电阻率大于10ΜΩ.cm,同时采用脱盐率高的超低压膜有效配合EDI装置对水质的高要求高，保证对EDI进水无影响，并减少设备及运行成本。同时所述的EDI装置前的管路上设置有流量计和压力计以控制所述的缓冲水栗启动或停止，所述的缓冲水栗与第二精密过滤器间设置有止回阀。EDI装置的前部管路设置流量监控、压力监控，当流量或压力低于设定值时，EDI装置的供水栗即缓冲水栗停止工作，防止由于流量或压力过低对EDI树脂造成损耗，进而保证出水水质。
【附图说明】
[0015]图1所示为本实用新型的高电阻率纯水的制备装置的结构示意图；
[0016]图2所示为药洗装置的结构示意图。
【具体实施方式】
[0017]以下结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
[0018]如图1和2所示，本实用新型的高电阻率纯水的制备装置包括依次与原水连通的Y型过滤器1、多介质过滤器，如石英砂过滤器2、活性炭过滤器3、原水箱4、原水栗5、全自动过滤器6、第一精密过滤器7、高压栗8、R0装置9、缓冲水箱10、缓冲栗11、第二精密过滤器12、EDI装置13以及纯水箱14、纯水栗15，所述的缓冲水栗与第二精密过滤器间设置有止回阀所述的第一精密过滤器的过滤精度为5 μ m，所述的第二精密过滤器的过滤精度为1 μπι，所述的EDI装置前的管路上设置有流量计和压力计，所述的EDI装置的产水口设置有电阻计，所述的缓冲水栗分别与流量计、压力计和电阻计通讯连接的控制器，所述的缓冲水栗与所述的控制器可控连接以受控启动或停止。
[0019]精密过滤器用以去除水中的微量悬浮颗粒杂质，从而满足反渗透膜系统对进水的要求。精密过滤器滤芯为聚丙烯熔喷材质，是介于粗滤与超滤之间的一种过滤，是原水在压力作用下通过滤芯，将原水中的杂质截留，精密过滤器可去除水中的微粒，达到净化效果。该滤芯对降低进水SDI是显著有效的。
[0020]超低压R0装置是溶解固形物的浓缩排放和淡水利用的过程，能有效的去除水中绝大部分无机盐、小分子有机物、细菌等。本系统选用世界上先进的美国海德能公司生产的高脱盐率超低压膜元件，运行压力低，系统脱盐率高，为提高产水量和产水率，优选地采用2:2:1的排列方式。即所述的超低压R0装置包括5组串并联设置的R0膜。其中第一组R0膜和第二组R0膜的进水口并接入高压栗的出水口，第三组R0膜和第四组R0膜的进水口与第一组R0膜和第二组R0膜的浓水侧相连，第五组R0膜的进水口与第三组R0膜和第四组R0膜的浓水侧相连，所述的第五组R0膜的浓水侧连接排污管，所述的第一组R0膜、第二组R0膜、第三组R0膜、第四组R0膜和第五组R0膜的产水侧并接入缓冲水箱。
[0021]本实用新型的高电阻率纯水的制备装置采用单级反渗透和EDI装置相配合，能保证EDI装置的产水电阻率大于10ΜΩ.cm,同时采用脱盐率高的超低压膜有效配合EDI装置对水质的高要求高，保证对EDI进水无影响，并减少设备及运行成本。同时所述的EDI装置前的管路上设置有流量计和压力计以控制所述的缓冲水栗启动或停止，所述的缓冲水栗与第二精密过滤器间设置有止回阀。EDI装置的前部管路设置流量监控、压力监控，当流量或压力低于设定值时，EDI装置的供水栗即缓冲水栗停止工作，防止由于流量或压力过低对