专利名称：用于现场收集成核颗粒的方法和设备的制作方法
技术领域：
本发明总体涉及现场颗粒成核，具体涉及用于基本连续地现场收集成核颗粒的方法和设备。
背景技术：
一般来说，气相合成是产生相对较纯颗粒的一种有效方式。无论采用等离子、激光热解，还是一些其它方法，一组前驱气体都流入反应区，在该反应区，该组前驱气体中的原子和/或分子首先电离，然后成核。一旦存在，成核颗粒就将趋于凝结成软颗粒团块，并且假如存在足够能量的话，成核颗粒则将烧结成硬团块。然而，在实践中，这些团块将趋于堵塞泵、阻塞过滤器、并刚好覆盖它们所接触的任何表面。例如，通常类型的颗粒收集设备称为袋滤室(baghouse)。该袋滤室使用织物袋来过滤和分离颗粒和团块，提供通过惯性收集、布朗运动和静电力来将灰尘颗粒收集在其上的表面。织物袋可由织棉或毡棉、合成材料、或玻璃纤维材料来制成，呈管状或信封形状。惯性收集涉及使颗粒撞击在垂直于气流(不是随气流改变方向的方向)放置的织物纤维上。布朗运动涉及在颗粒收集设备中因颗粒扩散而在颗粒与表面之间接触的概率。 静电力涉及既在颗粒上又在织物过滤器上存在静电荷，从而增加对颗粒的捕获。然而，这些颗粒收集机构还会导致在颗粒收集设备的内表面上、特别是在织物过滤器上形成颗粒团块，这增大了对气流的阻力，并因此增大了在真空泵上的背压。因此，必须定期清理过滤器，通常需要脱机取下气相合成设备，这会显著降低总产率。考虑到前述内容，希望有用于连续现场收集颗粒的改进方法和设备。
发明内容
在一个实施例中，本发明涉及一种颗粒收集设备。该设备包括袋滤室罩壳，该袋滤室罩壳包括入口、收集口、构造在入口和收集口之间的袋滤室、以及联接至袋滤室的真空口。该设备还包括联接至收集口的收集机构和联接至袋滤室的压缩机构。
图IA-B示出了根据本发明的等离子反应器的简化示意侧视图和侧剖图；图2A-D示出了根据本发明的、构造有角形横向伸展结构的颗粒收集设备的一组简化图3A-C示出了根据本发明的、构造有筒形横向伸展结构的颗粒收集设备的一组简化图；图4示出了根据本发明的磁性致动器的简化图；以及图5A-F示出了根据本发明的颗粒收集设备的一组简化图。
具体实施例方式现在将参照如附图所示的一些较佳实施例来详细描述本发明。在下面的描述中， 阐述了许多具体细节以便于提供对本发明的透彻理解。然而，对于本领域的技术人员来说显而易见的是，可实践本发明而无需一些或所有的这些特定细节。在另外的例子中，并未对人们所熟知的工艺步骤和/或结构进行详细描述，以免不必要地使本发明变得不清楚。如前所述，来自气相合成的团块将趋于堵塞泵、阻塞过滤器、以及刚好覆盖它们所接触的任何表面。发明人相信，在一个有利的方式中，联接至真空泵并垂直于颗粒流定位的优化可压缩袋滤室可用来以基本连续的方式收集颗粒和团块。现在参照图1A-B，示出了根据本发明的、可联接至颗粒收集设备的等离子反应器的一组简化图。图IA示出了简化的示意侧视图，而图IB示出了简化的剖视图。一般来说，等离子反应器包括内电极、内电极上方的内介电层、内介电层上方的外介电层、以及至少一部分外介电层上方的外电极。通道限定于内电极的外表面与外电极的面对内电极外表面的表面(该表面在这里称为外电极的“内表面”)之间。通道限定出等离子反应器的等离子反应器腔室。在一个构造中，外电极设置成围绕内电极并与内电极同轴。 在这种情况下，环形通道限定于内电极的外表面与外电极的内表面之间。在有利的方式中，可通过使一种或多种前驱气体连续流入等离子反应器腔室，并通过将射频功率施加至等离子腔室的内电极或外电极而在等离子反应器腔室中形成(或激发)前驱气体的等离子，来产生颗粒。内电极可与内介电层接触，外电极可与外介电层的至少一部分接触。内介电层与外介电层分离，从而在内介电层与外介电层之间形成空间。该空间限定出通道，该通道也被称为等离子反应器的等离子反应器腔室。将一种或多种前驱气体引导经过等离子反应器腔室。在一个构造中，等离子反应器是管状的。也就是说，内介电层和外介电层是管状的或管形的。内介电管包围内电极，外介电管包围内介电管，外电极包围外介电管。内介电管与外介电管之间的空间形成环形通道。等离子反应器100在这里也称为“同心电极”等离子反应器，它包括内电极124 ； 内介电管115，该内介电管包围内电极124 ；外介电管114，该外介电管设置成围绕内介电管 115并与内介电管115同轴，其中，在内介电管115的外表面与外介电管114的内表面之间限定有环形通道；以及外电极125，该外电极设置成围绕(或包围)外介电管的至少一部分。内介电管115可与内电极124的外表面接触。外电极125设置在外介电管114的外表面上方。外电极125可与外介电管114的外表面的至少一部分接触。内电极124和外电极125共同限定等离子反应器100的电极组件120。如同下文更详细讨论的那样，等离子反应器100可包括多个电极组件120。
环形通道限定等离子反应器腔室105。在一个构造中，内电极124是杆状的。然而， 内电极124可具有各种几何形状和尺寸。例如，内电极124可以是矩形的。内介电管115 和外介电管114较佳地由诸如石英的介电材料形成。介电管114形成等离子反应器100的等离子反应器腔室105的外壁。等离子反应器腔室105提供用于颗粒前驱气体的流路。等离子反应器腔室105可通过在等离子反应器100相反两端处的凸缘118和119与环境大气密封。介电管115防止在等离子反应器100运行时内电极124喷出。这有利地防止颗粒被形成内电极124的材料所污染。一般来说，在等离子反应器100运行时，颗粒前驱气体从等离子反应器100的上游端流向等离子反应器100的下游端。在等离子反应器腔室105的反应区形成颗粒前驱气体的等离子。除了射频功率密度之外，反应区是等离子反应器腔室105中由内电极124和外电极125限定的区域。射频功率密度是内电极124与外电极125的表面间距、以及内电极 124相对于外电极125的定位的函数。在等离子形成过程中，颗粒前驱气体的分子分解以形成颗粒前驱气体分子的等离子激发核素。颗粒前驱气体分子的等离子激发核素中的至少一些可以成核并生长成颗粒。 前驱气体理想地与用作承载气体的缓冲气体混合。缓冲气体典型地是具有低热导率的惰性气体。一般来说，缓冲气体包括选自以下的一种或多种惰性气体He、Ne、Ar、Kr、Xe和N2。此外，前驱气体可包含前驱分子，该前驱分子分解以提供前驱核素，这些前驱核素反应以形成具有理想成分的颗粒。引入等离子反应器腔室的前驱气体将取决于所需的颗粒类型。假如需要掺杂的IV族半导体纳米颗粒，则一种或多种纳米颗粒前驱气体可包括一种或多种半导体前驱气体(例如SiH4、Si2H6)和一种或多种掺杂气体(例如PH3、B2H6)。假如内电极124和外电极125跨越整个等离子反应器腔室105，反应区可跨越等离子反应器腔室105的长度。一般来说，反应区是外电极125的宽度和射频功率密度的函数。 为了粗略地近似，反应区跨越位于内电极124和外电极125之间的等离子反应腔室105的一部分；它可以大致与外电极125同宽。一般来说，在反应区中形成前驱气体的等离子，并在反应区中至少部分地形成颗粒。在一个构造中，颗粒仅仅在反应区中形成。在等离子反应器100包括多个电极组件120 的其它构造中，等离子反应器100可包括多个反应区，在这种情况下，前驱气体的等离子在每个反应区中形成。这在形成芯壳式颗粒时是有利的。现在参见图2A-D，一组简化图示出了根据本发明的、构造有角形横向伸展结构的颗粒收集设备。在一有利的方式中，可压缩袋滤室的纵轴联接至真空泵，并以基本垂直的方式定位至通常加热了的颗粒排出流。由于真空泵通过袋滤室从颗粒收集设备中移除气体分子，所以相当大部分的颗粒趋于在排出流中形成(软的和硬的)团块。这些(结团和不结团的)颗粒的第一部分将趋于被收集在袋滤室罩壳的相对较冷内表面上，然后从该内表面剥落。颗粒的第二部分被直接收集在收集设备中，该收集设备定位成平行于成核颗粒排出流。然而，剩余的颗粒将被真空泵抽吸，并在袋滤室的外表面上结块。袋滤室在一端封闭并还围绕真空泵出口而固定至袋滤室罩壳，则该袋滤室可构造成围绕角形横向伸展结构定位的多孔织物筒，以保持织物基本张紧(例如，弹簧、盘绕的特氟隆管等)。一般来说，织物具有以下的编织尺寸该编织尺寸大于排出的气体分子，但小于大部分颗粒。合适织物的一个实例是戈尔(GORE)膨胀的聚四氟乙烯，其厚度是约0.25mm，断裂强度是约979N/2. 54cm,孔径尺寸是0. 02-40 μ m。一般来说，真空泵构造成低真空(或两级)泵，其中，第一级产生达约IX 10_3托的真空，第二级产生诸如0. 5毫托的较低真空。低真空泵的实例包括旋转叶片、旋转瓣轮、旋转活塞、涡管、隔膜、钩爪、螺旋转子、干活塞和吸附件。在一普通的构造中，真空泵还包括带有挡板机构的蝶阀。挡板机构通常构造成带有绕其周界的0形环的圆盘，该挡板机构在蝶阀的锥形孔中绕其直径旋转。这里，由于颗粒首先成核、然后沉积在袋滤室织物上，所以蝶阀试图通过调节挡板 (打开挡板来增大真空，而关闭挡板来减小真空)来保持基本恒定的压力。然而，随着袋滤室的外表面变得基本被颗粒覆盖，真空泵上的背压增加，这又引起蝶阀打开以作补偿。在一个构造中，允许袋滤室响应于压力变化而沿其纵轴线(垂直于颗粒排出流)压缩。在另一构造中，袋滤室是固定的，且可被自动或手动调节以改变背压。在一有利的方式中，在达到背压阈值之后，诸如当完全打开的挡板(即平行于流动)无法减小背压时，袋滤室可被压缩和旋转，就像拧毛巾那样，从而清除袋滤室织物堵塞，并允许大部分颗粒剥落并被收集在收集设备中。一旦背压减小，袋滤室就膨胀且重复该过程。因此，可在长期的时间段内收集成核颗粒，而无需打开和清理袋滤室。图2A示出了颗粒收集设备，其中，袋滤室弹簧基本不受压。最初，成核颗粒208通过入口 202进入袋滤室罩壳206。尽管一部分颗粒208覆盖袋滤室罩壳206的内表面或通过收集口 231直接被收集设备236收集，但是大部分颗粒通过联接至真空口 246的真空泵 (未示出)所保持的压力差而被吸引至袋滤室205 (在织物226a上形成颗粒结块216a)。一般来说，收集设备236典型地是可被密封(用于运输)并可承受相对较低真空的容器(即， 不锈钢等)。袋滤室205定位成其纵轴线垂直于排出流，该袋滤室205构造成在一端封闭并还围绕真空泵出口而固定至袋滤室罩壳的基本圆柱管，该袋滤室可构造成围绕横向伸展结构 207定位的多孔织物筒226a，以保持织物基本张紧。在圆柱管的第一端(定位成与真空口 246相对)上，封闭的圆形截面盖子228定位成将袋滤室内部与颗粒基本密封开来，并进一步提供用于压缩机构219的横向支承结构。在一典型构造中，封闭的圆形截面盖子228包括基本惰性和刚性的材料(即，特氟隆等)。相反，在圆柱管的第二端上，敞开的圆形截面 247可围绕真空口 246直接附连至袋滤室罩壳206的内表面，从而将圆柱管的内部与成核颗粒排出流基本封闭开来。袋滤室压缩机构219构造成压缩和扭转袋滤室205，该袋滤室压缩机构219包括袋滤室机械力转移结构217，该袋滤室机械力转移结构经由一组轴承224a-b定位在袋滤室压缩机构罩壳218中。袋滤室机械力转移结构217直接联接至圆形截面盖子228，该袋滤室机械力转移结构217可构造成杆、柱等，并且还由阳极氧化铝、不锈钢或其它合适材料制成。在一个构造中，袋滤室机械力转移结构217可借助磁性致动器而运动，该磁性致动器包括(1)内滑动件220，该内滑动件由铁磁性材料(S卩，铁等)制成并联接至袋滤室压缩机构罩壳218内的袋滤室机械力转移结构217，以及(2)轭架222，该轭架包括定位在压缩机构罩壳218之外的一组强永磁体，并还磁性联接至内滑动件220。在一个构造中，轭架 222包括包含镧系元素(例如钕、衫一钴等)的稀土磁体。例如，在真空口 246处保持约1托至约30托的真空的一典型运行构造中，构造有5磅(lbs)直线力和60盎司-英寸(oz-in)旋转力的磁性致动器足以压缩和旋转袋滤室 205，从而从织物226a上基本清除颗粒结块216a。此外，惰性气体可用来清扫颗粒收集设备的各个子部件。例如，为了移除所收集的颗粒，收集设备236必须与袋滤室罩壳206脱开。因此，为了使对环境的污染最小，通常将惰性气体(例如氮气等)238注入收集设备236。最初，通过关闭隔离阀232和阀233来隔离收集设备236。然后打开惰性气体阀237，以允许惰性气体238流入收集设备236。然后关闭隔离阀232和隔离阀234，允许移开收集设备236。此外，惰性气体可用来在袋滤室压缩时帮助从袋滤室205移除颗粒。最初，隔离阀 204、隔离阀245和隔离阀248是关闭的。接着，打开惰性气体阀244，允许惰性气体242流入袋滤室205并排出结在织物226a上的颗粒。图2B示出了图2A的颗粒收集设备，其中，袋滤室弹簧被大幅压缩和扭转。在一有利的方式中，袋滤室205可以顺时针或逆时针方式受压和扭转，从而从褶皱的织物226b上基本移除结块的成核颗粒。此外，如前所述，惰性气体242可用来帮助从袋滤室205移除颗粒。图2C示出了根据本发明的、图2A的颗粒收集设备，该颗粒收集设备具有沿未受压袋滤室的纵轴线而定位在外侧的网筛。在一有利的方式中，当颗粒排出流通过出口 202流向袋滤室205，该排出流的大部分体积被网筛250阻截和收集，该网筛进一步构造成垂直于排出流。因此，在与图2A-B的颗粒收集设备比较时，该颗粒收集设备可运行较长时间。在一普通构造中，网筛250包括基本刚性的惰性材料(化学上不活泼)，诸如特氟隆，其网眼尺寸在约0.2微米至约2微米之间。此外，网筛250可构造成圆柱或半圆柱。网筛250还可经由惰性附连支承结构256固定至颗粒收集设备的内表面。网眼刮板252围绕网筛250的外表面纵向定位，该网眼刮板252还构造成沿网筛 250的外表面滑动并经由网眼刮板压缩机构267去除颗粒结块216a。网眼刮板压缩机构 267还包括经由一组轴承254a-b定位在网眼刮板压缩机构罩壳267中的网眼刮板机械力转移结构268。袋滤室机械力转移结构268直接联接至网眼刮板圆形截面盖子252，该袋滤室机械力转移结构217可构造成杆、柱等，并还由阳极氧化铝、不锈钢或其它合适材料制成。在一个构造中，网筛机械力转移结构267可借助网眼刮板磁性致动器而运动，该网眼刮板磁性致动器包括(1)网眼刮板内滑动件260，该网眼刮板内滑动件由铁磁性材料 (即，铁等)制成并联接至袋滤室压缩机构罩壳268内的网眼刮板机械力转移结构267，以及(2)网眼刮板轭架262，该网眼刮板轭架包括定位在网眼刮板压缩机构罩壳268之外的一组强永磁体，并还磁性联接至网眼刮板锚固件620。在一个构造中，网眼刮板轭架262包括包含镧系元素(例如钕、衫一钴等)的稀土磁体。例如，在真空口 246处保持约1托至约30托的真空的一典型运行构造中，构造有 51bs直线力和60OZ-iri旋转力的网眼刮板磁性致动器足以压缩和旋转袋滤室205，从而从网筛250上基本清除颗粒结块216a。图2D示出了图2C的颗粒收集设备，其中，网筛已向真空口 246前移。在一有利的方式中，可移除结块的成核颗粒216b。现在参见图3A-C，一组简化图示出了根据本发明的、构造有筒形横向伸展结构的颗粒收集设备。也就是说，一组多孔圆筒370和372构造在袋滤室305内从而保持织物基本张紧，而不像图2A-B的线性横向伸展结构207那样。第一圆筒的直径小于第二圆筒的直径，从而两个圆筒可自由地伸展和收缩。图3A示出了颗粒收集设备，其中，筒形横向伸展结构基本不受压。如前所述，成核颗粒208通过入口 202进入袋滤室罩壳206。尽管一部分颗粒208覆盖袋滤室罩壳206的内表面或直接被收集设备236收集，但是大部分颗粒通过联接至真空口 246的真空泵(未示出)所保持的压力差而被吸引至袋滤室205 (在织物226a上形成颗粒结块216a)。一般来说，收集设备236典型地是可被密封(用于运输)并可承受相对较低真空的容器(即，不锈钢等)。袋滤室205定位成其纵轴线垂直于排出流，该袋滤室205构造成在一端封闭并还围绕真空泵出口固定至袋滤室罩壳的基本圆柱管，该袋滤室可构造成围绕横向伸展结构 207定位的多孔织物筒226a，以保持织物基本张紧。在圆柱管的第一端(定位成与真空口 246相对)上，封闭的圆形截面盖子228定位成将袋滤室内部与颗粒基本密封开来，并进一步提供用于压缩机构219的横向支承结构。在一典型构造中，封闭的圆形截面盖子228包括基本惰性和刚性的材料(即，特氟隆等)。相反，在圆柱管的第二端上，敞开的圆形截面 247可围绕真空口 246直接附连至袋滤室罩壳206的内表面，从而将圆柱管的内部与成核颗粒排出流基本封闭开来。袋滤室压缩机构219构造成压缩袋滤室305，该袋滤室压缩机构219包括袋滤室机械力转移结构217，该袋滤室机械力转移结构经由一组轴承224a-b定位在袋滤室压缩机构罩壳218中。袋滤室机械力转移结构217直接联接至圆形截面盖子328，该袋滤室机械力转移结构217可构造成杆、柱等，并还由阳极氧化铝、不锈钢或其它合适材料制成。在一个构造中，袋滤室机械力转移结构217可借助磁性致动器而运动经过压缩机构口 274，该磁性致动器包括(1)内滑动件220，该内滑动件由铁磁性材料(即，铁等)制成并联接至袋滤室压缩机构罩壳218内的袋滤室机械力转移结构217，以及(2)轭架222， 该轭架包括定位在压缩机构罩壳218之外的一组强永磁体，并还磁性联接至内滑动件220。 在一个构造中，轭架222包括包含镧系元素(例如钕、衫一钴等)的稀土磁体。例如，在真空口 246处保持约1托至约30托的真空的一典型运行构造中，构造有 51bs直线力和60OZ-in旋转力的磁性致动器足以压缩和旋转袋滤室205，从而从织物226a 上基本清除颗粒结块216a。此外，可使用惰性气体来清扫颗粒收集设备的各个子部件。例如，为了移除所收集的颗粒，收集设备236必须与袋滤室罩壳206脱开。因此，为了使对环境的污染最少，通常将惰性气体(例如氮气等)238注入收集设备236。最初，通过关闭隔离阀232和阀233来隔离收集设备236。然后打开惰性气体阀237，以允许惰性气体238流入收集设备236。然后关闭惰性阀234和隔离阀234，允许移开收集设备236。此外，惰性气体可用来在袋滤室压缩时帮助从袋滤室305移除颗粒。最初，隔离阀 204、隔离阀245和隔离阀248是关闭的。接着，打开惰性气体阀244，允许惰性气体242流入袋滤室305并排出结在织物226a上的颗粒。图3B示出了如图3A所示构造在袋滤室305内的一组多孔圆筒(包括外圆筒370 和内圆筒372)。外圆筒370包括基本刚性的多孔和惰性材料380，诸如特氟隆，外圆筒的孔径是约1/16英寸至约3/16英寸。外圆筒370的第一端通常附连至圆形截面盖328，圆形截面盖自身通过压缩机构口 274联接至袋滤室机械力转移结构217，如前所述。外圆筒370的第二端是敞开的，并构造成在内圆筒372上滑动，内圆筒自身在低真空运行条件下为外圆筒370提供结构支承。内圆筒372还包括基本刚性的多孔和惰性材料378，诸如特氟隆，内圆筒的孔径是约1/16英寸至约3/16英寸。此外，不像外圆筒370那样，内圆筒372构造有一组环形支承结构376，这些环形支承结构包括结构坚固且惰性的材料，诸如特氟隆。内圆筒372的第一端通常附连至圆形截面盖382，圆形截面盖自身联接至真空口 246。内圆筒372的第二端是敞开的，并构造成滑入外圆筒370。图3C示出了图3A的颗粒收集设备，其中，袋滤室筒形横向伸展结构大幅压缩并可选地扭转。在一有利的方式中，袋滤室305可以顺时针或逆时针方式受压和可选地扭转，从而从褶皱的织物326b上基本移除结块的成核颗粒。此外，如前所述，惰性气体242可用来帮助从袋滤室305移除颗粒。现在参见图4，示出了根据本发明的磁性致动器的简化图。内滑动件408通常包括圆筒402，该圆筒构造成经由一组内滑动件凸缘408将直线力从轭架404转移至机械力转移结构(未示出)，该机械力转移结构通过空腔406联接至圆筒402。此外，通常磁性联接至一组内滑动件凸缘408的轭架404包括一组强永磁体。在一普通的构造中，磁性致动器构造成接受约2001bs的直线力，约651bs的最大负荷，约350oX-in的扭矩，以及每12”行程中0.006”的运动平直度。现在参见图5A-F，示出了根据本发明的颗粒收集设备的一组简化图。图5A是颗粒收集设备的外部侧视图，其中示出了入口 202、真空口 246和收集口 231。图5B是颗粒收集设备的外部立体图，其中示出了入口 202、真空口 246和收集口 231。图5C-D是颗粒收集设备的外部侧视图，其中示出了压缩机构口 274、入口 202、真空口 246和收集口 231。图5E是颗粒收集设备的仰视图，其中示出了收集口 231、压缩机构口 274和真空口 246。图5F是颗粒收集设备的俯视图，其中示出了入口 202、压缩机构口 274和真空口 246。在一有利的方式中，可压缩袋滤室的纵轴线联接至真空泵，并以基本垂直的方式定位至通常加热了的颗粒排出流。当真空泵通过袋滤室从颗粒收集设备中移除气体分子， 相当大部分的颗粒趋于在排出流中形成(软的和硬的)团块。适宜地可在缺少这里没有具体披露的任何元件、限制的情况下，实践这里示例描述的本发明。因此，例如，术语“包括”、“包含”、“含有”等应被广义地理解而没有限制。此夕卜，这里所采用的术语和表述用作描述而非限制，在使用这些术语和表述时不意欲排除所示和所述特征或其部分的任何等同物，但应认识到的是，各种修改可落入所要求保护的本发明范围之内。因此，应理解的是，尽管通过较佳实施例和可选特征来具体披露了本发明，但是本领域技术人员可对这里披露的本发明作出修改、改进和变型，且这些修改、改进和变型都被认为在本发明的范围之内。这里提供的材料、方法和实例代表了较佳实施例，是示例性的， 且不意欲对本发明的范围作出限制。如同本领域技术人员所能理解的那样，出于任何目的和所有目的，尤其是提供字面描述方面，这里披露的所有范围都包括任何和所有可能的子范围及其子范围组合。任何列出的范围可被容易地认为足以描述该范围，并能使该范围分解成至少相等的一半、三分之一、四分之一、五分之一、十分之一等。作为一非限制性实例，这里所述的每个范围可被容易地分解成下三分之一、中三分之一和上三分之一等。如同也能被本领域技术人员理解的那样，诸如“高达”、“至少”、“大于”、“小于”等的所有语言包括所述的数字，并涉及可随后如上所述分解成各子范围的范围。这里以参见的方式引入该说明书中引用的所有公布、专利公布、授权专利和其它文献，就好像已经以参见的方式具体和单独地整体引入了每个单独的公布、专利公布、授权专利或其它文献。以参见方式引入本文中而包含的定义将被排除它们与本文中定义矛盾之处。为了该说明书且除非另外说明，“一”是指“一个或多个”。以参见的方式整体引入这里所引用的所有专利、申请、参考文献和公布，就好像以参见的方式单独引入了它们。此夕卜，术语“组”是指一个或多个物品或物体的集合。本发明的用于基本连续地现场收集成核颗粒的方法和设备有优点。在披露了示例性实施例和最佳模式之后，可在仍落入如下面权利要求书所限定的本发明主题和精神之内时，对所披露的实施例作出修改和变型。
权利要求
1.一种颗粒收集设备，包括 袋滤室罩壳，所述袋滤室罩壳包括 入口，收集口，袋滤室，所述袋滤室构造在所述入口和所述收集口之间，以及真空口，所述真空口联接至所述袋滤室； 收集机构，所述收集机构联接至所述收集口 ；以及压缩机构，所述压缩机构联接至所述袋滤室。
2.如权利要求1所述的颗粒收集设备，其特征在于，所述袋滤室包括 多孔织物筒，弹簧，所述弹簧构造成保持所述多孔织物筒基本张紧， 圆形盖，所述圆形盖定位在所述多孔织物筒的第一端上，以及所述真空口定位在所述多孔织物筒的第二端上。
3.如权利要求2所述的颗粒收集设备，其特征在于，所述压缩机构包括 机械力转移结构，所述机械力转移结构联接至所述圆形盖，内滑动件，所述内滑动件联接至所述机械力转移结构， 轭架，所述轭架磁性联接至所述内滑动件。
4.如权利要求3所述的颗粒收集设备，其特征在于，所述机械力转移结构包括阳极氧化铝和不锈钢中的一种。
5.如权利要求1所述的颗粒收集设备，其特征在于，所述入口联接至等离子反应器。
6.如权利要求1所述的颗粒收集设备，其特征在于，所述真空口联接至泵，所述泵在所述袋滤室中保持约1托至约30托之间的真空。
7.如权利要求1所述的颗粒收集设备，其特征在于，还包括联接至所述真空口的惰性气体阀，当所述惰性气体阀打开时，惰性气体流入所述袋滤室。
8.如权利要求1所述的颗粒收集设备，其特征在于，所述袋滤室罩壳还包括 网筛，所述网筛构造在所述入口和所述袋滤室之间，网眼刮板，所述网眼刮板构造在所述网筛和所述入口之间，以及网眼刮板压缩机构，所述网眼刮板压缩机构联接至所述网眼刮板。
9.如权利要求8所述的颗粒收集设备，其特征在于，所述网筛包括特氟隆。
10.如权利要求1所述的颗粒收集设备，其特征在于，所述袋滤室包括 多孔织物筒，横向伸展结构，所述横向伸展结构构造成支承所述多孔织物筒， 圆形盖，所述圆形盖定位在所述多孔织物筒的第一端上，以及所述真空口定位在所述多孔织物筒的第二端上。
11.如权利要求10所述的颗粒收集设备，其特征在于，所述压缩机构包括 机械力转移结构，所述机械力转移结构联接至所述圆形盖，内滑动件，所述内滑动件联接至所述机械力转移结构， 轭架，所述轭架磁性联接至所述内滑动件。
全文摘要
披露了一种颗粒收集设备。该设备包括袋滤室罩壳，该袋滤室罩壳包括入口、收集口、构造在入口和收集口之间的袋滤室、以及联接至袋滤室的真空口。该设备还包括联接至收集口的收集机构和联接至袋滤室的压缩机构。
文档编号B01D46/48GK102458607SQ201080026376
公开日2012年5月16日 申请日期2010年4月13日 优先权日2009年4月15日
发明者C·阿尔坎特拉, K·凡豪斯登, R·考特兹, 李学庚 申请人:英诺瓦莱特公司