专利名称：一种电子化学品真空分离方法
技术领域：
本发明涉及到固液分离器，尤其涉及一种电子化学品真空分离方法。
背景技术：
电子级化学品主要广泛应用于超大规模集成电路、大屏幕液晶显示器、半导体等微电子工业等方面，用作清洗和蚀刻剂，其纯度和洁净度对电子元器件的产品率、电性能、 可靠性有很大的影响。目前国内主要真空过滤机存在如下问题翻盘式真空过虑机主要存在的问题是处理量小，滤布容易破损更换频繁，轨道容易变型，导致开车率低；真空带式过滤机皮带老打滑，皮带时不时就被真空吸住不能动，真空不能太高；圆盘真空过滤机处理量小，滤饼水份高，劳动强度大。但以上过滤器在电子化学品固液分离中的应用未见报道。现有技术中的分离设备，在生产过程中进行固液分离时固休与分离设备会产生摩擦，污染产品，分离后要将固体取出，增加了生产成本并易对电子化学品产生二次污染。
发明内容
本发明的目的在于针对现有技术的不足，结合电子化学品生产工艺特性，提供了一种对电子化学品固液分离的真空分离方法。实现本发明的技术方案为一种电子化学品真空分离方法，它采用的设备包括夹套、固液分离容器和搅拌器；夹套的一侧下部设有热媒进口、另一侧的上部设有热媒出口， 夹套的下部还设有一个连通分离容器内的抽真空管；分离容器的顶部设有物料进口和产品洗液喷头，分离容器的底部设有滤液出口、产品出口和洗液出口，分离容器内设有滤网和加热管，滤网固定在加热管上，加热管与夹套相连，分离容器内底部设有圆形滤液清洗管；搅拌器位于分离容器内。上述滤网可为金属滤网、聚丙烯滤网或滤布(根据电子化学品的物性选型)，滤网孔径根据所过滤的固体大小确定。上述圆形滤液清洗管上设有喷头，喷头的个数为8 16个。上述热媒是水。本发明的使用方法及原理是物料通过物料进口进入分离容器，给分离容器抽真空，在滤液出口处形成负压作为过滤的推动力使物料在滤网上实现固液分离，同时，通过夹套内的热媒和加热管可对分离容器内固体产品进行加热，滤液通过滤液出口排出；因附着在固体表面上的液体含有大量的杂质，可通过分离容器上的洗液喷头对分离后的固体进行清洗，去除固体表面上的液体，使产品纯度更纯；还可通过滤液清洗管对过滤后留存在分离容器内滤液进行清洗，防止滤液污染产品，产生的洗液通过洗液出口排出；通过搅拌器搅拌可加快固体产品的溶解速度，并使产品均勻混合，溶解后的产品通过产品出口排出。采用本发明具有以下优点
(1)设备简单，在生产过程中不需将固体产品取出，操作过程易控制，能耗低；(2 )产量高，生产成本低，清洁无污染；
(3)得到的产品纯度高，具有很高的经济效益和社会效益。
附图为本发明的结构示意图。图中标记1-夹套；2-分离容器；3-搅拌器；4-热媒进口 ；5-热媒出口 ；6_抽真空管；7-物料进口 ；8-产品洗液喷头；9-滤液出口 ；10-产品出口 ；11-洗液出口 ；12-滤网； 13-滤液清洗管；14-加热管；15-喷头；
具体实施例方式下面结合附图对本发明做进一步阐述。实施例
一种电子化学品真空分离方法，它采用的设备包括夹套(1)、固液分离容器(2)和搅拌器(3);夹套(1)的一侧下部设有热媒进口(4)、另一侧的上部设有热媒出口(5)，夹套(1) 的下部还设有一个连通分离容器(2)内的抽真空管(6);分离容器(2)的顶部设有物料进口 (7)和产品洗液喷头(8)，分离容器(2)的底部设有滤液出口(9)、产品出口(10)和洗液出口 (11)，分离容器(2)内设有滤网(12)和加热管(14)，滤网(12)固定在加热管(14)上，加热管(14)与夹套(1)相连，分离容器(2)内底部设有圆形滤液清洗管(13);搅拌器(3)位于分离容器(2)内。上述滤网(12)为金属滤网，滤网(12)的孔径为200目。上述圆形滤液清洗管(13)上设有喷头(15)，喷头(15)的个数为9个。上述热媒是水。
某厂用该方法分离出的产品质量如下 产品杂质含量
权利要求
1.一种电子化学品真空分离方法，其特征在于它采用的设备包括夹套(1 )、固液分离容器(2)和搅拌器(3)；夹套(1)的一侧下部设有热媒进口(4)、另一侧的上部设有热媒出口( 5 )，夹套(1)的下部还设有一个连通分离容器(2 )内的抽真空管(6 )；分离容器(2 )的顶部设有物料进口(7)和产品洗液喷头(8)，分离容器(2)的底部设有滤液出口(9)、产品出口 (10)和洗液出口(11)，分离容器(2)内设有滤网(12)和加热管(14)，滤网(12)固定在加热管(14)上，加热管(14)与夹套(1)相连，分离容器(2)内底部设有圆形滤液清洗管(13);搅拌器(3)位于分离容器(2)内。
2.如权利要求1所述的电子化学品真空分离方法，其特征在于所述的滤网(12)可为金属滤网、聚丙烯滤网或滤布(根据电子化学品的物性选型)，滤网(12)的孔径根据所过滤的固体大小确定。
3.如权利要求1所述的电子化学品真空分离方法，其特征在于所述的圆形滤液清洗管 (13)上设有喷头(15)，喷头(15)的个数为8 16个。
4.如权利要求1所述的电子化学品真空分离方法，其特征在于所使用的热媒是水。
全文摘要
本发明公开了一种电子化学品真空分离方法，涉及固液分离器。它采用的设备包括夹套(1)、固液分离容器(2)和搅拌器(3)；夹套(1)上设有热媒进口(4)、和热媒出口(5)，还设有一个抽真空管(6)；分离容器(2)的顶部设有物料进口(7)和产品洗液喷头(8)，分离容器(2)的底部设有滤液出口(9)、产品出口(10)和洗液出口(11)，分离容器(2)内设有滤网(12)和加热管(14)，滤网(12)固定在加热管(14)上，分离容器(2)内底部设有滤液清洗管(13)；搅拌器(3)位于分离容器(2)内。采用本发明降低了生产成本，清洁无污染，得到的产品纯度高，具有很高的经济效益和社会效益。
文档编号B01D29/82GK102274648SQ201110224998
公开日2011年12月14日 申请日期2011年8月8日 优先权日2011年8月8日
发明者刘飞, 孟文祥, 杨正光, 邱祖军 申请人:瓮福(集团)有限责任公司