专利名称：高纯度三氯氧磷鼓泡桶的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种三氯氧磷存储装置，具体地，涉及一种高纯度三氯氧磷鼓泡桶。
背景技术：
高纯度三氯氧磷(99.9999-99.99999% )是集成电路、太阳能电池、电子原件生产过程中的扩散、掺杂工艺中的主要原料，被广泛应用于光伏、IC产业。在太阳能制造过程中，目前主要采用液态源进行扩散，高纯氮气通入源液中，携带三氯氧磷蒸汽至扩散炉中，在硅片表面形成PN结。如图1所示，其为现有常用的高纯度三氯氧磷源瓶的结构示意图，高纯氮气由进气管2通入源液4中，携带三氯氧磷蒸汽由出气管3排出至扩散炉中。然而，由于瓶体I为平底结构，在扩散工艺中会造成一部分源浪费，当源瓶中液面较低，通常低于2cm时，高纯氮气携带源蒸汽较少，将不再满足生产需要，此部分源被浪费掉，不仅浪费了原料，还对环境产生污染。
实用新型内容针对现有技术中的缺陷，本实用新型的目的是提供一种高纯度三氯氧磷鼓泡桶，本实用新型能够充分利用三氯氧磷原料，有效避免环境污染。根据本实用新型的一个方面，提供一种高纯度三氯氧磷鼓泡桶，包括:密闭瓶体和设置于瓶体上的进气管和出气管，瓶体底部中心位置向下凹陷形成一积源槽，进气管设置在瓶体中心处且向瓶体内部延伸至积源槽的底面。优选地，积源槽上部略成漏斗状。优选地，积源槽直径略大于进气管直径。优选地，积源槽的直径大于等于4.0cm优选地，积源槽槽深为2.0 2.5cm。优选地，积源槽周围的瓶体部分为实体耐高温玻璃。本实用新型使用时，当瓶体内剩余源较少时，剩余的源被集中到积源槽中，源液面的高度使得氮气充分与源液体接触产生源蒸汽，满足生产需要，从而提高源的利用率，同时降低生产成本，减轻对于环境的污染。与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果:1、本实用新型通过设计积源槽对剩余源进行收集，最大程度的利用源瓶中三氯氧磷原料，大大提高了三氯氧磷源的利用率，减少了源的浪费率，降低生产成本，且有效减轻了环境污染，利于环保。2、本实用新型的瓶体结构为圆柱形，与目前最常用的源瓶形状一致，不需要对现有恒温槽体做改变即可直接用于生产，可有效节约设备升级成本，适用范围广泛。3、瓶体底 部积源槽周围部分为实体玻璃，整体稳定性好。
通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显:图1为现有高纯度三氯氧磷源瓶的结构示意图；图2为本实用新型高纯度三氯氧磷鼓泡桶的结构示意图；图中:1为瓶体,2为进气管,3为出气管,4为源液,5为积源槽。
具体实施方式
下面结合具体实施例对本实用新型进行详细说明。以下实施例将有助于本领域的技术人员进一步理解本实用新型，但不以任何形式限制本实用新型。应当指出的是，对本领域的普通技术人员来说，在不脱离本 实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进。这些都属于本实用新型的保护范围。三氯氧磷是一种用于太阳能电池片生产过程的扩散、掺杂工艺中的重要原料，高纯氮气通入装有三氯氧磷的瓶子，将携带三氯氧磷至扩散石英炉中，经过高温下一系列反应后，磷原子扩散到硅片中，完成扩散。鼓泡桶是用来装三氯氧磷的瓶子，高纯氮气通入装有三氯氧磷的瓶子后，形成气泡，所以被称为鼓泡桶；请参阅图2，一种高纯度三氯氧磷鼓泡桶，包括:密闭瓶体I和设置于瓶体I上的进气管2和出气管3,瓶体I底部中心位置向下凹陷形成一积源槽5,进气管2向瓶体I内部延伸至积源槽5的底面。具体地,积源槽槽深为2.0 2.5cm,本实施例中槽深为2cm，槽直径约为4.0cm,积源槽5上部略成漏斗状，可以最大限度的收集源。积源槽5的直径略大于进气管2的直径,具体地,槽直径大于等于4.0cm,本实施例中槽直径为4.0cm0进气管2位于瓶体I的中心位置，其延伸至积源槽5底部附近，从进气管2通入的高纯氮气可以充分与源接触。瓶体I底部积源槽5的周围部分与瓶体I瓶壁为一体，均为耐高温玻璃，保证源瓶在搬运过程中的稳定性。本实用新型使用时，当瓶体I中剩余三氯氧磷源量较少时，源就会汇集于积源槽5中，增大了源液面高度，从进气管2通入的气体可以充分的与源液体接触，从而增大高纯氮气携带源量，最大限度的利用了三氯氧磷。对于一瓶500ml的源，现有技术源瓶源液面高度约为8cm，当不能满足扩散生产时的液面高度为2cm，即使用现有技术的源瓶用于扩散工艺，源的浪费率约为25% (100ml)。而使用本实用新型源瓶用于扩散工艺中，源液面低于2cm时仅为图2凹形槽的容积。本实用新型源瓶的凹形槽的深度为2.0cm,槽直径为4.0cm,即使用本实用新型源瓶后，源的浪费量仅约为5% (25ml)，浪费率仅为现有技术的平底源瓶的1/5，大大提高了三氯氧磷的有效利用率，降低了成本。以上对本实用新型的具体实施例进行了描述。需要理解的是，本实用新型并不局限于上述特定实施方式，本领域技术人员可以在权利要求的范围内做出各种变形或修改，这并不影响本实用新型的实质内容。
权利要求1.一种高纯度三氯氧磷鼓泡桶，包括:密闭瓶体和设置于瓶体上的进气管和出气管，其特征在于，所述瓶体底部中心位置向下凹陷形成一积源槽，所述进气管设置在所述瓶体中心处且向瓶体内部延伸至所述积源槽的底面。
2.根据权利要求1所述的高纯度三氯氧磷鼓泡桶，其特征在于，所述积源槽上部略成漏斗状。
3.根据权利要求1所述的高纯度三氯氧磷鼓泡桶，其特征在于，所述积源槽直径略大于所述进气管直径。
4.根据权利要求3所述的高纯度三氯氧磷鼓泡桶，其特征在于，所述积源槽的直径大于等于4.0cm。
5.根据权利要求1所述的高纯度三氯氧磷鼓泡桶，其特征在于，所述积源槽槽深为2.0 2.5cm0
6.根据权利要求1所述的高纯度三氯氧磷鼓泡桶，其特征在于，所述积源槽周围的瓶体部分 为实体耐高温玻璃。
专利摘要本实用新型提供一种高纯度三氯氧磷鼓泡桶，包括密闭瓶体和设置于瓶体上的进气管和出气管，瓶体底部中心位置向下凹陷形成一积源槽，进气管设置在瓶体中心处且向瓶体内部延伸至积源槽的底面。本实用新型具有提高三氯氧磷源利用率，降低生产成本、减少环境污染且适用范围广泛、稳定性好的优点。
文档编号B01F13/02GK203079692SQ20132008856
公开日2013年7月24日 申请日期2013年2月27日 优先权日2013年2月27日
发明者戴熙明, 张坤 申请人:上海艾力克新能源有限公司