涂胶显影机纯水过滤系统的管路排气装置制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种涂胶显影机纯水过滤系统的管路排气装置，在纯水过滤系统的过滤器和流量计之间的管路设有一密闭水槽，水槽的进口连接过滤器侧的管路，水槽的出口连接流量计侧的管路，水槽进口的位置高度高于水槽出口的高度，在更换过滤器时，利用水槽进出口位置的高度差，避免了水槽与流量计之间管路中的纯水倒流，有效防止了空气的进入，并能快速有效地将自水槽与过滤器之间管路中进入的空气，通过水槽设置的排气口排出，具有明显缩短更换过滤器的时间，并且大为减少纯水消耗的有益效果。
【专利说明】涂胶显影机纯水过滤系统的管路排气装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体加工中的一种涂胶显影机的纯水过滤系统，更具体地，涉及一种涂胶显影机纯水过滤系统的管路排气装置。
【背景技术】
[0002]涂胶显影机台是半导体加工中的光刻工艺过程所用到的一种涂胶显影设备。涂胶显影机台所用的纯水是由晶圆制造厂的厂务集中供应的，而涂胶显影机台对纯水的要求非常高，所以，在机台端设有纯水过滤系统，其主体主要由过滤器组成,用来过滤水中的一些微小杂质。
[0003]现有技术中涂胶显影机台的纯水过滤系统，较典型的例如Tokyo ElectronLimited (东京电子有限公司，TEL)生产的型号为TEL Track的涂胶显影机台纯水过滤系统，其机台纯水过滤系统的管路布局可通过图1来说明。
[0004]请参阅图1，图1是现有技术的TEL Track涂胶显影机台纯水过滤系统的管路结构示意图。如图所示，该纯水过滤系统包括一纯水过滤器1，厂务集中供应的纯水通过进水管2进入过滤器1，经过过滤器I过滤后，沿出水管路16、10通向涂胶显影机台的纯水喷嘴12。过滤器I与喷嘴12之间的管路还设有控制纯水流量的流量计13，以及调节喷嘴喷水压力的调节阀11。其中，过滤器I与流量计13所在的管路单元位于厂房的二楼，而调节阀11与喷嘴12所在的管路单元单元位于厂房的三楼，二个管路单元之间由纯水输送管路10连接。过滤器I使用一段时间后，会因杂质充满或堵塞、影响过滤效果而更换。
[0005]图1所公开的涂胶显影机台纯水过滤系统的管路结构，在正常情况下，过滤器I里面与管路里面都是充满纯水的，没有气泡。而当更换过滤器I时，就会有两处地方产生空气进入。一是新过滤器本身里面有空气，不过，这部分空气可以通过过滤器I本身的排气口 3排出；二是流量计13与过滤器I之间管路16的液体会倒流，导致管路16因空掉而造成空气进入。在第二种情况中，流量计13与过滤器I之间的管路16中进入的这部分空气，只能通过位于三楼的喷嘴端排出去。而由二楼到三楼的纯水输送管路10有5?6米甚至更长的距离，这就导致这部分空气不易排出去，有时甚至以气泡形式附着在管壁，很难排出，需要做大量喷涂(即在机台内部压力的作用下，通过喷嘴将纯水喷出)来排出，这会对更换过滤器I增加出大量的工作，影响生产量；而且这样做，既会消耗大量的纯水，又不能保证气泡能100%排出。
实用新型内容
[0006]本实用新型的目的在于克服现有技术存在的上述缺陷，提供一种涂胶显影机纯水过滤系统的管路排气装置，通过在过滤器与流量计之间的纯水管路设置一个进出口具有高度差的水槽，解决了更换过滤器时空气会进入过滤器与流量计之间纯水管路的问题，并能快速有效地将水槽与过滤器之间管路中的空气排出。
[0007]为实现上述目的，本实用新型的技术方案如下:[0008]一种涂胶显影机纯水过滤系统的管路排气装置，所述纯水过滤系统的管路中依次设有过滤器、流量计、调节阀和喷嘴，其中，由所述调节阀和喷嘴所组成的管路单元的物理位置高于由所述过滤器和流量计所组成的管路单元的物理位置。本实用新型的改进之处在于，在所述过滤器和所述流量计之间的管路设有一密闭水槽，所述水槽的进口连接所述过滤器侧的管路，所述水槽的出口连接所述流量计侧的管路，所述水槽还设有排气口。其中，所述水槽进口的位置高度高于所述水槽出口的高度，在更换所述过滤器时，所述过滤器侧的管路与所述过滤器呈断开状态，所述水槽中位于所述水槽进口和所述水槽出口之间的纯水，利用落差将所述水槽出口封闭，从而，所述水槽出口与所述流量计之间管路中的纯水就不会倒流，导致空气进入产生气泡积聚；在更换所述过滤器时，空气会自所述过滤器侧的管路进入水槽，积聚在水槽顶部，所述水槽中纯水上方积聚的空气，由所述排气口排出。
[0009]进一步地，所述流量计的物理位置低于所述水槽进口的位置，这样，在更换过滤器时，水槽出口与流量计之间管路中的纯水就不会倒流，导致空气进入水槽出口与流量计之间的管路。
[0010]进一步地，所述流量计及所述流量计与所述水槽出口之间管路的整体物理位置低于所述水槽进口的位置，这样，可以确保水槽出口与流量计之间管路中任意一段的纯水都不会倒流。
[0011]进一步地，所述水槽进口的位置高度高于所述水槽出口的高度，所述水槽出口下方的所述水槽部分的容积小于所述流量计与所述水槽出口之间管路的容积。这样，即使发生水槽出口与流量计之间管路中的纯水倒流，也会因倒流的纯水填满水槽出口下方的水槽部分，从而将水槽出口封闭，防止空气进入此管路。
[0012]进一步地，所述水槽进口的位置高度高于所述水槽出口的高度，所述水槽进口上方的所述水槽部分的容积大于所述过滤器与所述水槽进口之间管路的容积。这样设计的目的在于，当水槽进口下方的水槽装满纯水时，水槽进口上方的水槽空间可以容纳从过滤器侧管路进入并积聚的空气。
[0013]进一步地，所述水槽进口设于所述水槽的顶部，所述水槽出口设于所述水槽的底部。由于水槽容积不宜过大，这样设置水槽的进口、出口位置，可以使其落差最大化，充分利用水槽的高度空间。
[0014]进一步地，所述水槽的排气口位于所述水槽进口位置的上方，以利于排气。
[0015]进一步地，所述水槽的排气口设于所述水槽的顶部，可以将积聚的空气尽可能全部排出。
[0016]进一步地，所述水槽的排气口连接一排气管路，将空气沿排气管路向外部排出。
[0017]进一步地，所述水槽的排气口连接一排气管路，所述排气管路设有阀门，可在排气结束时进行关闭，保持纯水过滤系统管路的密闭运行。
[0018]从上述技术方案可以看出，本实用新型通过在涂胶显影机纯水过滤系统管路的过滤器与流量计之间的纯水管路设置一个进出口具有高度差的密闭水槽，并利用水槽进出口位置的高度差，避免了水槽与流量计之间管路中的纯水倒流，有效防止了空气的进入，解决了现有技术存在的在更换过滤器时，空气会进入过滤器与流量计之间纯水管路的问题，并能快速有效地将自水槽与过滤器之间管路中进入的空气，通过水槽设置的排气口排出，具有明显缩短更换过滤器的时间，并且大为减少纯水消耗的有益效果。【专利附图】
【附图说明】
[0019]图1是现有技术的TEL Track涂胶显影机台纯水过滤系统的管路结构示意图；
[0020]图2是本实用新型涂胶显影机纯水过滤系统的管路排气装置的结构示意图。
【具体实施方式】
[0021]下面结合附图，对本实用新型的【具体实施方式】作进一步的详细说明。
[0022]在本实施例中，为便于与本实用新型进行对比，先介绍一下现有技术的一种涂胶显影机台纯水过滤系统的管路结构及其存在的需要改进的问题。
[0023]请参阅图1，图1是现有技术的TEL Track涂胶显影机台纯水过滤系统的管路结构示意图。如图所示，该纯水过滤系统包括一纯水过滤器1，厂务集中供应的纯水通过进水管2进入过滤器1，经过过滤器I过滤后，沿出水管路16、10通向涂胶显影机台的纯水喷嘴12。过滤器I与喷嘴12之间的管路还设有控制纯水流量的流量计13，以及调节喷嘴喷水压力的调节阀11。其中，过滤器I与流量计13所在的管路单元位于厂房的二楼，而调节阀11与喷嘴12所在的管路单元单元位于厂房的三楼，二个管路单元之间由纯水输送管路10连接。过滤器I使用一段时间后，会因杂质充满或堵塞、影响过滤效果而更换。
[0024]图1所公开的涂胶显影机台纯水过滤系统的管路结构，在正常情况下，过滤器I里面与管路里面都是充满纯水的，没有气泡。而当更换过滤器I时，就会有两处地方产生空气进入。一是新过滤器本身里面有空气，不过，这部分空气可以通过过滤器I本身的排气口 3排出；二是流量计13与过滤器I之间管路16的液体会倒流，导致管路16因空掉而造成空气进入。在第二种情况中，流量计13与过滤器I之间的管路16中进入的这部分空气，只能通过位于三楼的喷嘴端排出去。而由二楼到三楼的纯水输送管路10有5?6米甚至更长的距离，这就导致这部分空气不易排出去，有时甚至以气泡形式附着在管壁，很难排出，需要做大量喷涂(即在机台内部压力的作用下，通过喷嘴将纯水喷出)来排出，这会对更换过滤器I增加出大量的工作，影响生产量；而且这样做，既会消耗大量的纯水，又不能保证气泡能100%排出。
[0025]下面详细介绍一下本实用新型的实施例对上述现有技术存在问题的有益改进。
[0026]在本实施例中，请参阅图2，图2是本实用新型涂胶显影机纯水过滤系统的管路排气装置的结构示意图。如图所示，本实用新型的排气装置，设置在涂胶显影机纯水过滤系统的管路中。在纯水过滤系统的管路中依次设有过滤器1、流量计13、调节阀11和喷嘴12。厂务集中供应的纯水通过进水管2进入过滤器1，经过过滤器I过滤后，沿出水管路经流量计13、调节阀11通向涂胶显影机台的纯水喷嘴12。其中，由调节阀11和喷嘴12所组成的管路单元位于厂房的三楼，由过滤器I和流量计13所组成的管路单元位于厂房的二楼，二个管路单元之间存在物理位置高低的差异。为了解决如图1所示的在更换过滤器I时，原有的流量计13与过滤器I之间管路16因断开，而造成此管路16中纯水的倒流，导致管路16因空掉而造成空气进入的问题，在如图2所示的过滤器I和流量计13之间的管路4、14(即原有的管路16)之间设有一密闭水槽6。
[0027]请继续参阅图2。在水槽6的侧面靠上端开有一进口 5，进口 5与过滤器侧的管路4相连接。在水槽6的侧面靠下端开有一出口 15，出口 15与流量计侧的管路14相连接。水槽进口 5的位置高度要高于水槽出口 15的高度，在更换过滤器I时，过滤器侧的管路4与过滤器I呈断开状态，这时，位于水槽进口 5和水槽出口 15之间的纯水，利用落差可以将水槽出口 15封闭。从而,水槽出口 15与流量计13之间管路14中的纯水就不会倒流,并导致空气进入产生气泡积聚。
[0028]请继续参阅图2。在本实施例中，水槽6在位置设置时，使水槽进口 5的物理位置高于流量计13的位置。这样，在更换过滤器I时，水槽出口 15与流量计13之间管路14中的纯水就不会倒流，导致空气进入水槽出口 15与流量计13之间的管路14。当然，如果在厂房实际空间许可的情况下，使流量计及流量计与水槽出口之间管路的整体物理位置低于水槽进口的位置，就可以确保水槽出口与流量计之间管路中任意一段的纯水都不会倒流。
[0029]请继续参阅图2。水槽出口 15下方的水槽部分的容积，要保证小于流量计13与水槽出口 15之间管路14的容积。这样，即使发生水槽出口 15与流量计13之间管路14中的纯水倒流，也会因倒流的纯水填满水槽出口 15下方的水槽部分,从而将水槽出口 15封闭，防止空气进入此管路。同时，水槽进口 5上方的水槽部分的容积，要保证大于过滤器I与水槽进口 5之间管路4的容积。这样，当水槽进口 5下方的水槽装满纯水时，水槽进口 5上方的水槽空间可以容纳从过滤器侧管路4进入并积聚的空气。
[0030]请继续参阅图2。在水槽6的顶部设有一个排气口 7，排气口 7连接一排气管路8。排气管路8设有阀门9，可在排气结束时进行关闭，保持纯水过滤系统管路的密闭运行。排气口 7设于水槽6的顶部，可以将积聚的空气尽可能全部排出。在更换过滤器I时，空气会自过滤器侧的管路4进入水槽6，积聚在水槽6顶部。此时，打开排气管路8的阀门9，将水槽6上方积聚的空气，经排气口 7通过排气管路8向外部排出即可。
[0031]需要说明的是，也可将水槽进口设于水槽的顶部，同时将水槽出口设于水槽的底部。由于水槽容积不宜过大，这样设置水槽的进口、出口位置，可以使其落差最大化，充分利用水槽的高度空间。此外，水槽的排气口也可设置在位于水槽进口位置上方的水槽侧面，只要高于水槽进口位置，就可以起到排气的作用，本实施例不再展开描述。
[0032]以上所述的仅为本实用新型的优选实施例，所述实施例并非用以限制本实用新型的专利保护范围，因此凡是运用本实用新型的说明书及附图内容所作的等同结构变化，同理均应包含在本实用新型的保护范围内。
【权利要求】
1.一种涂胶显影机纯水过滤系统的管路排气装置，所述纯水过滤系统的管路中依次设有过滤器、流量计、调节阀和喷嘴，其中，由所述调节阀和喷嘴所组成的管路单元的物理位置高于由所述过滤器和流量计所组成的管路单元的物理位置，其特征在于，在所述过滤器和所述流量计之间的管路设有一密闭水槽，所述水槽的进口连接所述过滤器侧的管路，所述水槽的出口连接所述流量计侧的管路，所述水槽还设有排气口 ；其中，所述水槽进口的位置高度高于所述水槽出口的高度，在所述过滤器侧的管路与所述过滤器断开时，所述水槽中位于所述水槽进口和所述水槽出口之间的纯水，利用落差将所述水槽出口封闭，所述水槽中纯水上方的自所述过滤器侧的管路进入的空气，由所述排气口排出。
2.如权利要求1所述的管路排气装置，其特征在于，所述流量计的物理位置低于所述水槽进口的位置。
3.如权利要求1所述的管路排气装置，其特征在于，所述流量计及所述流量计与所述水槽出口之间管路的整体物理位置低于所述水槽进口的位置。
4.如权利要求1或3所述的管路排气装置，其特征在于，所述水槽进口的位置高度高于所述水槽出口的高度，所述水槽出口下方的所述水槽部分的容积小于所述流量计与所述水槽出口之间管路的容积。
5.如权利要求1所述的管路排气装置，其特征在于，所述水槽进口的位置高度高于所述水槽出口的高度，所述水槽进口上方的所述水槽部分的容积大于所述过滤器与所述水槽进口之间管路的容积。
6.如权利要求1所述的管路排气装置，其特征在于，所述水槽进口设于所述水槽的顶部，所述水槽出口设于所述水槽的底部。
7.如权利要求1所述的管路排气装置，其特征在于，所述水槽的排气口位于所述水槽进口位置的上方。
8.如权利要求1所述的管路排气装置，其特征在于，所述水槽的排气口设于所述水槽的顶部。
9.如权利要求1、7或8所述的管路排气装置，其特征在于，所述水槽的排气口连接一排气管路。
10.如权利要求1、7或8所述的管路排气装置，其特征在于，所述水槽的排气口连接一排气管路，所述排气管路设有阀门。
【文档编号】B01D35/01GK203790684SQ201420142253
【公开日】2014年8月27日 申请日期:2014年3月27日 优先权日:2014年3月27日
【发明者】何虎, 程奥博 申请人:上海华力微电子有限公司