一种W掺杂Bi2O3纳米结构的制备方法与流程

文档序号:16400696发布日期:2018-12-25 20:06阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种W掺杂Bi2O3纳米结构的制备方法,属于光催化材料制备领域。a、将石英玻璃切割为基片,依次在丙酮去离子水中采用超声波各清洗5分钟,干燥。将洗好的玻璃基片固定在可旋转的样品台上,将W靶和Bi2O3靶安装在磁控溅射仪上,使基片平面与水平面成5°‑10°夹角,Bi2O3靶法线与基片法线成80°‑85°,靶间距为6‑7cm,W靶法线与基片法线夹角50°‑55°靶间距为10‑11cm,关闭腔门。c、使用机械泵抽真空,使真空达到10pa以下,打开分子泵,使真空达到5*10(‑4)pa以下,充入氩气,将气压升到0.2Pa‑0.5Pa。d、打开转动,打开W靶直流溅射,Bi2O3交流溅射,同时溅射30分钟。e、将样品放于干燥箱中500°退火1小时,即得到具有三维纳米结构的W掺杂Bi2O3纳米结构阵列。

技术研发人员:曾祥涛;夏钰东;王红艳;朱浩;孙柏;倪宇翔
受保护的技术使用者:西南交通大学
技术研发日:2018.08.24
技术公布日:2018.12.25
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