本实用新型涉及一种石英坩埚喷涂用加热单元。
背景技术:
目前,现有技术的石英坩埚喷涂用加热单元仅仅是将加热管或加热丝固定在金属板上实现加热,这种方式的缺点在于,热传导效率不高,加热不均匀,并且容易出现故障,造成产品质量不良及生产效率低下;另外,这种方式的缺点还在于加热管不能便于更换,修理比较麻烦。
技术实现要素:
本实用新型所要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷,提供一种石英坩埚喷涂用加热单元,它不仅能够使其对石英坩埚加热均匀,而且能够便于更换模具加热管,使用非常方便。
为了解决上述技术问题,本实用新型的技术方案是:一种石英坩埚喷涂用加热单元,它包括:
隔热载体;
导热板,所述导热板设置在隔热载体的外侧;
加热组件,所述加热组件包括至少两个外接供电线路的模具加热管,所述模具加热管插装在导热板上。
进一步,所述模具加热管沿导热板的长度方向延伸,并且所有的模具加热管沿导热板的宽度方向并列设置。
进一步提供了一种隔热载体的具体结构,所述隔热载体包括隔热绝缘层和保温隔热层,所述保温隔热层设置在隔热绝缘层的外侧,所述导热板设置在保温隔热层的外侧。
进一步提供了一种隔热绝缘层的具体结构,所述隔热绝缘层为电工绝缘板。
进一步提供了一种保温隔热层的具体结构,所述保温隔热层为石棉层。
进一步为了实现很好地导热效果,所述导热板由铜材质或铝材质制成。
进一步提供了一种导热板和模具加热管的安装结构,所述导热板上设置有和模具加热管一一对应的插孔,所述模具加热管插装在相应的插孔内。
进一步为了能够很好地接触石英坩埚,使得其对石英坩埚能够很好地加热,石英坩埚喷涂用加热单元还包括石英坩埚接触层,所述石英坩埚接触层设置在导热板的外侧。
进一步,所述石英坩埚接触层由弹性材料制成。
进一步,所有的模具加热管为并联状态。
采用了上述技术方案后,本实用新型具有以下的有益效果:
1、本实用新型采用了模具加热管,并通过导热板进行导热,这种结构能够很好地将电能转变为热能,并能够将热能很好地传递给石英坩埚,加热比较均匀;
2、本实用新型将模具加热管插装在导热板上,这种方式使得模具加热管能够很好地更换,方便了维修和检查。
附图说明
图1为本实用新型的石英坩埚喷涂用加热单元的装配爆炸图;
图2为本实用新型的石英坩埚喷涂用加热单元的立体图。
具体实施方式
为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解,下面根据具体实施例并结合附图,对本实用新型作进一步详细的说明。
如图1、2所示,一种石英坩埚喷涂用加热单元,它包括:
隔热载体;
导热板1,所述导热板1设置在隔热载体的外侧;
加热组件,所述加热组件包括至少两个外接供电线路的模具加热管2,所述模具加热管2插装在导热板1上。
如图1、2所示,所述模具加热管2沿导热板1的长度方向延伸,并且所有的模具加热管2沿导热板1的宽度方向并列设置。
如图1所示,所述隔热载体包括隔热绝缘层3和保温隔热层4,所述保温隔热层4设置在隔热绝缘层3的外侧,所述导热板1设置在保温隔热层4的外侧。
所述隔热绝缘层3为电工绝缘板,但是不限于此。
所述保温隔热层4为石棉层,但是不限于此。
所述导热板1由铜材质或铝材质制成,但是不限于此。
如图1、2所示,所述导热板1上设置有和模具加热管2一一对应的插孔,所述模具加热管2插装在相应的插孔内;具体地,所述插孔为盲孔,一个导热板1上,导热板1的上部插装有4个模具加热管2,导热板1的下部插装有4个模具加热管2,但是不限于此。
为了能够很好地接触石英坩埚,使得其对石英坩埚能够很好地加热,如图1、2所示,石英坩埚喷涂用加热单元还包括石英坩埚接触层5,所述石英坩埚接触层5设置在导热板1的外侧。
所述石英坩埚接触层5由弹性材料制成。
所有的模具加热管2为并联状态。
在本实施例中,模具加热管2外接供电线路,当其通电时,能够将电能转变为热能,然后通过导热板1和石英坩埚接触层5传导给石英坩埚,从而对石英坩埚传递热量。
以上所述的具体实施例,对本实用新型解决的技术问题、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明,所应理解的是,以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已,并不用于限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内,所做的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。