本发明属于半导体表面处理加工领域，特别是涉及螺钉类零件的喷涂制程上挂，适用于IC装备制造业的喷涂制程上挂治具。
背景技术：
目前，在IC装备(半导体器件、集成电路芯片和平板显示器的专用生产设备)制造行业中，需要喷涂制程处理的零件越来越多，并且对制程后工件的外观、性能要求也不断提升。对于螺钉类小零件而言，可以保证喷涂质量的批量上挂方式难度较高。此外，即便可以上挂，一般上挂方式喷涂效果不均匀，外观会出现色差，上挂工件的数量少、效率低，并且不同批次之间加工的工件外观一致性较差。鉴于上述情况，有必要设计一种螺钉类零件可以批量生产、上挂方式简单、保证涂层均匀一致的喷涂上挂治具。
技术实现要素：
针对上述存在的技术问题，本发明的目的是治具主轴公转和零件自转相结合的方式，攻克螺钉类零件批量上挂难问题、均匀性差问题，提高效率，降低成本，避免工件之间在外观上的异常，保证涂层性能稳定。
为实现本发明的目的，采用的技术方案是：
一种螺钉类零件喷涂上挂治具，包括：基座、主轴、转盘、定位套、卡盘；
基座通过固定螺丝一固定主轴，主轴通过固定螺丝三连接有定位套；
定位套上套接有转盘，用固定螺丝二固定；卡盘底部圆柱插接到转盘的圆孔内。
拨杆与主轴平行固定，拨杆垂直于转盘，距离转盘边缘1-2mm。
卡盘上设有多个圆孔，在圆孔内插入卡座；
卡座为梯形圆台结构，侧壁设有十字交叉拨块；
卡座与拨杆抵接，拨杆拨动十字交叉拨块带动卡座自转；
所述卡盘固定转盘上，卡座插接到卡盘上，拨杆使卡座自转，提高喷涂均匀性。
本发明的有益效果是：
本发明通过设计螺纹头固定装卡治具，实现螺钉简易上挂方式，多层转盘重叠，实现螺钉批量上挂，通过治具主轴公转和零件自转相结合的方式，使涂层均匀喷涂至螺钉，操作简单、涂层性能稳定、提高效率、降低成本，同时能够避免不同批次加工工件之间在外观上的不一致性，本发明还可以针对卡座进行调节，这样可以根据工件的特征改制治具，扩展了治具的利用率和使用范围。
附图说明
图1为本发明实施例中喷涂上挂治具组装示意图；
图2为本发明实施例中主轴结构示意图；
图3为本发明实施例中定位套和定位套固定螺丝结构示意图；
图4为本发明实施例中定位套和定位套固定螺丝结构示意图；
图5为本发明实施例中转盘和转盘固定螺丝结构示意图；
图6为本发明实施例中卡座结构示意图；
图7为本发明实施例中拨杆结构示意图；
图8为本发明螺钉类零件喷涂上挂治具使用示意图。
具体实施方式
以下结合附图1-8对本发明的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。
一种螺钉类零件喷涂上挂治具，包括：基座1、主轴2、转盘4、定位套6、卡座9；
基座1通过固定螺丝一3固定主轴2，主轴2通过固定螺丝三7连接有定位套6；
定位套6上套接有转盘4，用固定螺丝二5固定；转盘4的圆孔11与卡座9底部柱子插接。
拨杆8与主轴2平行布置，拨杆8垂直于转盘4，距离转盘边缘1-2mm。
卡盘9上设有多个圆孔，在圆孔内插入卡座10；
卡座10底部为圆柱12，侧壁设有十字交叉拨块13；
卡座10与拨杆8抵接，拨杆8拨动十字交叉拨块13带动卡座10自转。
所述卡盘9固定转盘上，卡座10插接到卡盘9上，在拨杆8的作用下卡座10自转，提高喷涂均匀性。
所述每个转盘上可以设置多个卡座，主轴上可以设置多个转盘，合理利用喷涂腔室空间，实现批量生产。卡座是用于固定零件，可根据工件尺寸及形状特征对卡座进行调整。相邻转盘之间距离可根据工件尺寸进行调整。
实施例
在喷涂前，将螺纹类工件通过螺钉头部卡入卡座中固定上挂，工件上挂完成后，即可通过主轴转动带动转盘匀速公转，卡座碰触拨杆来实现匀速自转，即可保证螺杆面喷涂均匀，上下挂简单、提高效率，降低成本；涂层稳定系数高，避免了不同批次加工工件之间的外观不一致性及挂点的多样化。
为了使工件实现批量上挂，每个转盘可以放置多个卡座，主轴上课放置多个转盘，合理利用喷涂腔室空间，均可根据所要上挂工件的尺寸和形状进行预先设计，以如图8所示。
卡座可以根据零件大小进行调整，这样可以根据工件的特征改制治具，扩展了治具的利用率和使用范围。
以上结合附图详细描述了本发明的优选实施方式，但是，本发明并不限于上述实施方式中的具体细节，在本发明的技术构思范围内，可以对本发明的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本发明的保护范围。
另外需要说明的是，在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合。为了避免不必要的重复，本发明对各种可能的组合方式不再另行说明。