滤材卡匣及用以承载滤材卡匣的滤材箱的制作方法

本实用新型涉及一种滤材卡匣及滤材箱，尤指一种用以过滤挥发性有机物、酸及碱的滤材卡匣及承载滤材卡匣的滤材箱。

背景技术：

在半导体制程中，常需要使用特殊的气体或液体协助进行半导体组件的制作，然而，特殊气体或液体的使用容易产生一些挥发性有机物(volatileorganiccornpounds,vocs)、酸及碱性的气体。若无法提供有效的空气净化，这些气体将会因内部循环而回到半导体的无尘室内，将影响到制程的合格率。

为了避免挥发性有机物、酸及碱性的气体散布于无尘室中，于无尘室的气流循环系统中常会设置一风机滤网机组(ffu)，风机滤网机组中具有空气过滤效果的滤材箱将设置在风车上。滤材箱将作为气流循环系统的进气的过滤，以将挥发性有机物、酸及碱性的气体进行滤除，而提供干净的空气。

以往滤材欲组装至可承载的滤材箱时，滤材件不易对位组装在滤材箱上，且滤材必须采用黏胶方式固定在滤材箱上，再者，为了避免欲过滤的气体从滤材与滤材箱的内部板体间的空隙旁通，通常会使用黏胶填缝，于是滤材通过多道黏胶程序固定在滤材箱中。

当滤材箱中的滤材其使用寿命已达需更换的时刻，由于滤材采用黏胶方式固定在滤材箱上，若要回收滤材箱，拆除黏固在滤材箱中的滤材是必需花费不少的工夫及时间成本，因此，现今常见做法，滤材用完后，将会把滤材及其承载的滤材箱一同丢弃。如此作法，不仅会造成环境的污染，且也会造成箱体成本的浪费。

技术实现要素：

有鉴于此，本实用新型将提供一种创新结构的滤材箱，其滤材件容易组装至滤材箱中，并且，当滤材件的使用寿命到达而需更换时，是可以轻易地从滤材箱中进行抽换，以便滤材箱可以重复使用，避免造成环境的污染，将会是本实用新型欲达到的目的。

为达成上述目的，本实用新型提供一种滤材卡匣，其特征在于，包括：

一框架，包括有多个边框，所述框架的边框内部设置有复数个导槽，每一所述导槽的内壁分别设置有复数个第一凸部；及，

复数个滤材件，包括有一框体及一设置在所述框体中的滤材，所述框体的外表面设置有复数个第二凸部，其中所述滤材件的所述框体外围分别环设一密封层；

所述滤材件插设在所述框架中的所述导槽中，所述密封层被挤压在所述第一凸部及所述第二凸部间。

所述的滤材卡匣，其中，所述滤材件插设在所述框架中的所述导槽中，所述密封层被所述至少两第一凸部紧迫地挤压在所述至少两第二凸部间，或者所述密封层被所述至少两第二凸部紧迫地挤压在所述至少两第一凸部间。

所述的滤材卡匣，其中，所述框架还包括有一开口框，所述开口框连接在所述框架的两侧边框之间，每一所述滤材件经由所述开口框进入对应的所述导槽中。

所述的滤材卡匣，其中，每一所述滤材件分别插设在对应的所述导槽中，每一所述滤材件与相邻的另一所述滤材件间间隔有一空隙。

所述的滤材卡匣，其中，所述滤材件分别具有相同气体的过滤效果。

所述的滤材卡匣，其中，所述滤材件分别具有不同气体的过滤效果。

所述的滤材卡匣，其中，所述密封层为一具有弹性的发泡层、一具有弹性的胶体层或一具有弹性的塑料层。

本实用新型还提供一种用以承载所述的滤材卡匣的滤材箱，其中，包括：

一底板，包括有至少一第一风口；

复数个侧板，设置于所述底板的周围，所述侧板与所述底板形成有一容置空间，所述容置空间的上端为一顶部开口而下端为所述底板；

两侧向固定板，分别设置在两相互对称的侧板的内表面上，其中所述两侧向固定板的内表面上形成有多个定位凸条，每两个相邻且平行的所述定位凸条间隔出一定位通道，每一所述滤材卡匣的两侧端分别被所述两侧向固定板上的所述定位通道所定位；及，

至少一盖板，盖住部分的所述顶部开口，所述顶部开口形成有至少一第二风口。

所述的滤材箱，其中，各所述滤材卡匣相对于所述底板的平面倾斜设置在所述滤材箱中。

所述的滤材箱，其中，设置在所述滤材箱中的滤材卡匣组合成“λ”形、n形或m形的外观态样。

所述的滤材箱，其中，所述盖板的两侧边上分别设置有至少一扣件，两所述侧板的外表面分别设置有至少一嵌固件，所述扣件扣合在所述嵌固件上。

所述的滤材箱，其中，所述盖板的一侧边经由一转轴固定在其中一所述侧板上而所述盖板的另一侧边设置有至少一扣件，另一所述侧板的外表面设置有至少一嵌固件，所述扣件扣合在所述嵌固件上。

本实用新型还提供一种用以承载所述的滤材卡匣的滤材箱，其中，包括：

一底板，包括有至少一第一风口；

一顶板，包括有至少一第二风口；

复数个侧板，设置于所述顶板及所述底板间，其中一侧边开口形成在所述顶板、所述底板及两个所述侧板间，一第一侧向固定板设置在面向所述侧边开口的所述侧板上且形成有多个定位凸条，每两个相邻且平行的所述定位凸条间隔出一定位通道，一第二侧向固定板设置在所述侧边开口上且包括有复数个定位通孔，所述滤材卡匣的两端分别被所述第一侧向固定板上的所述定位通道与所述第二侧向固定板上的所述定位通孔所定位；及，

至少一盖板，用以封盖所述侧边开口。

所述的滤材箱，其中，各所述滤材卡匣相对于所述底板的平面倾斜设置在所述滤材箱中。

所述的滤材箱，其中，设置在所述滤材箱中的滤材卡匣组合成“λ”形、n形或m形的外观态样。

所述的滤材箱，其中，所述盖板的一边经由一转轴固定在所述底板上而所述盖板的另一边设置有至少一扣件，所述顶板的外表面设置有至少一嵌固件，所述扣件扣合在所述嵌固件上。

本实用新型还提供一种用以承载所述的滤材卡匣的滤材箱，其中，其包括：

一底板，其中心有一底部开口；

复数个第一侧板，设置于所述底板外围；

复数个第二侧板，设置于所述底部开口外围以形成有一中空通道，所述中空通道的一端为所述底部开口而另一端为一顶部开口，其中所述第一侧板的宽度大于所述第二侧板的宽度，所述第一侧板与所述第二侧板的板体上分别有一侧边开口，各所述第一侧板与各所述第二侧边间分别设置有一容置槽，所述容置槽用以容置所述滤材卡匣；及，

一盲封盖板，用以盖住所述顶部开口及所述容置槽。

所述的滤材箱，其中，所述盖板的各侧边分别设置有至少一嵌固件，各所述第一侧板的板体上分别设置有至少一扣件，所述扣件扣合在所述嵌固件上。

所述的滤材箱，其中，所述盖板的各侧边分别设置有至少一扣件，各所述第一侧板的板体上分别设置有至少一嵌固件，所述扣件扣合在所述嵌固件上。

本实用新型的一优点在于提出一种滤材卡匣，其滤材卡匣包括一框架，框架内部有复数个导槽，每一导槽的内壁分别设置有复数个第一凸部，一滤材件的框体的外表面设置有复数个第二凸部且环设一密封层，当滤材件插设在导槽时，密封层将被两第二凸部挤压在相邻的两个第一凸部间，则，滤材卡匣不仅可以达到较佳的密封效果，且滤材件能够紧配在滤材卡匣的框架中。

本实用新型的又一优点在于提出一种滤材箱，其滤材箱的两相互对称的侧板上分别设置有两侧向固定板，两侧向固定板的板体上形成有多个定位通道，每一滤材卡匣的两侧端分别穿设在两边侧向固定板的定位通道上而被两边定位通道所定位，当所有的滤材卡匣都装设至滤材箱后，将顶部开口封盖，即可完成滤材箱的构件组装。

本实用新型的又一优点在于提出一种滤材箱，其滤材箱内部的一特定侧板上设置一第一侧向固定板，第一侧向固定板的板体上形成有复数个定位通道，每一滤材卡匣的一侧端分别定位至第一侧向固定板上所对应的定位通道中，此外，在滤材箱中面向特定侧板的一侧为一侧向开口，一第二侧向固定板设置在侧边开口处且镂空有复数个定位通孔，每一滤材卡匣的两侧端分别被第一侧向固定板上的定位通道与第二侧向固定板上的定位通孔所定位，当所有的滤材卡匣都装设至滤材箱后，将侧向开口封盖，即可完成滤材箱的构件组装。

本实用新型的又一优点在于提出一种滤材箱，其滤材箱为一具有中空通道的箱体，于中空通道的周围设置有复数个容置槽，容置槽用以容置滤材卡匣，当所有的滤材卡匣都装设至滤材箱后，将中空通道的顶部开口及容置槽的槽口进行封盖，即可完成滤材箱的构件组装。

附图说明

图1a是本实用新型滤材卡匣的结构分解图。

图1b是本实用新型滤材卡匣的结构截面图。

图1c是本实用新型滤材卡匣部分结构的放大图。

图2a是本实用新型滤材箱第一实施例的结构分解图。

图2b是本实用新型滤材箱第一实施例的第一视角立体图。

图2c是本实用新型滤材箱第一实施例的第二视角立体图。

图2d是本实用新型滤材箱第一实施例的截面示意图。

图3a是本实用新型滤材箱第二实施例的第一视角立体图。

图3b是本实用新型滤材箱第二实施例的第二视角立体图。

图3c是本实用新型滤材箱第二实施例的截面示意图。

图4a是本实用新型滤材箱第三实施例的结构分解图。

图4b是本实用新型滤材箱第三实施例的部分结构组装图。

图4c是本实用新型滤材箱第三实施例的第一视角立体图。

图4d是本实用新型滤材箱第三实施例的第二视角立体图。

图5a是本实用新型滤材箱第四实施例的结构组装示意图。

图5b是本实用新型滤材箱第四实施例的第一视角立体图。

图5c是本实用新型滤材箱第三实施例的第二视角立体图。

附图标记说明：10-滤材卡匣；11-框架；111-导槽；112-第一凸部；13-滤材件；131-框体；132-第二凸部；133-滤材；135-密封层；200-滤材箱；201-滤材箱；21-侧向固定板；221-嵌固件；223-扣件；23-定位凸条；231-定位通道；241-顶部开口；242-第二风口；243-侧板；244-侧板；245-底板；246-第一风口；25-盖板；251-扣部；253-嵌固件；255-第二风口；300-滤材箱；31-第一侧向固定板；311-定位凸条；313-定位通道；33-第二侧向固定板；331-定位通孔；341-侧边开口；342-第二风口；343-顶板；3431嵌固件；345-底板；346-第一风口；347-侧板；35-盖板；351-转轴；353-扣件；400-滤材箱；41-底板；410-底部开口；42-侧边开口；43-第一侧板；431-扣件；45-第二侧板；47-容置槽；49-盲封盖板；490-顶部开口。

具体实施方式

请参阅图1a、图1b及图1c，分别为本实用新型滤材卡匣的结构分解图、本实用新型滤材卡匣的结构截面图及本实用新型滤材卡匣部分结构的放大图。如图1a、图1b及图1c所示，滤材卡匣10包括有一框架11及复数个滤材件13，框架11具有三个边框，如两侧边框及一底部边框，滤材件13将被组装在框架11中。在框架11的边框内部设置有复数个导槽111，如三个导槽111。每一导槽111的各边内壁分别设置有复数个第一凸部112。

滤材件13包括一框体131及一滤材133。滤材133设置在框体131中。框体131的各边外表面设置有复数个第二凸部132。再者，各滤材件13的框体131外围环设有一密封层135。密封层135为一具有弹性的发泡层、一具有弹性的胶体层或一具有弹性的塑料层。

当滤材件13欲组装至框架11中时，滤材件13也可插入至一对应的导槽111中。当滤材件13已插设在导槽111时，滤材件13外围的密封层135将被挤压在第一凸部112以及与第一凸部112相邻的第二凸部132之间。当密封层135被挤压时，将会产生一气密的效果，避免欲过滤的气体从滤材件13与框架11间的空隙通过。

本实用新型一实施例中，当滤材件13插设在导槽111时，密封层135也可在单一第一凸部112与相邻的单一第二凸部132间被挤压。或者，如第1c图所示，本实用新型一较佳实施例中，当滤材件13插设在导槽111时，密封层135将被至少两第二凸部132挤压在相邻的两个第一凸部112间，或者，密封层135将被至少两第一凸部112挤压在相邻的两个第二凸部132间。则，经由至少两第二凸部132/至少两第一凸部112挤压密封层135在相邻的两个第一凸部112/两个第二凸部132间，其不仅可以达到更好的密封效果，且滤材件13能够紧配在框架11的导槽111的上，以降低滤材件13在框架11的导槽111中产生晃动的机会。再者，当每一滤材件13分别插设在对应的导槽111中时，每一滤材件13与相邻的另一滤材件13间将存在有一空隙(d)。

进一步地，如图1a所示，框架11尚包括一开口框113。开口框113的两侧分别与框架11的两侧边框相连接。滤材卡匣10在进行滤材件13的组配时，每一滤材件13将会经由开口框113进入所对应的导槽111中。凭借开口框113的设计，将增加框架11的两侧边框的强度，以提高框架11的稳固性。

在本实用新型中，滤材卡匣10的框架11中设计为三个导槽111，然而，也可根据于实际需求，设计为两个或三个以上的导槽111，以在滤材卡匣10中组配两个或三个以上的滤材件13。

在本实用新型一实施例中，滤材卡匣10中所组配的各滤材件13的滤材133是可以选择具有相同的气体过滤功效，例如：第一个滤材件13的滤材133、第二个滤材件13的滤材133及第三个滤材件13的滤材133都可以对于一特定挥发性有机化合物、酸或碱性的气体，如甲苯、硫化物或氨气产生过滤的功效。当特定挥发性有机化合物的气体经由滤材卡匣10时，经过三层的滤材133的过滤，以有效地提高特定挥发性有机化合物的气体的滤净效果。

或者，在本实用新型一实施例中，滤材卡匣10中所组配的各滤材件13的滤材133是可以选择不同的气体过滤功效，例如：第一个滤材件13的滤材133可对于挥发性有机化合物的气体(如甲苯醛)产生过滤的功效，第二个滤材件13的滤材133可对于酸的气体(硫化物)产生过滤的功效，第三个滤材件13的滤材133可对于碱性的气体(氨气)产生过滤的功效。如此，经由各类型过滤滤材件13的配置，本实用新型滤材卡匣10即可以对于多种类型的气体进行空气的清净。

请参阅图2a、图2b、图2c及图2d，分别为本实用新型滤材箱第一实施例的结构分解图、本实用新型滤材箱第一实施例的第一视角立体图、本实用新型滤材箱第一实施例的第二视角立体图及本实用新型滤材箱第一实施例的截面示意图。本实用新型滤材箱200将被用以承载复数个滤材卡匣10。如图2a、图2b、图2c及图2d所示，本实用新型滤材箱200为一方形的箱体，其包括有复数个侧板，如两长边侧板243及两短边侧板244，以及一底板245。底板245包括有至少一第一风口246。侧板243、244设置于底板245周围，侧板243、244与底板245形成有一容置空间，容置空间的上端为一顶部开口241而下端为底板245。

再者，滤材箱200将摆设有两个侧向固定板21。两侧向固定板21的板体上分别形成有多个定位凸条23，每两个相邻且平行的定位凸条间隔出一定位通道231。当滤材卡匣10欲组装至滤材箱200时，首先，将两侧向固定板21分别设置在两相互对称的侧板的内表面上，例如：两侧向固定板21分别设置在两长边侧板243的内表面上。两侧向固定板21装设在滤材箱200后，每一滤材卡匣10的两侧端分别穿设在两边侧向固定板21的定位通道231上，以被两边定位通道231所定位。当所有的滤材卡匣10都装设至滤材箱200后，至少一盖板25将盖住部分的顶部开口241，以在顶部开口241形成有至少一第二风口242。本实用新型一实施例中，盖板25的两侧边上分别设置有至少一扣件251，两侧板243的外表面分别设置有至少一嵌固件221，盖板25经由扣件251扣合在嵌固件221上。或者，本实用新型又一实施例中，盖板25的一侧边经由一转轴(未显示)固定在其中一侧板243上而盖板25的另一侧边设置有至少一扣件251，对向侧板243的外表面设置有至少一嵌固件221，盖板25经由单边扣件251扣合在嵌固件221上。于是，将两侧向固定板21及每一滤材卡匣10分别装设至滤材箱200内部，且将盖板25盖合在部分的顶部开口241上且进行扣合，以完成滤材箱200的构件组装。

本实用新型滤材箱200将应用在一空气循环系统中，且装设在一风车旁。本实用新型一实施例中，滤材箱200顶部的第二风口242是可以为一进风口，其可以面向风车设置，风车所吹出的气体经由第二风口242进入滤材箱200内部，经过各滤材卡匣10过滤后，再从出风的第一风口246吹出，则，从第一风口246吹出的气体将是一已过滤的清净气体。当然，本实用新型又一实施例中，第一风口246也可为一进风口，而第二风口242为一出风口。

本实用新型一实施例中，各定位通道231以相同的倾斜角度及/或不同的倾斜角度形成在两侧向固定板21上，当各滤材卡匣10定位在定位通道231时，各滤材卡匣10相对于底板245的平面将会倾斜地设置在滤材箱200中。如图2d所示，本实施例滤材箱200装设有四个滤材卡匣10，其组合成一近似m形的外观态样。

请参阅图3a、图3b及图3c，分别为本实用新型滤材箱第二实施例的第一视角立体图、本实用新型滤材箱第二实施例的第二视角立体图及本实用新型滤材箱第二实施例的截面示意图。如图3a、图3b及图3c所示，相较于上述实施例的滤材箱200，本实施例滤材箱201只使用单一盖板25盖合顶部开口241，并且盖板25设置有一第二风口255。盖板25的两侧边分别设置有至少一嵌固件253，而在两侧板243的外表面分别设置至少一扣件223，盖板25经由扣件223与嵌固件253间的扣合以盖合顶部开口241。

另，本实施例滤材箱201的箱体长度是小于上述实施例滤材箱201的箱体长度，因此，只装设有三个滤材卡匣10，这三个滤材卡匣10组合成一近似n形的外观态样。在本实用新型中，将根据于滤材卡匣10的数量需求而相对地设计滤材箱200/201的箱体长度，且依滤材卡匣10数量的多寡以组合出近似n形、近似m形，“λ”形或多个“λ”形外观态样的滤材卡匣10组。

请参阅图4a、图4b、图4c及图4d，分别为本实用新型滤材箱第三实施例的结构分解图、本实用新型滤材箱第三实施例的部分结构组装图、本实用新型滤材箱第三实施例的第一视角立体图、本实用新型滤材箱第三实施例的第二视角立体图。上述实施例的滤材箱200/201设计成以直向方式装设各滤材卡匣10，而本实施例滤材箱300设计成以横向方式装设各滤材卡匣10。如图4a、图4b、图4c及图4d所示，本实施例滤材箱300包括一顶板343、一底板345及复数个侧板347，如两个短边及一长边的侧板。两短边侧板347及长边侧板347置于顶板343及底板345间。底板345上形成有至少一第一风口346，而顶板343上形成有至少一第二风口342。另，一侧边开口341形成在顶板343、底板345及两短边侧板347间。一第一侧向固定板31设置在面向侧边开口341的长边侧板347上且形成有多个定位凸条311，每两个相邻且平行的定位凸条311间隔出一定位通道313。一第二侧向固定板33设置在侧边开口341处且镂空有复数个定位通孔331，滤材卡匣10的两侧端分别被第一侧向固定板31上的定位通道313与第二侧向固定板33上的定位通孔331所定位。

再者，至少一盖板35用以封盖侧边开口341。盖板35的一边经由一转轴351固定在底板345上而盖板35的另一边设置有至少一扣件353，顶板343的外表面设置有至少一嵌固件3431，盖板35经由扣件353扣合在嵌固件3431上。

当滤材卡匣10欲组装至滤材箱300时，首先，经由侧边开口341，将第一侧向固定板31摆入至内部的长边侧板347上；接着，以横向方式将每一滤材卡匣10的一侧端分别定位至第一侧向固定板31上所对应的定位通道313中；然后，第二侧向固定板33的每一定位通孔331分别对位至每一滤材卡匣10的另一侧端，以将每一滤材卡匣10的另一侧端穿设在对应的定位通孔331中；最后，各盖板35经由转轴351进行转动，以靠在侧边开口341处的第二侧向固定板33旁且进行扣合。于是，将第一侧向固定板31、每一滤材卡匣10及第二侧向固定板33依序装设至滤材箱300内部，盖板35盖合在侧边开口341上且进行扣合，即可完成滤材箱300的构件组装。

请参阅图5a、图5b及图5c，分别为本实用新型滤材箱第四实施例的结构组装示意图、本实用新型滤材箱第四实施例的第一视角立体图及本实用新型滤材箱第四实施例的第二视角立体图。如图5a、图5b及图5c所示，本实施例滤材箱400包括一底板41、复数个第一侧板43及复数个第二侧板45。第一侧板43的宽度大于第二侧板45的宽度。第一侧板43与第二侧板45的板体上分别有一侧边开口42。

底板41的中心有一底部开口410，其也可为一出风口。第一侧板43设置于底板41的外围，而第二侧板45设置于底部开口410外围以形成有一中空通道。中空通道的的一端为底部开口410而另一端为一顶部开口490。再者，各第一侧板43及其对应的各第二侧板45间分别设置有一容置槽47，容置槽47用以容置滤材卡匣10。当每一滤材卡匣10都组装至对应的容置槽47时，一盲封盖板49将盖合在容置槽47及顶部开口490上。本实用新型一实施例中，盲封盖板49的各侧边分别设置有至少一嵌固件491，各第一侧板43的板体上分别设置有至少一扣件431，盲封盖板49经由扣件431与嵌固件491间的扣合以固定在滤材箱400顶部。或者，本实用新型又一实施例中，扣件431也可改设于盲封盖板49的各侧边上，而嵌固件491也可改设于第一侧板43上，也能实现盲封盖板49固定在滤材箱400顶部的功效。

同样地，本实施例滤材箱400也应用在空气循环系统中，且底部开口410面向风车的吸入口设置。风车所吸入的气体经过滤材10的过滤达到净化的效果。

以上说明对本实用新型而言只是说明性的，而非限制性的，本领域普通技术人员理解，在不脱离权利要求所限定的精神和范围的情况下，可作出许多修改、变化或等效，但都将落入本实用新型的保护范围内。