一种磁性连接式石英环不定偏心机械研磨卡盘的制作方法

本发明涉及石英技术领域，具体为一种磁性连接式石英环不定偏心机械研磨卡盘。

背景技术：

石英是主要造岩矿物之一，一般指低温石英，是石英族矿物中分布最广的一个矿物，广义的石英还包括高温石英和柯石英等，主要成分是sio2，无色透明，常含有少量杂质成分，而变为半透明或不透明的晶体，质地坚硬，石英环类产品作为重要的半导体辅材，大多应用于电子光刻机、刻蚀机之中，以光为刀，雕刻集成电路，芯片的发展离不开石英产品。

石英加工领域有关石英环的机械研磨技术一直没有取得较大的突破，目前的机械研磨多采用一体式研磨治具，但是现有治具在研磨之后对卡盘清理不够方便，而且磨损快，外表容易滞留若干粉末，会加速磨损，采用清水清理的方式，仍需要持续擦拭，确保干净，而人工清理的效率低下，故而提出一种磁性连接式石英环不定偏心机械研磨卡盘来解决上述所提出的问题。

技术实现要素：

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本发明提供了一种磁性连接式石英环不定偏心机械研磨卡盘，具备清理更加方便而且降低磨损速度的优点，解决了目前的机械研磨多采用一体式研磨治具，但是现有治具在研磨之后对卡盘清理不够方便，而且磨损快，外表容易滞留若干粉末，会加速磨损，采用清水清理的方式，仍需要持续擦拭，确保干净，而人工清理的效率低下的问题。

(二)技术方案

为实现上述清理更加方便而且降低磨损速度目的，本发明提供如下技术方案：一种磁性连接式石英环不定偏心机械研磨卡盘，包括卡盘本体和内盘，所述卡盘本体的内侧放置有固定环，所述卡盘本体的正面固定连接有插柱，所述内盘的正面开设有插孔，所述插柱插接在插孔的内部，所述内盘的正面开设有环孔，所述内盘的正面接触有轮子，所述轮子的内侧活动连接有连接轴，所述连接轴的外部固定连接有卡框，所述卡框的背面开设有与连接轴相接触的活动槽，所述卡框的背面固定连接有垫块，所述卡框的正面开设有孔洞，所述卡框的左侧插接有固定块，所述固定块的正面插接有贯穿卡框并延伸至内盘内的插柱，所述插柱与孔洞相接触，所述固定块左侧端螺纹连接有固定螺钉，所述固定块通过固定螺钉固定连接有连接块，所述连接块的内部安装有马达，所述连接块的顶端粘接有封装块，所述马达的输出轴固定连接有清理块。

优选的，所述插柱的数量为四个，所述插孔的数量与插柱的数量相匹配。

优选的，所述环孔的规格需根据实际情况进行调整，所述插柱为磁石制成。

优选的，所述清理块的外部设有数量不少于五个的清洁球，所述清洁球为低锌丝。

优选的，所述卡框的尺寸与固定块的尺寸相匹配，所述固定块为铝合金制成。

优选的，所述插柱包括t型柱和限位球，所述限位球设于t型柱的外部，所述内盘的正面设有与插柱相匹配的环形槽。

优选的，所述固定块的外表面镀有锌层，且锌层的厚度不超过一毫米。

优选的，所述封装块的外侧设有与清理块相匹配的转动槽。

优选的，所述马达的输出轴贯穿并延伸至封装块的上方。

(三)有益效果

与现有技术相比，本发明提供了一种磁性连接式石英环不定偏心机械研磨卡盘，具备以下有益效果：

该磁性连接式石英环不定偏心机械研磨卡盘，通过启动马达，可以带动清理块转动，对卡盘本体的外表进行清理，结合常规清理手段，可以进一步的提升清理速度，然后在手动推动卡框移动，插柱在内盘正面的环形槽内进行适应性移动，而且卡框内侧的轮子和连接轴也可以配合着移动，方便了对卡盘本体的外表面进行更加全面的清理，且采用插柱利用磁石的特性和内盘进行连接，使得装夹方便，便于操作。

附图说明

图1为本发明的结构示意图；

图2为本发明中插柱与内盘的连接结构示意图；

图3为本发明中垫块与插柱的连接结构示意图。

图中：1卡盘本体、2固定环、3插孔、4插柱、5内盘、6环孔、7轮子、8连接轴、9卡框、10孔洞、11活动槽、12垫块、13固定块、14插柱、15固定螺钉、16连接块、17马达、18封装块、19清理块。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-3，一种磁性连接式石英环不定偏心机械研磨卡盘，包括卡盘本体1和内盘5，卡盘本体1的内侧放置有固定环2，卡盘本体1的正面固定连接有插柱4，插柱4的数量为四个，插孔3的数量与插柱4的数量相匹配，内盘5的正面开设有插孔3，插柱4插接在插孔3的内部，内盘5的正面开设有环孔6，环孔6的规格需根据实际情况进行调整，插柱4为磁石制成，内盘5的正面接触有轮子7，轮子7的内侧活动连接有连接轴8，连接轴8的外部固定连接有卡框9，卡框9的背面开设有与连接轴8相接触的活动槽11，卡框9的背面固定连接有垫块12，卡框9的正面开设有孔洞10，卡框9的左侧插接有固定块13，固定块13的外表面镀有锌层，且锌层的厚度不超过一毫米，卡框9的尺寸与固定块13的尺寸相匹配，固定块13为铝合金制成，固定块13的正面插接有贯穿卡框9并延伸至内盘5内的插柱14，插柱14包括t型柱和限位球，限位球设于t型柱的外部，内盘5的正面设有与插柱14相匹配的环形槽，插柱14与孔洞10相接触，固定块13左侧端螺纹连接有固定螺钉15，固定块13通过固定螺钉15固定连接有连接块16，连接块16的内部安装有马达17，马达17的型号可为r-ffk10vav-08130，连接块16的顶端粘接有封装块18，封装块18的外侧设有与清理块19相匹配的转动槽，马达17的输出轴贯穿并延伸至封装块18的上方，马达17的输出轴固定连接有清理块19，清理块19的外部设有数量不少于五个的清洁球，清洁球为低锌丝，通过启动马达17，可以带动清理块19转动，对卡盘本体1的外表进行清理，结合常规清理手段，可以进一步的提升清理速度，然后在手动推动卡框9移动，插柱14在内盘5正面的环形槽内进行适应性移动，而且卡框9内侧的轮子7和连接轴8也可以配合着移动，方便了对卡盘本体1的外表面进行更加全面的清理，且采用插柱4利用磁石的特性和内盘5进行连接，使得装夹方便，便于操作。

综上所述，该磁性连接式石英环不定偏心机械研磨卡盘，通过启动马达17，可以带动清理块19转动，对卡盘本体1的外表进行清理，结合常规清理手段，可以进一步的提升清理速度，然后在手动推动卡框9移动，插柱14在内盘5正面的环形槽内进行适应性移动，而且卡框9内侧的轮子7和连接轴8也可以配合着移动，方便了对卡盘本体1的外表面进行更加全面的清理，且采用插柱4利用磁石的特性和内盘5进行连接，使得装夹方便，便于操作。

需要说明的是，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。