基于三角形网格布局的多频带MEMS超声换能器阵列的制作方法

文档序号:19831343发布日期:2020-02-04 12:28阅读:来源:国知局

技术特征:

1.基于三角形网格布局的多频带mems超声换能器阵列,其特征在于:

所述多频带mems超声换能器阵列包括三个mems超声换能器子阵列,不同mems超声换能器子阵列具有相同的单元布局;

每个mems超声换能器子阵列包括多个相同中心频率的mems超声换能器单元,构成不同mems超声换能器子阵列的mems超声换能器单元的中心频率不同;

每个mems超声换能器子阵列中相邻的mems超声换能器单元之间的距离相同;

对于一个区域中的三种不同中心频率的mems超声换能器单元布置在一个等边三角形的三个顶点处,该等边三角形的边长大于任一mems超声换能器单元的外接圆直径,以镶嵌形式平铺成mems超声换能器阵列;具体布置方法是:

首先,在尖角向上的等边三角形的一个底角顶点处放置一个中心频率为f1的mems超声换能器单元;然后,在另一个底角顶点处放置一个中心频率为f2的mems超声换能器单元,最后,在等边三角形的顶角顶点处放置一个中心频率为f3的mems超声换能器单元;以此类推,以三个不同中心频率的mems超声换能器单元为整体进行复制平移,网眼为等边三角形的网格状结构,形成任意可能形状的mems超声换能器阵列。

2.如权利要求1所述的基于三角形网格布局的多频带mems超声换能器阵列,其特征在于:所述的mems超声换能器单元为压电式微机械超声换能器、电容式微机械超声换能器或双频压电式微机械超声换能器。

3.如权利要求1所述的基于三角形网格布局的多频带mems超声换能器阵列,其特征在于:所述的mems超声换能器单元的形状为多边形、圆形或椭圆形,其外接圆直径为0.01~10mm。

4.如权利要求1所述的基于三角形网格布局的多频带mems超声换能器阵列,其特征在于:每个mems超声换能器子阵列独立操作,或选择性同时操作全部mems超声换能器子阵列,或先后操作不同的mems超声换能器子阵列。

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