一种超声换能器阵列的制作方法

文档序号:21362703发布日期:2020-07-04 04:36阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种超声换能器阵列,包括:第一填充物(1)、阵元(2)、互连线(3)以及金属凸点(4);

所述第一填充物(1)填充所述阵元(2)的间隙,还可构成所述超声换能器阵列的至少两个边缘面;

所述金属凸点(4)与所述第一填充物(1)正对设置,且所述金属凸点(4)与所述阵元(2)通过所述互连线(3)连接。

2.根据权利要求1所述的超声换能器阵列,其中,所述超声换能器阵列还包括:基板(5)、以及第二填充物(6);

所述金属凸点(4)设置于所述基板(5)上,设置于所述基板(5)上的所述金属凸点(4)与所述阵元(2)之间通过所述互连线(3)连接;

所述第二填充物(6)连接所述基板(5)以及所述阵元(2)。

3.根据权利要求1所述的超声换能器阵列,其中,所述超声换能器阵列还包括:匹配层(7)、电路板(8)以及第三填充物(9);

所述匹配层(7)设置于所述阵元(2)的上方;

所述电路板(8)设置于所述金属凸点(4)的下方;

所述第三填充物(9)填充于所述金属凸点(4)的间隙。

4.根据权利要求1所述的超声换能器阵列,其中,所述互连线(3)的层数为至少一层。

5.根据权利要求1所述的超声换能器阵列,其中,所述互连线(3)为金属互连线。

6.根据权利要求2所述的超声换能器阵列,其中,所述基板(5)的材料包括:有机物、无机物。

7.根据权利要求1所述的超声换能器阵列,其中,所述第一填充物(1)的材料包括:有机物。

8.根据权利要求2所述的超声换能器阵列,其中,所述第二填充物(6)的材料与所述第一填充物(1)的材料可相同或不同。

9.根据权利要求3所述的超声换能器阵列,其中,所述第三填充物(9)与所述第一填充物(1)的材料可相同或不同。

10.根据权利要求1所述的超声换能器阵列,其中,所述金属凸点(4)的形状包括:球形、圆柱形以及正n棱柱,其中,n≥3。


技术总结
本发明提供了一种超声换能器阵列,包括:第一填充物(1)、阵元(2)、互连线(3)以及金属凸点(4);第一填充物(1)填充阵元(2)的间隙,还构成超声换能器阵列的至少两个边缘面;金属凸点(4)与第一填充物(1)正对设置,且互连线(3)连接金属凸点(4)与相邻阵元(2)。通过本发明提供的通过互联线(3)可以将金属凸点(4)从阵元(2)的下方转移到第一填充物(1)的下方,进而可以降低金属凸点(4)对超声换能器阵列声学性能的影响,进而在实现高密度超声换能器阵列封装的同时提高该超声换能器阵列的声学性能。

技术研发人员:鲁瑶;万里兮
受保护的技术使用者:中国科学院微电子研究所
技术研发日:2020.01.15
技术公布日:2020.07.03
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