二氧化碳回收系统及其运转方法与流程

1.本发明的实施方式涉及二氧化碳回收系统(system)及其运转方法。


背景技术：

2.近年来，作为针对地球温暖化问题的有效对策，着眼于二氧化碳回收储存(ccs：carbon dioxide capture and storage)技术。例如，在研究通过吸收液来回收从火力发电站、炼铁厂、垃圾焚烧站、制造设备等的废气排放设备产生的工艺废气(process exhaust gas：处理对象气体)中的二氧化碳的二氧化碳回收系统。
3.通过二氧化碳回收系统回收的二氧化碳也可以通过加工成原材料及气体等进行商用利用。在此种情况下，希望回收的二氧化碳通常较高。
4.利用吸收液的二氧化碳回收系统通过吸收液吸收工艺废气中的二氧化碳，从吸收了二氧化碳的吸收液扩散二氧化碳。此时，通常从吸收液扩散含有二氧化碳、吸收液成分等的气体，但在此种情况下，吸收液成分使二氧化碳的纯度下降。因此，在二氧化碳回收系统中，有的还具备通过用清洗液清洗气体来除去吸收液成分等的装置。
5.作为这样的装置，有日本的公开特许公报：日本特开2019
‑
130531号(以下称为专利文献1)。


技术实现要素：

6.发明要解决的问题
7.在如上所述用清洗液清洗含有二氧化碳的气体时，有时通过使清洗后的清洗液循环来重复用于清洗。但是，在此种情况下，可出现混入清洗液中的吸收液成分的浓度逐渐增加，使清洗效果逐渐降低的状况。
8.因此，本发明要解决的课题是，提供一种二氧化碳回收系统及其运转方法，其能够通过简易的结构长期有效地对从吸收了二氧化碳的吸收液中扩散的含有二氧化碳的气体进行清洗。
9.用于解决问题的手段
10.一个实施方式涉及的二氧化碳回收系统具备：吸收塔，其使含有二氧化碳的处理对象气体和吸收液接触，排放吸收了所述二氧化碳的所述吸收液和含有除去了所述二氧化碳的所述处理对象气体的吸收塔排气；再生塔，其使所述二氧化碳从由所述吸收塔排放的所述吸收液中扩散，排放扩散了所述二氧化碳的所述吸收液和含有所述二氧化碳的再生塔排气；冷却器，其对所述再生塔排气进行冷却；和清洗塔，其接受通过所述冷却器的冷却从所述再生塔排气产生的冷凝水和气体原状的冷却后再生塔排气，用清洗液对所述冷却后再生塔排气进行清洗。而且，所述清洗塔具有储存所述冷凝水的第1储液部和储存清洗了所述冷却后再生塔排气的所述清洗液的第2储液部。
11.此外，一个实施方式涉及的二氧化碳回收系统的运转方法是具备吸收塔和再生塔的二氧化碳回收系统的运转方法，所述吸收塔使含有二氧化碳的处理对象气体和吸收液接
触，排放吸收了所述二氧化碳的所述吸收液和含有除去了所述二氧化碳的所述处理对象气体的吸收塔排气，所述再生塔使所述二氧化碳从由所述吸收塔排放的所述吸收液中扩散，排放扩散了所述二氧化碳的所述吸收液和含有所述二氧化碳的再生塔排气。该方法具备：对所述再生塔排气进行冷却，对通过冷却从所述再生塔排气产生的冷凝水和气体原状的冷却后再生塔排气进行分离的工序；将所述冷凝水储存在第1储液部中的工序；用清洗液清洗所述冷却后再生塔排气的工序；和将清洗了所述冷却后再生塔排气的所述清洗液储存在第2储液部中的工序。
12.发明效果
13.根据本发明，能够通过简易的结构长期有效地对从吸收了二氧化碳的吸收液扩散的含有二氧化碳的气体进行清洗。
附图说明
14.图1是表示第1实施方式涉及的二氧化碳回收系统的构成的图。
15.图2是表示第2实施方式涉及的二氧化碳回收系统的构成的图。
16.图3是表示第3实施方式涉及的二氧化碳回收系统的构成的图。
具体实施方式
17.以下，参照附图对各实施方式详细地进行说明。
18.(第1实施方式)
19.图1是概略地表示第1实施方式涉及的二氧化碳回收系统s1的构成的图。
20.图1所示的二氧化碳回收系统s1具备工艺废气线路(line)1、吸收塔2、富液泵(rich solution pump)3、再生热交换器4、再生塔5、贫液泵(lean solution pump)6、贫液冷却器7、气体冷却器8、清洗塔9和控制部10。
21.工艺废气线路1是将从废气排放设备p排放的燃烧废气等工艺废气导入吸收塔2中的流路。废气排放设备p例如为火力发电站等发电站、炼铁厂及清洁厂等工厂、垃圾焚烧站及制造设备等的燃烧设备。工艺废气是被二氧化碳回收系统s1处理的处理对象气体的例子。这样的工艺废气中有时含有微量成分，例如硫氧化物及氮氧化物、氯成分等。在此种情况下，例如也可以在工艺废气线路1上设置用于除去微量成分的前处理设备，也可以将前处理后的工艺废气导入吸收塔2。
22.吸收塔2例如由对流型气液接触装置构成，具有填充层2a和位于其下方的储液部2b。吸收塔2在填充层2a的下方具有用于导入工艺废气的气体导入口，在填充层2a的上方具有用于导入吸收液(贫液)的吸收液导入口。从吸收液导入口导入的吸收液朝填充层2a落下，另一方面，从气体导入口导入的工艺废气朝填充层2a上升。
23.吸收塔2使工艺废气和吸收液在填充层2a内气液接触，使工艺废气中的二氧化碳吸收到吸收液中。其结果是，吸收了二氧化碳的吸收液(富液)从填充层2a落下而储存在储液部2b中，该富液从设在吸收塔2底部的吸收液排放口被排放至外部。另一方面，含有除去了二氧化碳的工艺废气的吸收塔排气从填充层2a上升，从吸收塔2的顶部排放(放出)至外部。从填充层2a上升的吸收塔排气例如也可以通过设在吸收塔2内的顶部侧的清洗部进行清洗，然后排放至外部。
24.再者，吸收塔2具备1个填充层2a，可是也可以代之具备多个填充层2a，也可以具备1个以上的其它反应部(例如塔盘(tray))。此外，在二氧化碳回收系统s1中，也可以进一步具备对从吸收塔2排放的吸收塔排气进行冷却的冷却塔。
25.吸收液的例子为1种以上的含胺(amine)的胺系水溶液。胺的例子为单乙醇胺(monoethanolamin)及二乙醇胺(diethanolamin)。吸收液也可以含有其它胺或根据目的含有的添加剂等。
26.从设在吸收塔2底部的吸收液排放口排放的吸收液通过富液泵3，经由再生热交换器4输送给再生塔5。此时，从吸收塔2流向再生塔5的吸收液通过再生热交换器4中的热交换被加热。
27.再生塔5例如由对流型气液接触装置构成，具有填充层5a和位于其下方的储液部5b。再生塔5在填充层5a的上方具有用于导入从吸收塔2排放的吸收液(富液)的吸收液导入口。
28.再生塔5通过对从其吸收液导入口导入的吸收液进行加热，使大部分二氧化碳与蒸汽一同从吸收液扩散，使二氧化碳从吸收液中分离。具体地讲，再生塔5具备未图示的重沸器(reboiler)，通过进行从重沸器供给的高温蒸汽和吸收液的热交换而对吸收液进行加热。通过加热不分离地通过填充层5a的吸收液向储液部5b落下。其结果是，扩散了二氧化碳的吸收液(贫液)储存在储液部5b，从设在再生塔5底部的吸收液排放口排放至外部。
29.从再生塔5底部的吸收液排放口排放的吸收液(贫液)通过贫液泵6，经由再生热交换器4和贫液冷却器7向吸收塔2返回。此时，从再生塔5流向吸收塔2的吸收液通过再生热交换器4中的热交换和贫液冷却器7中的冷却作用被冷却。在再生热交换器4中，进行从吸收塔2流向再生塔5的吸收液和从再生塔5流向吸收塔2的吸收液的热交换。
30.再者，再生塔5具备1个填充层5a，可是也可以代之具备多个填充层5a，也可以具备1个以上的其它反应部(例如塔盘)。此外，再生塔5也可以代替作为具备填充层5a和储液部5b的再生塔构成，而作为通过在罐内对吸收液进行加热使二氧化碳与蒸汽一同扩散的闪蒸槽(闪蒸罐(flush tank))而构成。在此种情况下，再生塔5例如也可以具备电加热器作为对吸收液进行加热的加热部。
31.另一方面，含有在再生塔5中从吸收液扩散的二氧化碳和蒸汽的气体(以下称为再生塔排气)从设在再生塔5的顶部的气体排放口被排放至外部，经由配管构件输送至气体冷却器8，通过气体冷却器8被冷却。
32.气体冷却器8通过对再生塔排气进行冷却使再生塔排气的一部分冷凝，由此将再生塔排气分离成冷凝水和气体原状的冷却后再生塔排气。冷凝水含有吸收液成分，另一方面，冷却后再生塔排气主要含有二氧化碳。将这些冷凝水和冷却后再生塔排气输送给清洗塔9。
33.清洗塔9接受从气体冷却器8流出的冷凝水和冷却后再生塔排气，通过清洗液对其中的冷却后再生塔排气进行清洗，将含在冷却后再生塔排气中的吸收液成分等杂质除去，将清洗过的冷却后再生塔排气排放。杂质的例子为吸收液的主成分(例如胺)、吸收液的添加成分、因吸收液的劣化等而产生的副成分等。清洗液没有特别的限定，但例如也可以是水。通过清洗除去了杂质的冷却后再生塔排气成为纯度高的二氧化碳，可从清洗塔9排放。如此从清洗塔9排放的二氧化碳例如通过压缩泵转变成超临界状态或液体状态等根据目的
的状态，也可以通过罐(tank)、货车(lorry)、管线(pipe line)等进行保管或输送。
34.清洗塔9具有填充层9a、设在填充层9a下方的第1储液部9b及第2储液部9c、循环线路9d、清洗液泵9e和清洗液冷却器9f。清洗塔9在填充层9a下方具有用于导入冷凝水和冷却后再生塔排气的气液导入口，在填充层9a上方具有用于导入清洗液的清洗液导入口。详细地讲，在冷却后再生塔排气流动的方向，第2储液部9c配置在第1储液部9b的下游侧，上述气液导入口在填充层9a的下方，设在第1储液部9b上方且第2储液部9c的下游侧。
35.清洗塔9详细地讲，首先将从气体冷却器8接受的冷凝水及冷却后再生塔排气中的冷凝水储存在第1储液部9b中，使冷却后再生塔排气经由第1储液部9b及第2储液部9c的上方流入填充层9a。然后，清洗塔9在填充层9a通过清洗液对冷却后再生塔排气进行清洗，将清洗后的清洗液储存在第2储液部9c中。
36.如上所述，气液导入口在填充层9a的下方，设在第1储液部9b上方且第2储液部9c的下游侧，因此从气液导入口流入清洗塔9内的冷凝水被储存在第1储液部9b中，可抑制流入第2储液部9c侧。然后，冷却后再生塔排气与冷凝水分离，经由第1储液部9b及第2储液部9c的上方流入填充层9a。
37.再者，本实施方式中，第1储液部9b及第2储液部9c由堰(dam)9g区分而成。清洗塔9具有包含第1储液部9b及第2储液部9c的上游侧套管9u、和从在上下方向与上游侧套管9u的上部中的第2储液部9c相对的部分向上方伸出的下游侧套管9d，堰9g从上游侧套管9u的底部立起。此外，在下游侧套管9d中收容有填充层9a。
38.如上所述，与冷凝水分离的冷却后再生塔排气经由第1储液部9b及第2储液部9c的上方流入填充层9a。这里，填充层9a从其上方的清洗液导入口导入清洗液，使该清洗液落下，与冷却后再生塔排气气液接触，由此将冷却后再生塔排气中残存的吸收液成分除去。此时，冷却后再生塔排气在填充层9a中通过清洗液进一步被冷却，从冷却后再生塔排气产生主要含有吸收液成分的冷凝水。通过该冷凝水与清洗液一同从填充层9a落下，而将吸收液成分除去。这里，通过第2储液部9c位于填充层9a的下方，可将清洗了冷却后再生塔排气的清洗液储存在第2储液部9c中。
39.特别是在本实施方式中，填充层9a和第2储液部9c在上下方向重叠，另一方面，填充层9a和第1储液部9b在上下方向不重叠。因此，从填充层9a落下的清洗液被抑制向第1储液部9b落下。
40.而且，储存在第2储液部9c中的清洗液从设在第2储液部9c底部的清洗液排放口被排放至外部，经由循环线路9d从填充层9a上方的清洗液导入口再次被导入至清洗塔9。即，清洗液在由清洗液导入口、填充层9a、第2储液部9c、循环线路9d形成的循环路径中循环。清洗液泵9e及清洗液冷却器9f设在循环线路9d上，清洗液泵9e产生用于从清洗液排放口送入清洗液导入口的动力。清洗液冷却器9f对从清洗液导入口流出之前的清洗液进行冷却。另一方面，在填充层9a通过清洗液除去了吸收液成分后的冷却后再生塔排气如上所述为纯度高的二氧化碳，可从设在清洗塔9的顶部的排放口被排放回收。
41.此外，本实施方式中的清洗塔9具备容许清洗液从第2储液部9c向第1储液部9b的流入、而限制冷凝水从第1储液部9b向第2储液部9c的流入的单向(one way)机构11。该单向机构11由排放结构12构成，该排放结构12在通过冷凝水液位计13检测的储存在第1储液部9b中的冷凝水的液位达到规定值以上时，将储存在第1储液部9b中的冷凝水排放至第1储液
部9b的外部。上述规定值(液位)以低于堰9g的高度的方式设定。
42.排放结构12具有从设在第1储液部9b底部的排放口延伸的排放管12a和设在排放管12a上的排放阀12b。排放阀12b在储存在第1储液部9b中的冷凝水的液位达到规定值以上时从关闭状态切换到打开状态，由此可通过排放管12a排放冷凝水。排放阀12b的切换操作由控制部10控制。排放阀12b也可以是开闭阀，也可以是可调节开度的流量调节阀。
43.排放管12a将设在第1储液部9b底部的排放口与再生塔5中的设在填充层5a上方的导入口连接，将冷凝水排放至再生塔5。本实施方式中，冷凝水向再生塔5排放，但并不局限于此。优选将冷凝水排放至吸收塔2、再生塔5、及在吸收塔2与再生塔5之间使吸收液流通的第1工艺流路14、第2工艺流路15中的至少任一者中，但也可以排放至二氧化碳回收系统s1外部。再者，第1工艺流路14是将吸收液从吸收塔2送至再生塔5的流路，第2工艺流路15是将吸收液从再生塔5送至吸收塔2的流路。
44.控制部10对以排放阀12b的切换操作为代表的二氧化碳回收系统s1的多种操作进行控制。控制部10的例子为处理器(processor)、电路、计算机(computer)等。控制部10例如还可控制富液泵3、贫液泵6及清洗液泵9e的旋转数、贫液冷却器7及气体冷却器8的冷却操作、重沸器的加热操作等。控制部10还进行这些控制所需的运算、这样的运算所需的测量值的输入。
45.接着，对本实施方式涉及的二氧化碳回收系统s1的操作进行说明。
46.在二氧化碳回收系统s1中，从吸收塔2送至再生塔5的含有二氧化碳的吸收液在再生塔5中被加热，由此从吸收液扩散含有二氧化碳和蒸汽的再生塔排气。再生塔排气从设在再生塔5顶部的气体排放口被排放至外部，然后通过气体冷却器8被冷却。
47.气体冷却器8通过对再生塔排气进行冷却，使再生塔排气的一部分冷凝，由此将再生塔排气分离成冷凝水和气体原状的冷却后再生塔排气。然后，将这些冷凝水和冷却后再生塔排气输送至清洗塔9。
48.清洗塔9首先将接受的冷凝水和冷却后再生塔排气中的冷凝水用第1储液部9b进行储存，抑制冷凝水流入第2储液部9c侧。另一方面，冷却后再生塔排气通过第1储液部9b及第2储液部9c的上方流向填充层9a侧。再者，储存在第1储液部9b中的冷凝水如果其液位达到规定值以上则被排放至外部，因此能够确实地抑制冷凝水从第1储液部9b流入第2储液部9c中。
49.然后，通过第1储液部9b及第2储液部9c的上方的冷却后再生塔排气从填充层9a的下部朝上部流动，在填充层9a内与清洗液气液接触，由此将冷却后再生塔排气中残存的吸收液成分等除去。然后，除去了吸收液成分等的冷却后再生塔排气成为纯度高的二氧化碳，从设在清洗塔9顶部的排放口排放。另一方面，清洗了冷却后再生塔排气的清洗液从填充层9a落下，储存在第2储液部9c中。
50.这里，本实施方式中在再生塔排气流入清洗塔9之前，通过气体冷却器8将再生塔排气分离成冷凝水和气体原状的冷却后再生塔排气。然后，在清洗塔9接受来自气体冷却器8的冷凝水时，将冷凝水储存在与第2储液部9c不同的第1储液部9b中。由此，可抑制冷凝水混入第2储液部9c内的清洗液中。因此，即使在储存在第2储液部9c中，使清洗液循环，再次用于冷却后再生塔排气的清洗时，也可抑制由冷凝水的混入导致的清洗液的污染的进行，能够用无污染或污染小的清洗液适合地清洗冷却后再生塔排气。由此，可长期地维持利用
清洗液的适合的清洗效果。
51.更详细地说明，首先将含有高浓度的吸收液成分的、通过气体冷却器8后的冷凝水从再生塔排气中分离，用没有混合冷凝水或冷凝水的混入少的清洗液，对与冷凝水分离了的、较多含有二氧化碳且降低了吸收液成分的冷却后再生塔排气进行清洗，由此可采用清洗液实施适合的清洗。而且，可长期维持这样的采用清洗液的适合的清洗效果。
52.再者，由于清洗液对冷却后再生塔排气进行冷却，使吸收液成分冷凝，所以储存在第2储液部9c中的清洗液中含有冷凝水。因此，储存在第2储液部9c中的清洗液的液位伴随着冷凝水的增加而上升，但在液位达到堰9g的顶部时，清洗液流入第1储液部9b中。由此，可避免第2储液部9c中过剩地储存清洗液。再者，储存在第2储液部9c中的清洗液中尽管可含有冷凝水，但是由于没有混入含有高浓度的吸收液成分的通过气体冷却器8后的冷凝水，所以与未采用气体冷却器8、第1储液部9b及第2储液部9c的构成相比，可显著地抑制由混入冷凝水导致的清洗液的污染的进行。
53.此外，本实施方式中，通过只在清洗塔9设置多个储液部的简易的结构，可提高清洗效果，因此能够抑制制造成本，并且能够制造效率良好地提高二氧化碳回收系统s1的性能。
54.所以，根据本实施方式，能够通过简易的结构长期有效地对从吸收了二氧化碳的吸收液扩散的含有二氧化碳的气体(再生塔排气)进行清洗。此外，本实施方式中，特别是通过仅用堰9g隔开清洗塔9底部的单纯的构成就可提高清洗效果，因此在制造成本及制造效率方面是非常有利的。
55.(第2实施方式)
56.接着，参照图2对第2实施方式涉及的二氧化碳回收系统s2进行说明。对于本实施方式中的构成部分中的与第1实施方式的构成部分相同的构成，标注同一符号，并将说明省略。
57.图2所示的二氧化碳回收系统s2具备用于检测储存在第2储液部9c中的清洗液的液位的清洗液液位计16和向清洗液补给补给水的补给结构17。第2实施方式的其它构成与第1实施方式相同。
58.补给结构17在通过清洗液液位计16检测的储存在第2储液部9c中的清洗液的液位达到规定值以下时，向清洗液的循环路径补给补给水。所谓清洗液的循环路径，是清洗液沿着清洗塔9上部的清洗液导入口、填充层9a、第2储液部9c、循环线路9d按此顺序循环的路径。
59.补给结构17具有补给水流路17a和设在补给水流路17a上的补给水阀17b，补给水阀17b在储存在第2储液部9c中的清洗液的液位达到规定值以下时从关闭状态切换到开通状态，由此通过补给水流路17a向清洗液中补给补给水。补给水阀17b的切换操作可由控制部10控制。补给水阀17b可以是开闭阀，也可以是可调节开度的流量调节阀。
60.本实施方式中，补给水流路17a与清洗塔9中的填充层9a的上方连接，但只要可向清洗液供给补给水即可，也可以向第2储液部9c及循环线路9d等中补给补给水。
61.在以上说明的第2实施方式中，在储存在第2储液部9c中的清洗液的液位达到规定值以下时，从补给结构17向清洗液中补给补给水。由此，可首先保护清洗液泵9e。即，从清洗塔9的上部供给的清洗液的温度由于例如因不设清洗液冷却器9f或发生故障、清洗液的温
度条件为任意选择的系统构成、及气温气候等外来的因素，有时高于从填充层9a下部流向上部的冷却后再生塔排气的温度。在此种情况下，由于清洗液在填充层9a中蒸发，可与二氧化碳一同从清洗塔9排放，所以有时第2储液部9c内的清洗液的液位下降。如果第2储液部9c的清洗液的液位下降，则有时清洗液泵9e中产生气蚀(cavitation)等，清洗液泵9e可能产生损伤。与此相对，本实施方式中由于在储存在第2储液部9c中的清洗液的液位达到规定值以下时从补给结构17向清洗液中补给补给水，所以能够维持清洗液泵9e的正常的运转，其结果是，可保护清洗液泵9e。
62.此外，本实施方式中，由于还可通过补给补给水来降低清洗液中的吸收液成分的浓度，所以还可提高清洗效果下降了的清洗液的清洗效果。
63.此外，在从补给结构17向清洗液中较多地补给补给水时，能够使补给水从第2储液部9c经由堰9g流入第1储液部9b中。由此，可从第1储液部9b经由排放结构12向吸收液中供给补给水。在如此向吸收液中供给补给水时，由于可通过补给水将吸收液中的吸收液成分的浓度调整至低的状态，其结果是可提高对二氧化碳的清洗效果。即，在吸收液中的吸收液成分的浓度过剩地提高时，从再生塔排放的再生塔排气中的吸收液成分增加，在其后的利用清洗液的清洗中清洗液的污染可能进行。因此，在将吸收液中的吸收液成分的浓度调整至低的状态时，结果可提高对二氧化碳的清洗效果。
64.此外，本实施方式中设有清洗液冷却器9f，但在通过补给水将第2储液部9c的液位维持为恒定时，即使不对清洗液进行冷却，通过清洗液也可使冷却后再生塔排气适当地冷却，同时可实施清洗液泵9e的适当的运转。因此，可谋求通过将清洗液冷却器9f省略或小型化等来实现低成本化。
65.(第3实施方式)
66.接着，参照图3对第3实施方式涉及的二氧化碳回收系统s3进行说明。对于本实施方式中的构成部分中的与第2实施方式的构成部分相同的构成，标注同一符号，并将说明省略。
67.在图3所示的二氧化碳回收系统s3中，清洗塔9的形状与第2实施方式的清洗塔9的形状不同。此外，清洗塔9内的第1储液部9b及第2储液部9c的设计与第1及第2实施方式不同。具体地讲，第2储液部9c配置在第1储液部9b上方。此外，清洗塔9在填充层9a下方且在第2储液部9c上方具有与第2储液部9c一同构成清洗液回收器的导向板18。第3实施方式的其它构成与第2实施方式相同。
68.清洗塔9例如为筒状，形成沿着清洗塔9的内周面配置第2储液部9c的例如环(loop)状。从再生塔5流入气体冷却器8中的再生塔排气通过气体冷却器8的冷却，被分离成冷凝水和气体原状的冷却后再生塔排气，流入至清洗塔9。冷凝水和冷却后再生塔排气从第1储液部9b上方、即第2储液部9c下方流入至清洗塔9，此时，冷凝水首先流入第1储液部9b中进行储存。
69.另一方面，冷却后再生塔排气经由第2储液部9c上方通过第2储液部9c的中空部分。通过使第2储液部9c位于第1储液部9b上方，而使储存在第1储液部9b中的冷凝水基本上不会混入第2储液部9c中。此外，在储存在第1储液部9b中的冷凝水的液位达到规定值以上时，通过排放结构12将冷凝水供给吸收液。
70.导向板18以在上下方向与第2储液部9c的中空部分重叠、且在与第2储液部9c的上
端之间形成上下方向的间隙的方式配置，冷却后再生塔排气从该间隙上升流向填充层9a。流入填充层9a的冷却后再生塔排气通过清洗液被清洗，然后，清洗液落在导向板18上，从导向板18储存在第2储液部9c中。导向板18通过以覆盖第2储液部9c的中空部分的方式配置，可抑制清洗液储存在第1储液部9b中。再者，储存在第2储液部9c中的清洗液可经由循环线路9d，再次向填充层9a的上方循环。
71.此外，储存在第2储液部9c中的清洗液的液位可通过清洗液液位计16进行检测，在储存在第2储液部9c中的清洗液的液位达到规定值以下时，补给结构17向清洗液中补给补给水。此外，在根据运转状况储存在第2储液部9c中的清洗液从第2储液部9c溢出时，清洗液流入第1储液部9b中。
72.根据以上说明的第3实施方式，能够使清洗塔9的形状简易化，同时能够谋求整体尺寸的小型化。
73.以上，对各实施方式进行了说明，但上述实施方式是作为例子而提示出的，其意图并非限定发明的范围。这些新颖的实施方式能够以其它各种方式实施，在不脱离发明的主旨的范围内，可以进行各种省略、置换、变更。上述实施方式及其他变形包含于发明的范围、主旨中，同时包含于权利要求书中记载的发明和其均等的范围内。
74.符号说明
75.s1、s2、s3－二氧化碳回收系统，1－工艺废气线路，2－吸收塔，2a－填充层，2b－储液部，3－富液泵，4－再生热交换器，5－再生塔，5a－填充层，5b－储液部，6－贫液泵，7－贫液冷却器，8－气体冷却器，9－清洗塔，9a－填充层，9b－第1储液部，9c－第2储液部，9d－循环线路，9e－清洗液泵，9f－清洗液冷却器，9g－堰，9u－上游侧套管，9d－下游侧套管，10－控制部，11－单向机构，12－排放结构，12a－排放管，12b－排放阀，13－冷凝水液位计，14－第1工艺流路，15－第2工艺流路，16－清洗液液位计，17－补给结构，17a－补给水流路，17b－补给水阀，18－导向板，p－废气排放设备