1.本技术涉及晶圆生产设备，特别是一种晶圆装片用涂胶装置。
背景技术：
2.晶圆装片机是晶圆封装工艺中的关键设备，其需要对将晶圆精准的安装到基板上，误差需要控制在10微米以下，如此高的安装精度对晶圆装片机的各个步骤的精度要求也就极高，如涂胶步骤中，需要对基板上各处胶的厚度进行高精度控制，确保各处胶的厚度的一致性。现有的涂胶装置由于涂胶头动作精度不够，容易导致需要补涂时补涂位置不够精准，进而导致胶面的凹凸更明显。
技术实现要素：
3.本发明的目的是提供一种定位精准从而使涂胶更均匀的晶圆装片用涂胶装置。
4.为达到上述目的，本发明采用的技术方案是：一种晶圆装片用涂胶装置，其包括用于放置硅片的台面、安装于所述台面上方的涂胶机构，所述涂胶机构包括涂胶头、涂胶框体、安装于所述涂胶框体内的用于驱动所述涂胶头在平行于所述台面的平面上动作的横向丝杆组件以及纵向丝杆组件、带动所述涂胶头转动的转动机构，所述涂胶头的转动轴线垂直所述台面，所述转动机构包括枢轴连接的外套管和内套管、固定安装于所述外套管上且与所述内套管相传动连接的第一电机、固定于所述内套管轴心上的输出轴、连接于所述内套管外周面与所述外套管内周面之间的第一轴承以及光栅刻度仪。
5.另一种优选方式，所述光栅刻度仪包括固定套设于所述内套管上的光栅尺、用于读取光栅尺转动角度的传感器，所述传感器固定于所述外套管内周面上且与所述光栅尺相对应位置。
6.另一种优选方式，所述外套管的内周面上形成有凸环，所述光栅刻度仪设于所述凸环的内周面和内套管的外周面之间。
7.另一种优选方式，内套管的内周面上形成有齿圈，所述第一电机上设有与所述齿圈啮合的驱动齿轮。
8.另一种优选方式，所述外套管的下端面上形成有向下延伸的安装块，所述第一电机固定安装于所述安装块上。
9.另一种优选方式，所述内套管的上端部周面上形成有与所述凸环上方的外套管内部空间相匹配的凸台，所述凸环的上端面和所述凸台下端面拼接，且两者之间设有第二轴承。
10.另一种优选方式，所述外套管的上端面上开设有密封槽，所述密封槽内设有螺纹，所述转动机构还包括盖设于所述外套管和内套管上的上盖，所述上盖的下端面上形成有与所述密封槽螺纹配合的下延环，所述下延环的内周面上设有螺纹，外周面上设有第一密封圈，所述密封槽的靠外侧的周面上设有第二密封圈，所述第一密封圈和第二密封圈为热熔材料制成。
11.另一种优选方式，所述上盖与所述内套管相贴合的端面上设有第三轴承。
12.另一种优选方式，所述纵向丝杆组件包括固定于涂胶框体内的纵向导杆、与所述纵向导杆相平行设置且与所述涂胶框体相转动连接的纵向丝杆、螺纹连接于所述纵向丝杆上的纵向螺母、滑动连接于所述纵向导杆上的纵向滑块、与所述纵向丝杆相传动连接的纵向电机。
13.另一种优选方式，所述横向丝杆组件包括与固定于所述纵向螺母和纵向滑块之间的横向导杆和横向丝杆、滑动连接于所述横向导杆上的横向滑块，转动连接于所述横向滑块上的横向螺母、安装于所述横向滑块上且与所述横向螺母相传动连接的横向电机，所述转动机构固定于所述横向滑块的下端面上。
14.由于上述技术方案运用，本发明与现有技术相比具有下列优点：本发明利用安装在内套管和外套管之间的光栅刻度仪实现内套管和外套管之间转动角度的精准控制，从而实现涂胶头旋转角度的精准控制，进而保证了涂胶的均匀性，电机与输出轴设于外套管的同一侧有效的节省了转动机构所占的空间，使整个结构更为紧凑。
附图说明
15.附图1为本发明的俯视图；附图2为附图1的a-a剖视图；附图3为转动机构的立体图；附图4为转动机构的主视图；附图5为附图4的b-b剖视图；附图6为转动机构的分解视图。
具体实施方式
16.下面结合附图所示的实施例对本发明作进一步描述。
17.如图1-6所示，晶圆装片用涂胶装置包括用于放置硅片的台面0、安装于台面0上方的涂胶机构，涂胶机构包括涂胶头9、涂胶框体8、安装于涂胶框体8内的用于驱动涂胶头9在平行于台面0的平面上动作的横向丝杆组件7以及纵向丝杆组件6、带动涂胶头9转动的转动机构1，涂胶头9的转动轴线垂直台面0，其上安装于用于辅助定位的视觉探头91。
18.转动机构1包括枢轴连接的外套管11和内套管12、固定安装于外套管11上且与内套管12相传动连接的第一电机13、固定于内套管12轴心上的输出轴14、连接于内套管12外周面与外套管11内周面之间的第一轴承15以及光栅刻度仪，内套管12的下端口敞开，其上端口通过端盖板17密封，输出轴14固定于端盖板17上。光栅刻度仪包括固定套设于内套管12上呈环形的光栅尺161、用于读取光栅尺161转动角度的传感器162，传感器162固定于外套管11内周面上且与光栅尺161相对应位置。外套管11的内周面上形成有凸环111，光栅刻度仪设于凸环111的内周面和内套管12的外周面之间。内套管12的内周面上形成有齿圈121，第一电机13上设有与齿圈121啮合的驱动齿轮131。
19.外套管11的下端面上形成有向下延伸的安装块112，第一电机13固定安装于安装块112上。内套管12的上端部周面上形成有与凸环111上方的外套管11内部空间相匹配的凸台122，凸环111的上端面和凸台122下端面拼接，且两者之间设有第二轴承5。外套管11的上
端面上开设有密封槽113，密封槽113内设有螺纹，转动机构1还包括盖设于外套管11和内套管12上的上盖18，上盖18的下端面上形成有与密封槽113螺纹配合的下延环181，下延环181的内周面上设有螺纹，外周面上设有第一密封圈41，密封槽113的靠外侧的周面上设有第二密封圈42，第一密封圈41和第二密封圈42为热熔材料制成，在旋紧上盖18后，对外套管的上端部外周加热使第一密封圈41和第二密封圈42为热熔形成一个整体。上盖18与内套管12相贴合的端面上设有第三轴承43。
20.纵向丝杆组件6包括固定于涂胶框体8内的纵向导杆61、与纵向导杆61相平行设置且与涂胶框体8相转动连接的纵向丝杆62、螺纹连接于纵向丝杆62上的纵向螺母63、滑动连接于纵向导杆62上的纵向滑块64、与纵向丝杆62相传动连接的纵向电机65。横向丝杆组件7包括与固定于纵向螺母63和纵向滑块64之间的横向导杆71和横向丝杆72、滑动连接于横向导杆71上的横向滑块73，转动连接于横向滑块73上且与横向丝杆72相螺纹配合的横向螺母74、安装于横向滑块73上且与横向螺母74相传动连接的横向电机75，转动机构1固定于横向滑块的下端面上。
21.利用安装在内套管12和外套管11之间的光栅刻度仪实现内套管12和外套管11之间转动角度的精准控制，从而实现涂胶头9旋转角度的精准控制，进而保证了涂胶的均匀性，电机与输出轴14设于外套管11的同一侧有效的节省了转动机构1所占的空间，使整个结构更为紧凑。
22.上述实施例只为说明本发明的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本发明的内容并据以实施，并不能以此限制本发明的保护范围。凡根据本发明精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本发明的保护范围之内。