技术特征：
1.一种结构简单的高纯三氟化氮提纯装置，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)顶部通过螺栓固定安装有提纯罐(2)，所述提纯罐(2)内壁底部填充有水体(21)，所述提纯罐(2)内壁顶部固定套有进气管(3)与出气管(31)，所述进气管(3)底端位于水体(21)内部，所述出气管(31)位于水体(21)顶部，所述进气管(3)与出气管(31)两者均由外管(32)、固定环(33)和内管(34)组成，多个所述固定环(33)均匀套在外管(32)内壁，所述内管(34)外壁固定套在多个所述固定环(33)内壁之间，所述固定环(33)内开设有均匀分布的多个气孔(35)，所述内管(34)内壁顶部固定套有检测管(4)，所述检测管(4)内壁底部通过螺栓固定安装有第二电磁阀(41)，所述检测管(4)内壁中部固定安装有单向阀(42)，所述检测管(4)外壁顶部通过螺栓固定安装有气体报警器(43)。2.根据权利要求1所述的一种结构简单的高纯三氟化氮提纯装置，其特征在于：所述底板(1)底部四个拐角处均通过螺栓固定安装有自锁万向轮(11)。3.根据权利要求1所述的一种结构简单的高纯三氟化氮提纯装置，其特征在于：所述提纯罐(2)内壁顶部固定套有进水管(22)。4.根据权利要求3所述的一种结构简单的高纯三氟化氮提纯装置，其特征在于：所述进水管(22)位于进气管(3)与出气管(31)之间。5.根据权利要求4所述的一种结构简单的高纯三氟化氮提纯装置，其特征在于：所述提纯罐(2)内壁底部中心处固定套有出水管(23)。6.根据权利要求5所述的一种结构简单的高纯三氟化氮提纯装置，其特征在于：所述进水管(22)与出水管(23)内均通过螺栓固定安装有第一电磁阀(24)。7.根据权利要求6所述的一种结构简单的高纯三氟化氮提纯装置，其特征在于：所述第一电磁阀(24)、第二电磁阀(41)和气体报警器(43)均与外部电源电性连接。8.根据权利要求1所述的一种结构简单的高纯三氟化氮提纯装置，其特征在于：所述内管(34)位于外管(32)内部。
技术总结
本实用新型公开了一种结构简单的高纯三氟化氮提纯装置，具体涉及三氟化氮生产设备技术领域，包括底板，所述底板顶部通过螺栓固定安装有提纯罐，所述提纯罐内壁底部填充有水体，所述提纯罐内壁顶部固定套有进气管与出气管；本实用新型的管道采用外管和内管的双层管方式，可有效提高管道对三氟化氮气体的密封性，且当内管产生泄露后，三氟化氮气体会通过气孔进入到检测管内，并由单向阀进行单向排出，气体报警器检测到排出的三氟化氮气体会进行报警，并对控制中心进行示警，控制中心内控制器可及时对第二电磁阀进行开启，使检测管内闭合，从而既可防止三氟化氮气体泄露，又可进行报警方便人们对破损处进行维修，提高了装置的安全性。的安全性。的安全性。
技术研发人员：秦国庆
受保护的技术使用者：江苏安瑞森电子材料有限公司
技术研发日：2021.01.07
技术公布日：2021/9/17