双转轮高浓度有机废气处理系统的制作方法

1.本公开涉及一种双转轮高浓度有机废气处理系统，尤指一种能提升有机废气处理的效率，并具有节省能源及降低排放的作用，并适用于半导体产业、光电产业或化学相关产业的有机废气处理系统或类似设备。


背景技术：

2.目前在半导体产业或光电产业的制造生产过程中都会产生具有挥发性有机气体(voc)，因此，在各厂区都会安装处理挥发性有机气体(voc) 的处理设备，以避免挥发性有机气体(voc)直接排入空气中而造成空气污染。而目前经由该处理设备脱附的浓缩气体大都是输送到该焚烧炉进行燃烧，再将燃烧后的气体输送到烟囱进行排放。
3.但是近年，随着人们对空气污染的重视，也因此在烟囱的排放标准上修订了有关大气质量标准，同时将依国际管制趋势发展，对其进行完善。
4.因此，鉴于上述缺陷，本公开希望提出一种具有提升有机废气处理效率的双转轮高浓度有机废气处理系统，能够使用户轻易地操作组装，基于此，本公开提出了一种双转轮高效率有机废气处理系统及其方法，以便为使用者提供便利，这是本公开研发的动机。


技术实现要素：

5.本公开的主要目的，在于提供一种双转轮高浓度有机废气处理系统，主要用于有机废气处理系统，且设有一焚化设备，一热交换器、一第一吸附转轮、一第二吸附转轮及一烟囱，并通过该第二热气输送管路分支与该第一热气输送管路的另一端连接，再通过该第一热气输送管路的一端将部分的热气输送到第一吸附转轮的脱附区的另一侧内，另外，通过该第二脱附浓缩气体管路的另一端将脱附浓缩气体输送到第一吸附转轮的冷却区的一侧内，且由该第一净气分支管路将部分吸附后的气体输送到第二脱附浓缩气体管路内，可以调节由该第二脱附浓缩气体管路输送到第一吸附转轮的冷却区的脱附浓缩气体的温度，因此，能提升有机废气处理的效率，并具有节省能源及降低排放的作用，进而增加整体的实用性。
6.本公开的另一目的，在于提供一种双转轮高浓度有机废气处理系统，通过在该第一冷却气输送管路与该第一热气输送管路之间设有一第一冷却气旁通管路，且在该第一冷却气旁通管路及该第一冷却气输送管路上分别设有第一冷却气旁通控制阀门及一第一冷却气输送控制阀门，并通过该第一冷却气旁通控制阀门及该第一冷却气输送控制阀门形成比例风门，另外，也可以在该第一冷却气旁通管路及该第一热气输送管路上分别设有第一冷却气旁通控制阀门及一第一热气输送控制阀门，并通过该第一冷却气旁通控制阀门及该第一热气输送控制阀门形成比例风门，因此，可以调整由该第一热气输送管路输送到该第一吸附转轮的脱附区的热气的温度，使其具有提升控制温度的作用，进而增加整体的使用性。
7.本公开的再一目的，在于提供一种双转轮高浓度有机废气处理系统，通过在该第
二冷却气输送管路与该第二热气输送管路之间设有一第二冷却气旁通管路，且在该第二冷却气旁通管路及该第二冷却气输送管路上分别设有第二冷却气旁通控制阀门及一第二冷却气输送控制阀门，并通过该第二冷却气旁通控制阀门及该第二冷却气输送控制阀门形成比例风门。外，也可以在该第二冷却气旁通管路及该第二热气输送管路上分别设有第二冷却气旁通控制阀门及一第二热气输送控制阀门，并通过该第二冷却气旁通控制阀门及该第二热气输送控制阀门形成比例风门，因此，可以调整由该第二热气输送管路输送到该第二吸附转轮的脱附区的热气的温度，使其具有提升控制温度的作用，进而增加整体的控制性。
8.为了能够更进一步了解本公开的特征、特点和技术内容，以下结合附图对本公开的技术方案进行详细说明，附图仅用于提供参考与说明，并非用以限制本公开。
附图说明
9.图1为本公开双转轮高浓度有机废气处理系统架构示意图。
10.图2为本公开实施例中具有第一冷却气旁通管路及第二冷却气旁通管路的双转轮高浓度有机废气处理系统架构示意图。
11.图3为本公开另一实施例中具有第一净气旁通管路的双转轮高浓度有机废气处理系统架构示意图。
12.图4为本公开另一实施例中具有第一净气分支管路的双转轮高浓度有机废气处理系统架构示意图。
13.附图标记说明
14.10、焚化设备
15.101、入口
16.102、出口
17.11、燃烧室
18.20、热交换器
19.201、冷侧道
20.202、热侧道
21.21、热侧输送管路
22.22、热侧排出管路
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30、第一吸附转轮
23.301、吸附区
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302、冷却区
24.303、脱附区
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31、废气进气管路
25.311、风机
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32、第一净气排放管路
26.33、第一冷却气输送管路
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331、第一冷却气输送控制阀门
27.34、第一热气输送管路
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341、第一废气输送控制阀门
28.35、第一脱附浓缩气体管路
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351、风机
29.40、第一冷却气旁通管路
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401、第一冷却气旁通控制阀门
30.50、第二吸附转轮
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501、吸附区
31.502、冷却区
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503、脱附区
32.51、第二净气排放管路
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511、风机
33.52、第二冷却气进气管路
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53、第二冷却气输送管路
34.531、第二冷却气输送控制阀门 54、第二热气输送管路
35.541、第二热气输送控制阀门
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55、第二脱附浓缩气体管路
36.551、风机
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60、第二冷却气旁通管路
37.601、第二冷却气旁通控制阀门 70、烟囱
38.80、第一净气旁通管路
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801、第一净气旁通控制阀门
39.90、第一净气分支管路
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901、第一净气分支控制阀门
具体实施方式
40.请参考图1至图4，为本公开实施例的示意图。而本公开的双转轮高浓度有机废气处理系统的最佳实施方式运用于半导体产业、光电产业或化学相关产业的有机废气处理系统或类似设备，主要是能提升有机废气处理的效率，并具有节省能源及降低排放的作用。
41.本公开的实施例中的双转轮高浓度有机废气处理系统，主要包括有一焚化设备10、一热交换器20、一第一吸附转轮30、一第二吸附转轮50 及一烟囱70的组合设计(如图1至图4所示)。其中该热交换器20具有冷侧道201及热侧道202，而该热交换器20设有一热侧输送管路21及一热侧排出管路22，该热侧输送管路21的一端与该焚化设备10连接，且该热侧输送管路21的另一端与热侧道202的一端连接，另外，该热侧排出管路22的一端与热侧道202的另一端连接，该热侧排出管路22的另一端与该烟囱70连接(如图1至图4所示)。另外，该焚化设备10设有入口 101及出口102，该焚化设备10的出口102与该烟囱70连接，该焚化设备10设有一燃烧室11，该燃烧室11与该热侧输送管路21的一端连通(如图1至图4所示)，且该焚化设备10为直燃式焚烧炉(to)、触媒式焚烧炉或蓄热式焚烧炉(rto)。焚化设备10附带有一燃烧加热器或一电加热器。
42.另外，本公开的第一吸附转轮30设有吸附区301、冷却区302及脱附区303，该第一吸附转轮30连接有一废气进气管路31、一第一净气排放管路32、一第一冷却气输送管路33、一第一热气输送管路34及一第一脱附浓缩气体管路35(如图1至图4所示)。该第二吸附转轮50设有吸附区 501、冷却区502及脱附区，该第二吸附转轮50连接有一第二净气排放管路51、一第二冷却气进气管路52、一第二冷却气输送管路53、一第二热气输送管路54及一第二脱附浓缩气体管路55(如图1至图4所示)。其中该第一吸附转轮30与该第二吸附转轮50分别为沸石浓缩转轮或其他材质的浓缩转轮。
43.其中该废气进气管路31的一端连接至该第一吸附转轮30的吸附区 301的一侧，使该废气进气管路31能将有机废气输送到该第一吸附转轮 30的吸附区301内，该第一净气排放管路32的一端与该第一吸附转轮30 的吸附区301的另一侧连接，且该第一净气排放管路32的一端连接至该第二吸附转轮50的吸附区501的一侧，可以让该有机废气经由该第一吸附转轮30的吸附区301进行吸附有机物后再由该第一净气排放管路32输送到该第二吸附转轮50的吸附区501内。另外，该第二吸附转轮50的吸附区501的另一侧连接该设第二净气排放管路51，可以通过该第二净气排放管路51的另一端与该烟囱70连接(如图1及图2所示)，且该第二净气排放管路51设有一风机511(如图3及图4所示)，通过该风机511将该第二净气排放管路51内经过吸附后的气体推拉到该烟囱70内以进行排放。
44.另外，该第一吸附转轮30的冷却区302的另一侧连接该第一冷却气输送管路33的一端，该第一冷却气输送管路33的另一端与该热交换器20 的冷侧道201的一端连接，可以
将进入该第一吸附转轮30的冷却区302 后的气体输送到该热交换器20内进行热交换(如图1至图4所示)。另外该第一吸附转轮30的脱附区303的另一侧连接该第一热气输送管34路的一端，可以将热气通过该第一热气输送管路34输送到该第一吸附转轮30 的脱附区303进行脱附使用，另外，该第一吸附转轮30的脱附区303的一侧连接该第一脱附浓缩气体管路35的一端，该第一脱附浓缩气体管路 35的另一端与该焚化设备10的入口101连接(如图1至图4所示)，可以将经过高温脱附下的脱附浓缩气体通过该第一脱附浓缩气体管路35输送到该焚化设备10的入口101内，让该焚化设备10的燃烧室11进行高温裂解，以减少挥发性有机化合物。且该第一脱附浓缩气体管路35设有一风机351(如图3及图4所示)，可以将脱附浓缩气体推拉进入该焚化设备 10的入口101内。
45.上述该第一冷却气输送管路33与该第一热气输送管路34之间设有一第一冷却气旁通管路40(如图2至图4所示)，该第一冷却气旁通管路40 的一端与该第一冷却气输送管路33连接，该第一冷却气旁通管路40的另一端与该第一热气输送管路34连接，使该第一冷却气输送管路33分支经由该第一冷却气旁通管路40输送部分冷却后的气体到第一热气输送管路 34内，可以提升该第一热气输送管路34的热气的温度，另外，该第一冷却气旁通管路40设有一第一冷却气旁通控制阀门401(如图3及图4所示)，可以控制该第一冷却气旁通管路40的风量。另外，该第一冷却气输送管路33设有一第一冷却气输送控制阀门331，可以控制该第一冷却气输送管路33的风量(如图3所示)，并通过该第一冷却气旁通控制阀门401及该第一冷却气输送控制阀门331形成比例风门。另外，也可以在该第一热气输送管路34上设有一第一热气输送控制阀门341(如图4所示)，可以控制该第一热气输送管路34的风量，并通过该第一冷却气旁通控制阀门401 及该第一热气输送控制阀门341形成比例风门。因此，可以调整由该第一热气输送管路34输送到该第一吸附转轮30的脱附区303的热气的温度，使其具有提升控制温度的作用。
46.另外，该第二冷却气进气管路52的另一端与该第二吸附转轮50的冷却区502的一侧连接，可以供气体进入该第二吸附转轮50的冷却区502 进行冷却使用，该第二吸附转轮50的冷却区502的另一侧连接该第二冷却气输送管路53的一端，该第二冷却气输送管路53的另一端则与该热交换器20的冷侧道201的一端连接，可以将进入该第二吸附转轮50的冷却区502后的气体输送到该热交换器20内进行热交换(如图1至图4所示)。另外，该第二吸附转轮50的脱附区503的另一侧连接该第二热气输送管路54的一端，且该第二热气输送管路54的另一端与该热交换器20的冷侧道201的另一端连接，可以将由该热交换器20进行热交换后的高温热气通过该第二热气输送管路54输送到该第二吸附转轮50的脱附区503内进行脱附使用，其中，该第二热气输送管路54分支与该第一热气输送管路34的另一端连接(如图1至图4所示)，使该热交换器20进行热交换后的高温热气经由该第一热气输送管路34分支送到该第一吸附转轮30的脱附区303内进行脱附使用。
47.上述该第二吸附转轮50的冷却区502设有两种实施方式，其中第一种实施方式为该第二吸附转轮50的冷却区502的一侧连接的第二冷却气进气管路52的一端用于供新鲜空气或外气进入(如图1及图2所示)，通过该新鲜空气或外气对该第二吸附转轮50的冷却区502进行降温。第二种实施方式该第一净气排放管路32设有一第一净气旁通管路80(如图3 及图4所示)，该第一净气旁通管路80的一端与该第一净气排放管路32 连接，该第一净气旁通管路80的另一端与该第二冷却气进气管路52的一端连接，可以通过该第一净气旁通管路
80将该第一净气排放管路32内的气体分支输送到该第二吸附转轮50的冷却区502以进行降温使用，另外，该第一净气旁通管路80设有一第一净气旁通控制阀门801(如图3及图4 所示)，可以控制该第一净气旁通管路80的风量。
48.其中，上述该第二冷却气输送管路53与该第二热气输送管路54之间设有一第二冷却气旁通管路60(如图2至图3所示)，该第二冷却气旁通管路60的一端与该第二冷却气输送管路53连接，该第二冷却气旁通管路 60的另一端与该第二热气输送管路54连接，使该第二冷却气输送管路53 分支经由该第二冷却气旁通管路60输送部分冷却后的气体到第二热气输送管路54内，可以提升该第二热气输送管路54的热气的温度，另外该第二冷却气旁通管路60设有一第二冷却气旁通控制阀门601(如图3及图4 所示)，可以控制该第二冷却气旁通管路60的风量。另外，该第二冷却气输送管路53设有一第二冷却气输送控制阀门531(如图3所示)，可以控制该第二冷却气输送管路53的风量，并通过该第二冷却气旁通控制阀门 601及该第二冷却气输送控制阀门531形成比例风门。另外，也可以在该第二热气输送管路54上设有一第二热气输送控制阀门541(如图4所示)，可以控制该第二热气输送管路54的风量，并通过该第二冷却气旁通控制阀门601及该第二热气输送控制阀门541形成比例风门，因此，可以调整由该第二热气输送管路54输送到该第二吸附转轮50的脱附区503的热气的温度，使其具有提升控制温度的作用。
49.另外，该第二吸附转轮50的脱附区503的一侧连接该第二脱附浓缩气体管路55的另一端，该第二脱附浓缩气体管路55的一端与该第一吸附转轮30的冷却区302的一侧连接(如图1至图4所示)，可以将经过高温脱附下的脱附浓缩气体能通过该第二脱附浓缩气体管路55输送到该第一吸附转轮30的冷却区302内，用于对该第一吸附转轮30的冷却区302进行降温，且该第二脱附浓缩气体管路55设有一风机551(如图3及图4 所示)，可以将脱附浓缩气体推拉进入该第一吸附转轮30的冷却区302内。
50.上述该第二脱附浓缩气体管路55与该第一净气排放管路32之间设有一第一净气分支管路90(如图2至图4所示)，该第一净气分支管路90 的一端与该第一净气排放管路32连接，该第一净气分支管路90的另一端与该第二脱附浓缩气体管路55连接，让在第一净气排放管路32的吸附后的气体分支经由该第一净气分支管路90输送到第二脱附浓缩气体管路55 内，可以调节由该第二脱附浓缩气体管路55所输送到第一吸附转轮30的冷却区302的脱附浓缩气体的温度，让进入该第一吸附转轮30的冷却区 302的气体温度降低，使其具有达到冷却该第一吸附转轮30的冷却区302 的作用，另外该第一净气分支管路90设有一第一净气分支控制阀门901 (如图3及图4所示)，可以控制该第一净气分支管路90的风量。另外，该废气进气管路31设有一风机311(如图3及图4所示)，可以将废气进气管路31内的来源气体(有机废气)推送至第一吸附转轮30的吸附区301 内。
51.基于以上详细说明，可使本领域技术人员了解本公开的确可达成前述目的，已符合专利法的规定，特提出实用新型专利申请。
52.虽然本公开已以实施例公开如上，但其仅为本公开的较佳实施例而已，并不能以此限定本公开的保护范围。凡依本公开权利要求及说明书内容所作的简单的等效变化与修改，均应包含在本公开的保护的内。