一种具有自动控制功能的去胶液加料装置的制作方法

文档序号:29383079发布日期:2022-03-23 12:28阅读:103来源:国知局
一种具有自动控制功能的去胶液加料装置的制作方法

1.本实用新型涉及去胶液技术领域,具体为一种具有自动控制功能的去胶液加料装置。


背景技术:

2.刻胶也称为光致抗蚀剂,是一种不导电的光敏材料,它通过受到光照后特性会发生改变的原理将光刻掩膜版上的图形转移到晶圆片上,显影过后未固化的光刻胶需要用去胶液洗掉,暴露处底材再进行相应的蚀刻。
3.其中现代技术中申请号为201921187863.9提出的一种去胶液灌装设备,包括灌装料箱、定量气缸、定量桶以及伸缩气缸;灌装料箱侧边设置有固定支撑板,定量气缸通过定量气缸支撑板与固定支撑板相连接,定量气缸的活塞杆顶端连接有移动板,定量桶包括定量杆以及定量活塞,定量杆与移动板通过螺栓连接并带动定量活塞沿定量桶内壁上下移动,定量桶贯穿固定在固定支撑板上的第一固定板以及第二固定板,定量桶设置有若干个,且每个定量桶下端均连接有一用于控制去胶液流向的三通阀,每个所述三通阀侧边与灌装料箱相连接,底边通过直角弯管与灌装桶相连接,灌装桶包括灌装头。
4.其结构可靠性低,过滤效果一般,加热和搅拌效果一般,去胶液的使用效果一般,为此,我们提出一种具有自动控制功能的去胶液加料装置。


技术实现要素:

5.本实用新型要解决的技术问题是克服现有的缺陷,提供一种具有自动控制功能的去胶液加料装置,结构可靠程度高,过滤效果好,加热和搅拌作用好,所以提高了去胶液的使用效果,可以满足人们的要求,对人们的工作提供了帮助,可以有效解决背景技术中的问题。
6.为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种具有自动控制功能的去胶液加料装置,包括加料箱、过滤单元、搅拌单元、加热单元和安装单元;
7.加料箱的上表面安装有上料管,所述上料管的端部安装有管塞,所述加料箱的内部设有过滤单元、搅拌单元和加热单元,所述加料箱的上表面设有安装单元;
8.过滤单元包含圆柱,所述加料箱的底部安装有固定支架,所述固定支架的上端安装有圆柱,所述圆柱上开设有第一凹槽,所述圆柱的下表面安装有加料管,所述加料箱的内部安装有固定板,所述固定板上安装有管道,所述管道上安装有控制阀,所述管道的下端与圆柱的第一凹槽竖直对应。
9.进一步的,所述过滤单元还包含过滤网、过滤网支架、夹板、压紧弹簧、第一卡槽、匀料孔和圆板,所述第一凹槽上安装有圆板,所述圆板上开设有匀料孔,所述第一凹槽的内表面安装有压紧弹簧,所述压紧弹簧的另一端安装有夹板,所述夹板的内表面设有过滤网支架,所述过滤网支架上安装有过滤网,所述圆柱的外表面开设有第二凹槽,所述第二凹槽的两侧开设有第一卡槽。通过第一卡槽卡入另一个夹板,压紧弹簧和夹板对过滤网支架进
行夹持,由于去胶液可能出现残渣,加料使用时效果不好,所以通过过滤网对去胶液进行过滤,且可以对过滤网进行更换和清理。
10.进一步的,所述搅拌单元包含电机、电机支架、转轴、第二卡槽和搅拌叶,所述加料箱上转动安装有转轴,所述加料箱的上表面安装有电机支架,所述电机支架上安装有电机,所述电机的输出轴通过联轴器连接有转轴的一端,所述转轴上开设有第二卡槽,所述搅拌叶的端部安装有卡块,所述卡块与第二卡槽卡扣连接,所述电机的输入端电连接外部控制器的输出端。通过外部控制器控制电机工作,电机工作带动转轴转动,转轴转动带动搅拌叶转动,搅拌叶转动对去胶液进行搅拌,防止加热效果不好,通过搅拌可以使去胶液均匀受热,提高使用效果。
11.进一步的,所述加热单元包含滑块、电加热板支架和电加热板,所述固定板上开设有滑道,所述滑道的两侧开设有滑槽,所述电加热板支架的两侧安装有滑块,所述滑块与滑槽滑动连接,所述电加热板支架和滑道滑动连接,所述电加热板支架上安装有电加热板。通过电加热板对去胶液进行加热,当电加热板损坏时,可以通过电加热板支架将其取出,对其进行更换和修理。
12.进一步的,所述安装单元包含防滑垫片、安装板和螺栓,所述加料箱的上表面四角均安装有安装板,所述安装板上螺纹安装有螺栓,所述螺栓上套接有防滑垫片。加料箱在加料时不稳,造成加料效率低,通过安装板和螺栓对其进行安装固定,防滑垫片可以方便之后进行拆卸和防止螺栓松动。
13.进一步的,还包括横向加强柱和竖向加强柱,所述加料箱的两侧开设有第三凹槽,所述第三凹槽上安装有横向加强柱和竖向加强柱,所述横向加强柱和竖向加强柱纵横交错连接形成网格,所述网格内设有保温棉。通过横向加强柱和竖向加强柱可以加强结构的稳定性,且可以使加料箱具有保温功能,防止去胶液温度不够造成使用效果不好。
14.与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:本具有自动控制功能的去胶液加料装置,具有以下好处:
15.1、本具有自动控制功能的去胶液加料装置具有过滤单元,由于去胶液可能出现残渣,加料使用时效果不好,所以通过过滤网对去胶液进行过滤,且可以对过滤网进行更换和清理。
16.2、本具有自动控制功能的去胶液加料装置具有搅拌单元,通过搅拌单元的搅拌叶转动对去胶液进行搅拌,防止加热效果不好,通过搅拌可以使去胶液均匀受热,提高去胶液的使用效果。
17.3、本具有自动控制功能的去胶液加料装置结构可靠程度高,过滤效果好,加热和搅拌作用好,所以提高了去胶液的使用效果,可以满足人们的要求,对人们的工作提供了帮助。
附图说明
18.图1为本实用新型结构示意图;
19.图2为本实用新型剖面结构示意图;
20.图3为本实用新型a处局部放大结构示意图。
21.图中:1加料箱、2过滤单元、21过滤网、22过滤网支架、23夹板、24 压紧弹簧、25第
一卡槽、26圆柱、27匀料孔、28圆板、3搅拌单元、31电机、32电机支架、33转轴、34第二卡槽、35搅拌叶、4加热单元、41滑块、42电加热板支架、43电加热板、5安装单元、51防滑垫片、52安装板、53 螺栓、6横向加强柱、7竖向加强柱、8加料管、9固定支架、10管道、11控制阀。
具体实施方式
22.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
23.请参阅图1-3,本实施例提供一种技术方案:一种具有自动控制功能的去胶液加料装置,包括加料箱1、过滤单元2、搅拌单元3、加热单元4和安装单元5;
24.加料箱1:的上表面安装有上料管,上料管的端部安装有管塞,加料箱1 的内部设有过滤单元2、搅拌单元3和加热单元4,加料箱1的上表面设有安装单元5;搅拌单元3包含电机31、电机支架32、转轴33、第二卡槽34和搅拌叶35,加料箱1上转动安装有转轴33,加料箱1的上表面安装有电机支架32,电机支架32上安装有电机31,电机31的输出轴通过联轴器连接有转轴33的一端,转轴33上开设有第二卡槽34,搅拌叶35的端部安装有卡块,卡块与第二卡槽34卡扣连接,电机31的输入端电连接外部控制器的输出端。通过外部控制器控制电机31工作,电机31工作带动转轴33转动,转轴33 转动带动搅拌叶35转动,搅拌叶35转动对去胶液进行搅拌,防止加热效果不好,通过搅拌可以使去胶液均匀受热,提高使用效果。加热单元4包含滑块41、电加热板支架42和电加热板43,固定板上开设有滑道,滑道的两侧开设有滑槽,电加热板支架42的两侧安装有滑块41,滑块41与滑槽滑动连接,电加热板支架42和滑道滑动连接,电加热板支架42上安装有电加热板 43。通过电加热板43对去胶液进行加热,当电加热板43损坏时,可以通过电加热板支架42将其取出,对其进行更换和修理。安装单元5包含防滑垫片 51、安装板52和螺栓53,加料箱1的上表面四角均安装有安装板52,安装板52上螺纹安装有螺栓53,螺栓53上套接有防滑垫片51。加料箱1在加料时不稳,造成加料效率低,通过安装板52和螺栓53对其进行安装固定,防滑垫片51可以方便之后进行拆卸和防止螺栓53松动。还包括横向加强柱6 和竖向加强柱7,加料箱1的两侧开设有第三凹槽,第三凹槽上安装有横向加强柱6和竖向加强柱7,横向加强柱6和竖向加强柱7纵横交错连接形成网格,网格内设有保温棉。通过横向加强柱6和竖向加强柱7可以加强结构的稳定性,且可以使加料箱1具有保温功能,防止去胶液温度不够造成使用效果不好。
25.过滤单元2:包含圆柱26,加料箱1的底部安装有固定支架9,固定支架 9的上端安装有圆柱26,圆柱26上开设有第一凹槽,圆柱26的下表面安装有加料管8,加料箱1的内部安装有固定板,固定板上安装有管道10,管道 10上安装有控制阀11,管道10的下端与圆柱26的第一凹槽竖直对应。通过管道10将去胶液加入到圆柱26上的第一凹槽内,再通过加料管8将去胶液引出去进行加料,控制阀11可以将管道10内流出的去胶液的量进行控制,通过自动控制去胶液加料量,提高加料效率。过滤单元2还包含过滤网21、过滤网支架22、夹板23、压紧弹簧24、第一卡槽25、匀料孔27和圆板28,第一凹槽上安装有圆板28,圆板28上开设有匀料孔27,第一凹槽的内表面安装有压紧弹簧24,压紧弹簧24的另一端安装有夹板23,夹板23的内表面设有过滤网支架22,过滤网支架22上安装有过滤网21,圆柱26的外表面开设有
第二凹槽,第二凹槽的两侧开设有第一卡槽25。通过第一卡槽25卡入另一个夹板23,压紧弹簧24和夹板23对过滤网支架22进行夹持,由于去胶液可能出现残渣,加料使用时效果不好,所以通过过滤网21对去胶液进行过滤,且可以对过滤网21进行更换和清理。
26.本实用新型提供的一种具有自动控制功能的去胶液加料装置的工作原理如下:通过管道10将去胶液加入到圆柱26上的第一凹槽内,再通过加料管8 将去胶液引出去进行加料,控制阀11可以将管道10内流出的去胶液的量进行控制,通过自动控制去胶液加料量,提高加料效率。通过第一卡槽25卡入另一个夹板23,压紧弹簧24和夹板23对过滤网支架22进行夹持,由于去胶液可能出现残渣,加料使用时效果不好,所以通过过滤网21对去胶液进行过滤,且可以对过滤网21进行更换和清理。通过电加热板43对去胶液进行加热,当电加热板43损坏时,可以通过电加热板支架42将其取出,对其进行更换和修理。通过外部控制器控制电机31工作,电机31工作带动转轴33转动,转轴33转动带动搅拌叶35转动,搅拌叶35转动对去胶液进行搅拌,防止加热效果不好,通过搅拌可以使去胶液均匀受热,提高使用效果。加料箱1 在加料时不稳,造成加料效率低,通过安装板52和螺栓53对其进行安装固定,防滑垫片51可以方便之后进行拆卸和防止螺栓53松动。通过横向加强柱6和竖向加强柱7可以加强结构的稳定性,且可以使加料箱1具有保温功能,防止去胶液温度不够造成使用效果不好。
27.值得注意的是,本实施例中,外部控制器核心芯片选用的是plc单片机,具体型号为西门子s7-200,电机31和电加热板43则可根据实际应用场景自由配置,电机31可选用东莞市腾驰电机制品有限公司出品的单相串励电动机,优选转速21000转以下的,外部控制器控制电机31和电加热板43工作采用现有技术中常用的方法。
28.以上所述仅为本实用新型的实施例,并非因此限制本实用新型的专利范围,凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换,或直接或间接运用在其它相关的技术领域,均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
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