1.本实用新型涉及硅晶片加工，尤其涉及一种研磨液搅拌装置。
背景技术：
2.硅晶片加工装置的其中一个主要部件为研磨液供给装置，该供给装置的主要作用是，对研磨液进行预搅拌，防止研磨液中的研磨颗粒产生沉淀，保证研磨液中的各个组分均匀分布，并根据实际需求对研磨液进行稀释。由于研磨液在静置一段时间后，研磨颗粒会发生沉淀的现象，特别是研磨颗粒较大或者含有密度较高的金属氧化物的研磨颗粒，例如氧化铝等，这种沉淀现象更为明显。所以预搅拌是研磨液供给过程中极为重要的一环。但是现有技术的研磨液搅拌装置的搅拌效果有限。
技术实现要素：
3.本实用新型所要解决的技术问题是克服现有技术中存在的不足，提供一种研磨液搅拌装置。
4.本实用新型是通过以下技术方案予以实现：
5.一种研磨液搅拌装置，包括电机、搅拌容器、搅拌杆、搅拌器，所述搅拌容器设有通孔，所述电机固定安装在搅拌容器的外部，所述搅拌杆穿过通孔并连接电机的输出轴，所述搅拌杆在搅拌容器内部设有外螺纹段，所述外螺纹段的两端分别设有限位凸块，所述搅拌器包括连接环和搅拌叶片，所述搅拌叶片与连接环的外壁固定连接，多个所述搅拌叶片均匀分布在连接环的外壁上，所述连接环的内壁设有内螺纹，所述连接环与搅拌杆通过内螺纹和外螺纹段连接。
6.根据上述技术方案，优选地，所述搅拌容器为圆柱形容器，所述搅拌容器包括曲面侧壁、底面和上盖，所述曲面侧壁与底面一体成型连接，所述上盖与曲面侧壁可拆卸连接，所述电机固定连接上盖，所述通孔设置在上盖上。
7.根据上述技术方案，优选地，所述外螺纹段的两端分别设有上限位凸块和下限位凸块，所述连接环与上限位凸块、下限位凸块之间分别设有上连接弹簧和下连接弹簧。
8.本实用新型的有益效果是：提供一种搅拌研磨液的装置，搅拌器在搅拌转动时还会沿着搅拌杆上下移动，增大搅拌范围和改变搅拌受力方向，提高搅拌效果。搅拌容器用于盛装研磨液。搅拌容器的一种实施方式为圆柱形容器。
9.搅拌杆位于搅拌容器中，搅拌杆可以在搅拌容器中转动，搅拌杆连接电机的输出轴。搅拌杆的一种实施方式为：搅拌容器设有通孔，电机固定安装在搅拌容器的外部，搅拌容器设有通孔，搅拌杆穿过通孔并连接电机的输出轴。搅拌杆用于带动搅拌器转动，以及限制搅拌器的运动。
10.搅拌器包括连接环和搅拌叶片，搅拌叶片与连接环的外壁固定连接，多个搅拌叶片均匀分布在连接环的外壁上。连接环的内壁设有内螺纹，搅拌杆在搅拌容器内部设有外螺纹段，外螺纹段的两端分别设有限位凸块，连接环与搅拌杆通过内螺纹和外螺纹段连接。
11.电机带动搅拌杆转动，搅拌杆通过螺纹推动搅拌器转动，搅拌器转动产生的惯性使搅拌器沿着螺纹移动，搅拌器在转动的同时也沿着搅拌杆上下移动，增大搅拌范围和改变搅拌受力方向，提高搅拌效果。
12.外螺纹段的两端分别设有上限位凸块和下限位凸块，连接环与上限位凸块、下限位凸块之间分别设有上连接弹簧和下连接弹簧。上连接弹簧和下连接弹簧可以带动搅拌器复位，上限位凸块和下限位凸块的自然状态配合搅拌器与下限位凸块接触的状态。
附图说明
13.图1示出了本实用新型的实施例的主视结构示意图。
14.图中：1.搅拌容器，2.搅拌杆，3.电机，4.外螺纹段，5.连接环，6.搅拌叶片，7.上限位凸块，8.下限位凸块，9.上连接弹簧，10. 下连接弹簧。
具体实施方式
15.为了使本技术领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图和最佳实施例对本实用新型作进一步的详细说明。
16.如图所示，本实用新型一种研磨液搅拌装置，包括电机、搅拌容器1、搅拌杆2、搅拌器，搅拌容器设有通孔，电机3固定安装在搅拌容器的外部，搅拌杆穿过通孔并连接电机的输出轴，搅拌杆在搅拌容器内部设有外螺纹段4，外螺纹段的两端分别设有限位凸块，搅拌器包括连接环5和搅拌叶片6，搅拌叶片与连接环的外壁固定连接，多个搅拌叶片均匀分布在连接环的外壁上，连接环的内壁设有内螺纹，连接环与搅拌杆通过内螺纹和外螺纹段连接。
17.根据上述实施例，优选地，搅拌容器为圆柱形容器，搅拌容器包括曲面侧壁、底面和上盖，曲面侧壁与底面一体成型连接，上盖与曲面侧壁可拆卸连接，电机固定连接上盖，通孔设置在上盖上。
18.根据上述实施例，优选地，外螺纹段的两端分别设有上限位凸块7和下限位凸块8，连接环与上限位凸块、下限位凸块之间分别设有上连接弹簧9和下连接弹簧10。
19.本实施例的工作原理为：搅拌容器用于盛装研磨液。搅拌容器的一种实施方式为圆柱形容器。
20.搅拌杆位于搅拌容器中，搅拌杆可以在搅拌容器中转动，搅拌杆连接电机的输出轴。搅拌杆的一种实施方式为：搅拌容器设有通孔，电机固定安装在搅拌容器的外部，搅拌容器设有通孔，搅拌杆穿过通孔并连接电机的输出轴。搅拌杆用于带动搅拌器转动，以及限制搅拌器的运动。
21.搅拌器包括连接环和搅拌叶片，搅拌叶片与连接环的外壁固定连接，多个搅拌叶片均匀分布在连接环的外壁上。连接环的内壁设有内螺纹，搅拌杆在搅拌容器内部设有外螺纹段，外螺纹段的两端分别设有限位凸块，连接环与搅拌杆通过内螺纹和外螺纹段连接。
22.电机带动搅拌杆转动，搅拌杆通过螺纹推动搅拌器转动，搅拌器转动产生的惯性使搅拌器沿着螺纹移动，搅拌器在转动的同时也沿着搅拌杆上下移动，增大搅拌范围和改变搅拌受力方向，提高搅拌效果。
23.外螺纹段的两端分别设有上限位凸块和下限位凸块，连接环与上限位凸块、下限
位凸块之间分别设有上连接弹簧和下连接弹簧。上连接弹簧和下连接弹簧可以带动搅拌器复位，上限位凸块和下限位凸块的自然状态配合搅拌器与下限位凸块接触的状态。
24.本实用新型的有益效果是：提供一种搅拌研磨液的装置，搅拌器在搅拌转动时还会沿着搅拌杆上下移动，增大搅拌范围和改变搅拌受力方向，提高搅拌效果。
25.以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
技术特征：
1.一种研磨液搅拌装置，其特征在于：包括电机、搅拌容器、搅拌杆、搅拌器，所述搅拌容器设有通孔，所述电机固定安装在搅拌容器的外部，所述搅拌杆穿过通孔并连接电机的输出轴，所述搅拌杆在搅拌容器内部设有外螺纹段，所述外螺纹段的两端分别设有限位凸块，所述搅拌器包括连接环和搅拌叶片，所述搅拌叶片与连接环的外壁固定连接，多个所述搅拌叶片均匀分布在连接环的外壁上，所述连接环的内壁设有内螺纹，所述连接环与搅拌杆通过内螺纹和外螺纹段连接。2.根据权利要求1所述的一种研磨液搅拌装置，其特征在于：所述搅拌容器为圆柱形容器，所述搅拌容器包括曲面侧壁、底面和上盖，所述曲面侧壁与底面一体成型连接，所述上盖与曲面侧壁可拆卸连接，所述电机固定连接上盖，所述通孔设置在上盖上。3.根据权利要求1所述的一种研磨液搅拌装置，其特征在于：所述外螺纹段的两端分别设有上限位凸块和下限位凸块，所述连接环与上限位凸块、下限位凸块之间分别设有上连接弹簧和下连接弹簧。
技术总结
本实用新型涉及硅晶片加工，尤其涉及一种研磨液搅拌装置。一种研磨液搅拌装置，包括搅拌容器、搅拌杆、搅拌器，所述搅拌容器设有通孔，所述电机固定安装在搅拌容器的外部，所述搅拌容器设有通孔，所述搅拌杆穿过通孔并连接电机的输出轴。本实用新型的有益效果是：提供一种搅拌研磨液的装置，搅拌器在搅拌转动时还会沿着搅拌杆上下移动，增大搅拌范围和改变搅拌受力方向，提高搅拌效果。提高搅拌效果。提高搅拌效果。
技术研发人员：高如山
受保护的技术使用者：天津西美科技有限公司
技术研发日：2021.07.02
技术公布日：2022/5/16