一种半导体行业废气处理装置的制作方法

1.本实用新型涉及工业废气处理技术领域，具体为一种半导体行业废气处理装置。


背景技术：

2.半导体制造过程中会产生酸碱气体以及其他有机废气，这样的气体排放到空气中会污染空气，危害人体的健康，对于工业废气必须进行净化处理才可以排放，通常，经过高温处理、水处理、冷却处理的气体，在其排放至外界大气前，还需要对气体所含的粉尘过滤，以将该气体中所包含的水分子及粉尘除去。
3.在现有技术中，用于气体中水分子及粉尘过滤的过滤装置，是需要定期处理和更换处理的，然而，却存在过滤器结构复杂，不易清洗、更换的缺点。


技术实现要素：

4.针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种半导体行业废气处理装置，改善了用于废气粉尘过滤的过滤器结构过于复杂，不易清洗、更换的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体行业废气处理装置，包括：过滤箱，其内部形成供废气流通处理的腔室；
6.至少一组过滤板，其沿过滤箱上设置的安装槽垂直插装在过滤箱的腔室内，且过滤板边缘抵接在腔室的壁面上，所述过滤板由安装架以及固定在安装架底部双层叠加以过滤水分和粉尘的孔板和过滤棉组成，且过滤棉可拆卸安装在孔板上；以及，
7.箱门，其设置在过滤板安装入口位置，以密封过滤箱和过滤板。
8.优选的，所述孔板为波纹板，其表面设置若干透孔，所述孔板两侧弯折形成卡口。
9.优选的，所述过滤棉为波纹板，其与孔板贴合安装，且过滤棉两侧插接在卡口内安装。
10.优选的，所述安装架为“工”型，所述安装架与安装槽接触面上设置垫板密封，所述安装槽槽壁两侧均设置密封垫与安装架密封插装。
11.优选的，所述过滤板沿废气流通方向可间距设置多组。
12.优选的，所述箱门通过橡胶密封圈与过滤箱入口形成密封，箱门通过橡胶密封板与过滤板形成密封。
13.本实用新型提供了一种半导体行业废气处理装置，具备以下有益效果：
14.本实用新型通过设置过滤箱、过滤板和箱门，在过滤箱腔室内，空间大，无其他隔层设置，无死角，便于清洁，气体流通无阻，箱门打开即可清洁，清洁入口大，方便操作，过滤板可拆卸，过滤板拆卸清洁更便利，同时过滤板的孔板无需更换，孔板结构简单，方便清洁，无死角，过滤棉可拆卸更换，直接插装，拆卸、安装操作方便。
附图说明
15.图1为本实用新型展开图；
16.图2为本实用新型正视图；
17.图3为本实用新型过滤板结构示意图；
18.图4为本实用新型过滤板仰视图。
19.图中：1、过滤箱；11、安装槽；12、出气端；13、进气端；14、排水端；2、过滤板；21、安装架；22、孔板；23、过滤棉；3、箱门；31、橡胶密封圈；32、橡胶密封板；4、垫板；5、密封垫。
具体实施方式
20.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
21.如图1-4所示，本实用新型提供一种技术方案：一种半导体行业废气处理装置，包括：过滤箱1，其内部形成供废气流通处理的腔室，过滤箱1顶部设置出气端12，过滤箱1底部设置进气端13和排水端14，且出气端12和进气端13轴向错开设置；
22.至少一组过滤板2，过滤板2设置在出气端12和进气端13之间，使废气经进气端13进入腔室内，然后经过过滤板2处理后由出气端12排出，废气指半导体行业废气在接受过加热及水洗处理后所产生的无害气体；
23.过滤板2沿过滤箱1入口置入腔室，且过滤板2沿过滤箱1上设置的安装槽11垂直插装在过滤箱1的腔室内，安装槽11端部开口，且过滤板2边缘抵接在腔室的壁面上，避免气体沿过滤板2四周缝隙处流出，沿过滤板2由安装架21以及固定在安装架21底部双层叠加以过滤水分和粉尘的孔板22和过滤棉23组成，且过滤棉23可拆卸安装在孔板22上；以及，
24.箱门3，其设置在过滤板2安装入口位置，以密封过滤箱1和过滤板2，通过上述设计，打开箱门3便于取出过滤板2，以方便清洁过滤板2和腔室，便于更换过滤板2的过滤棉23。
25.作为本实用新型的一种技术优化方案，孔板22为波纹板，其表面设置若干透孔，透孔可选圆孔、方孔、菱形孔、六角形孔、十字孔、三角孔、起鼓孔，不限于此，孔板22两侧弯折形成卡口。
26.作为本实用新型的一种技术优化方案，过滤棉23为波纹板，其与孔板22贴合安装，波纹板设计，增加接触面积，且过滤面积大，处理量大，且过滤棉23两侧插接在卡口内安装，气体经过过滤板2时，由孔板22初级拦截过滤，由过滤棉23再次拦截过滤，经过多组过滤板2重复处理，即可保证气体过滤合格。
27.作为本实用新型的一种技术优化方案，安装架21为“工”型，安装架21与安装槽11接触面上设置垫板4密封，垫板4为长条状，安装槽11槽壁两侧均设置密封垫5与安装架21密封插装，安装位置的密封设计，能够防止气体外泄，安装位置的密封通过压力挤压密封。
28.作为本实用新型的一种技术优化方案，过滤板2沿废气流通方向可间距设置多组，如图1所示，沿废气流通方向平行设置三组过滤板2，该三组过滤板2间隔置于腔室内，提升了水分、粉尘的过滤效果。
29.作为本实用新型的一种技术优化方案，箱门3通过橡胶密封圈31与过滤箱1入口形成密封，橡胶密封圈31可选磁吸式密封，箱门3通过橡胶密封板32与过滤板2形成密封，通过
橡胶密封圈31密封，防止气体外泄，通过橡胶密封板32密封，橡胶密封板32具有弹性，在关闭箱门3时，箱门3挤压过滤板2与橡胶密封板32接触，防止气体未经过滤处理溢出。
30.综上可得，本实用新型通过设置过滤箱1、过滤板2和箱门3，解决了用于废气粉尘过滤的过滤器结构过于复杂，不易清洗、更换的问题。
31.需要说明的是，在本文中，诸如术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
32.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。


技术特征：
1.一种半导体行业废气处理装置，其特征在于，包括：过滤箱(1)，其内部形成供废气流通处理的腔室；至少一组过滤板(2)，其沿过滤箱(1)上设置的安装槽(11)垂直插装在过滤箱(1)的腔室内，且过滤板(2)边缘抵接在腔室的壁面上，所述过滤板(2)由安装架(21)以及固定在安装架(21)底部双层叠加以过滤水分和粉尘的孔板(22)和过滤棉(23)组成，且过滤棉(23)可拆卸安装在孔板(22)上；以及，箱门(3)，其设置在过滤板(2)安装入口位置，以密封过滤箱(1)和过滤板(2)。2.根据权利要求1所述的一种半导体行业废气处理装置，其特征在于：所述孔板(22)为波纹板，其表面设置若干透孔，所述孔板(22)两侧弯折形成卡口。3.根据权利要求2所述的一种半导体行业废气处理装置，其特征在于：所述过滤棉(23)为波纹板，其与孔板(22)贴合安装，且过滤棉(23)两侧插接在卡口内安装。4.根据权利要求1所述的一种半导体行业废气处理装置，其特征在于：所述安装架(21)为“工”型，所述安装架(21)与安装槽(11)接触面上设置垫板(4)密封，所述安装槽(11)槽壁两侧均设置密封垫(5)与安装架(21)密封插装。5.根据权利要求1所述的一种半导体行业废气处理装置，其特征在于：所述过滤板(2)沿废气流通方向可间距设置多组。6.根据权利要求1所述的一种半导体行业废气处理装置，其特征在于：所述箱门(3)通过橡胶密封圈(31)与过滤箱(1)入口形成密封，箱门(3)通过橡胶密封板(32)与过滤板(2)形成密封。

技术总结
本实用新型公开了一种半导体行业废气处理装置，涉及工业废气处理技术领域，该半导体行业废气处理装置，包括：过滤箱，其内部形成供废气流通处理的腔室；至少一组过滤板，其沿过滤箱上设置的安装槽垂直插装在过滤箱的腔室内，且过滤板边缘抵接在腔室的壁面上，过滤板由安装架以及固定在安装架底部双层叠加以过滤水分和粉尘的孔板和过滤棉组成，且过滤棉可拆卸安装在孔板上；以及，箱门，其设置在过滤板安装入口位置。本实用新型通过设置过滤箱、过滤板和箱门，腔室空间大、无死角、清洁入口大、过滤板可拆卸、孔板结构简单且过滤棉可拆卸更换，过滤棉拆卸、安装操作方便，解决了用于废气粉尘过滤的过滤器结构过于复杂，不易清洗、更换的问题。换的问题。换的问题。


技术研发人员：陶玉珊
受保护的技术使用者：江苏诺邦环保科技有限公司
技术研发日：2021.12.08
技术公布日：2022/6/7